Ca and O ion implantation doping of GaN

Applied Physics Letters

Volumn 68, Issue 14, 1996, Pages 1945-1947

  Zolper, J C ^a   Wilson, R G ^b   Pearton, S J ^c   Stall, R A ^d  

^a SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

^b Hughes Aircraft Co   (United States)

^c University of Florida   (United States)

^d EMCORE CORPORATION   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000853374     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.115634     Document Type: Article

References (18)

1. I. Akasaki, H. Amano, M. Kito, and K. Hiramatsu, J. Lumin. 48/49, 666 (1991).
2. S. Nakamura, T. Mukai, and M. Senoh, Appl. Phys. Lett. 64, 1687 (1994).
3. M. A. Khan, A. Bhattarai, J. N. Kuznia, and D. T. Olson, Appl. Phys. Lett. 63, 1214 (1993).
4. S. C. Binari, L. B. Rowland, W. Kruppa, G. Kelner, K. Doverspike, and D. K. Gaskill, Electron. Lett. 30, 1248 (1994).
5. H. Amano, M. Kito, K. Hiramatsu, and I. Akasaki, Jpn. J. Appl. Phys. 28, L2112 (1989).
6. S. Nakamura, T. Mukai, M. Senoh, and N. Iwasa, Jpn. J. Appl. Phys. 31, L139 (1992).
7. S. Strite and H. Morkoç, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 1237 (1992).
8. S. Strite, Jpn. J. Appl. Phys. 33, L699 (1994).
9. S. Nakamura, T. Mukai, and M. Senoh, Jpn. J. Appl. Phys. 31, 2883 (1992).
10. J. G. Kim, A. C. Frenkel, H. Liu, and R. M. Park, Appl. Phys. Lett. 65, 91 (1994).
11. S. J. Pearton, C. B. Vartuli, J. C. Zolper, C. Yuan, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 67, 1435 (1995).
12. B.-C. Chung and M. Gershenzon, J. Appl. Phys. 72, 651 (1992).
13. H. Sato, T. Minami, E. Yamada, M. Ishii, and S. Takata, J. Appl. Phys. 75, 1405 (1994).
14. C. Yuan, T. Salagaj, A. Gurary, P. Zawadzki, C. S. Chern, W. Kroll, R. A. Stall, Y. Li, M. Schurman, C.-Y. Hwang, W. E. Mayo, Y. Lu, S. J. Pearton, S. Krishnankutty, and R. M. Kolbas, J. Electrochem. Soc. 142, L163 (1995).
15. J. C. Zolper, M. Hagerott Crawford, S. J. Pearton, C. R. Abernathy, C. B. Vartuli, C. Yuan, and R. A. Stall, J. Electron. Mater. (to be published).
16. R. J. Molnar, T. Lei, and T. D. Moustakas, Appl. Phys. Lett. 62, 72 (1993).
17. J. C. Zolper, M. Hagerott Crawford, A. J. Howard, S. J. Pearton, C. R. Abernathy, C. B. Vartulli, C. Yuan, R. A. Stall, J. Ramer, S. D. Hersee, and R. G. Wilson, Conference Proceedings MRS, Fall, 1995, Symposium AAA. (Materials Research Society, Pittsburgh, PA), in press.
18. R. G. Wilson, S. J. Pearton, C. R. Abernathy, and J. M. Zavada, Appl. Phys. Lett. 66, 2238 (1995).