Annealing of ion implanted gallium nitride

Applied Physics Letters

Volumn 72, Issue 10, 1998, Pages 1190-1192

  Tan, H H ^a   Williams, J S ^a   Zou, J ^b   Cockayne, D J H ^b   Pearton, S J ^c   Zolper, J C ^d   Stall, R A ^e  

^a AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY   (Australia)

^b UNIVERSITY OF SYDNEY   (Australia)

^c University of Florida   (United States)

^d SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

^e EMCORE CORPORATION   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000841774     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.121030     Document Type: Article

References (19)

1. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, and Y. Sugimoto, Jpn. J. Appl. Phys. 35, L74 (1996).
2. S. Nakamura, T. Mukai, and M. Senoh, Appl. Phys. Lett. 76, 8189 (1994).
3. S. Nakamura, MRS Bull. 22, 29 (1997).
4. M. S. Shur and M. A. Khan, MRS Bull. 22, 44 (1997).
5. S. C. Binari, L. B. Rowland, W. Kruppa, G. Kelner, K. Doverspike, and D. K. Gaskill, Electron. Lett. 30, 1248 (1994).
6. J. C. Zolper, R. J. Shul, A. G. Baca, R. G. Wilson, S. J. Pearton, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 68, 2273 (1996).
7. J. C. Zolper and R. J. Shul, MRS Bull. 22, 36 (1997).
8. J. S. Williams, Rep. Prog. Phys. 49, 491 (1986).
9. S. J. Pearton, J. S. Williams, K. T. Short, S. T. Johnson, D. C. Jacobson, J. M. Poate, J. M. Gibson, and D. O. Boerma, J. Appl. Phys. 65, 1089 (1989).
10. F. H. Eisen, in Ion Implantation and Beam Processing, edited by J. S. Williams and J. M. Poate (Academic, Sydney, 1984), Ch. 10.
11. S. J. Pearton, C. R. Abernathy, C. B. Vartuli, J. C. Zolper, C. Yuan, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 67, 1435 (1995).
12. J. C. Zolper, R. G. Wilson, S. J. Pearton, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 68, 1945 (1996).
13. S. Strite, P. W. Epperlein, A. Dommann, A. Rockett, and R. F. Broom, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 395, 795 (1996).
14. J. C. Zolper, H. H. Tan, J. S. Williams, J. Zou, D. J. H. Cockayne, S. J. Pearton, M. H. Crawford, and R. F. Karlicek, Appl. Phys. Lett. 70, 2729 (1997).
15. H. H. Tan, J. S. Williams, J. Zou, D. J. H. Cockayne, S. J. Pearton, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 69, 2364 (1996).
16. J. C. Zolper, S. J. Pearton, J. S. Williams, H. H. Tan, R. F. Karlicek, and R. A. Stall, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 449, 981 (1997).
17. N. Parikh, A. Suvkhanov, M. Lioubtchenko, E. Carlson, M. Bremser, D. Bray, R. Davis, and J. Hunn, Nucl. Instrum. Methods B127/128, 463 (1997).
18. C. Yuan, T. Salagaj, A. Gurary, P. Zawadzki, C. S. Chern, W. Kroll, R. A. Stall, Y. Li, M. Schurman, C.-Y. Hwang, W. E. Mayo, Y. Lu, S. J. Pearton, S. Krishnankutty, and R. M. Kolbas, J. Electrochem. Soc. 142, 163 (1995).
19. J. C. Zolper (unpublished).