Ultrahigh Si+ implant activation efficiency in GaN using a high-temperature rapid thermal process system

Applied Physics Letters

Volumn 73, Issue 2, 1998, Pages 229-231

  Cao, X A ^a   Abernathy, C R ^a   Singh, R K ^a   Pearton, S J ^a   Fu, M ^b   Sarvepalli, V ^b   Sekhar, J A ^b   Zolper, J C ^c   Rieger, D J ^d   Han, J ^d   Drummond, T J ^d   Shul, R J ^d   Wilson, R G ^e  

^a University of Florida   (United States)

^b Micropyretics Heaters Intl Inc   (United States)

^c OFFICE OF NAVAL RESEARCH   (United States)

^d SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

^e Stevenson Ranch ^*  (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0003175402     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.121764     Document Type: Article

References (28)

1. S. C. Binari, L. B. Rowland, W. Kruppa, G. Kelner, K. Doverspike, and D. K. Gaskill, Electron. Lett. 30, 1248 (1994).
2. J. C. Zolper, R. J. Shul, A. G. Baca, R. G. Wilson, S. J. Pearton, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 68, 2273 (1996).
3. J. C. Zolper, GaN and Related Materials (Gordon and Breach, New York, 1997).
4. J. C. Zolper and R. J. Shul, MRS Bull. 22, 36 (1997).
5. J. C. Zolper, M. H. Crawford, S. J. Pearton, C. R. Abernathy, C. B. Vartuli, C. Yuan, and R. A. Stall, J. Electron. Mater. 25, 839 (1996).
6. J. C. Zolper, R. G. Wilson, S. J. Pearton, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 68, 1945 (1996).
7. H. H. Tan, J. S. Williams, J. Zou, D. J. H. Cockayne, S. J. Pearton, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 69, 2364 (1996).
8. J. C. Zolper, M. H. Crawford, H. H. Tan, J. S. Williams, J. Zou, D. J. H. Cockayne, S. J. Pearton, and R. F. Karlicek, Appl. Phys. Lett. 70, 2729 (1997).
9. S. Strite, P. W. Epperlein, A. Dommen, A. Rockett, and R. F. Broom, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 395, 795 (1996).
10. N. Parikh, A. Suvkhanov, M. Lioubtchenko, E. Carlson, M. Bremser, D. Bray, R. Davis, and J. Hunn, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 127/128, 463 (1997).
11. J. Burm, K. Chu, W. A. Davis, W. J. Schaff, L. F. Eastman, and T. J. Eustis, Appl. Phys. Lett. 70, 464 (1997).
12. Q. Chen, M. A. Khan, J. W. Yang, C. J. Sun, M. S. Shur, and H. Park, Appl. Phys. Lett. 69, 794 (1996).
13. Y.-F. Wu, B. P. Keller, S. Keller, D. Kapolnek, P. Kozodoy, S. P. DenBaars, and U. K. Mishra, Appl. Phys. Lett. 69, 1438 (1996).
14. N. X. Nguyen, B. P. Keller, S. Keller, Y. F. Wu, M. Le, C. Nguyen, S. P. DenBaars, U. K. Mishra, and D. Grider, Electron. Lett. 33, 334 (1997).
15. H. P. Maruska (private communication).
16. J. S. Williams, Rep. Prog. Phys. 49, 491 (1986).
17. S. J. Pearton, J. S. Williams, K. T. Short, S. T. Johnson, D. C. Jacobsen, J. M. Poate, J. M. Gibson, and D. O. Boerma, J. Appl. Phys. 65, 1089 (1989).
18. H. H. Tan, J. S. Williams, J. Zou, D. J. H. Cockayne, S. J. Pearton, J. C. Zolper, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 72, 1190 (1998).
19. J. C. Zolper, J. Han, R. M. Biefeld, S. B. Van Deusen, W. R. Wampler, S. J. Pearton, J. S. Williams, H. H. Tan, R. Karlicek, and R. A. Stall, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 468, (1997).
20. J. C. Zolper, J. Han, R. M. Biefeld, S. B. Van Deusen, W. R. Wampler, D. J. Reiger, S. J. Pearton, J. S. Williams, H. H. Tan, and R. Stall, J. Electron. Mater. 27, 179 (1998).
21. S. J. Pearton, C. R. Abernathy, C. B. Vartuli, J. C. Zolper, C. Yuan, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 67, 1435 (1995).
22. S. Porowski and I. Grzegory, in GaN and Related Materials, edited by S. J. Pearton (Gordon and Breach, New York, 1997).
23. N. Newman, in GaN, edited by J. Pankove and T. D. Moustakas (Academic, New York 1998), Vol. I.
24. J. C. Zolper, J. Han, S. B. Van Deusen, M. H. Crawford, R. M. Biefeld, J. Jun, T. Suski, J. M. Baranowski, and S. J. Pearton, 1997 Fall MRS Meeting, Boston, Dec. 1997.
25. J. C. Zolper, D. J. Reiger, A. G. Baca, S. J. Pearton, J. W. Lee, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 69, 538 (1996).
26. B. Molnar, H. B. Dietrich, O. W. Holland, and M. V. Rao, presented at 1997 Spring MRS Meeting, San Francisco, April 1997, paper D2.10.
27. J. R. Mileham, S. J. Pearton, C. R. Abernathy, J. D. MacKenzie, R. J. Shul, and S. P. Kilcoyne, Appl. Phys. Lett. 67, 1119 (1995).
28. J. Hong, J. W. Lee, J. D. MacKenzie, S. M. Donovan, C. R. Abernathy, S. J. Pearton, and J. C. Zolper, Semicond. Sci. Technol. 12, 1310 (1997).