Electrochemistry and soft lithography: A route to 3-D microstructures

CHEMTECH

Volumn 29, Issue 5, 1999, Pages 18-30

  Jackman, Rebecca J ^a   Whitesides, George M ^b  

^a Massachusetts Institute of Technology Cambridge   (United States)

^b NONE

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0002420774     PISSN: 00092703     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (49)

1. Riordan, M.; Hoddeson, L. Scientific American. The Solid-State Century; Scientific American: New York, 1998; Vol. 8, pp. 7-10.
2. Sole, M. J. J. Metallurgy 1994, 46, 29-35.
3. Romankiw, L. T. Electrochim. Acta 1997, 42, 2985-3005.
4. Madou, M. Fundamentals of Microfabrication; CRC Press: Boca Raton, FL, 1997.
5. Kovacs, G.T.A. Micromachined Transducers Sourcebook; McGraw-Hill: New York, 1998.
6. Becker, E. W.; Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Munchmeyer, D. Microeletron Eng. 1986, 4, 34-36.
7. Lorenz, H.; Despont, M.; Fahrni, N.; Labianca, N.; Renaud, P.; Vettiger, P. J. Micromech. Microeng. 1997, 7, 121-124.
8. Romankiw, L. T.; Croll, I. M.; Hatazakis, M. IEEE Trans. Magn. 1970, MAG-6, 597-601.
9. Spiller, E.; Feder, R.; Topalian, J.; Castellani, E.; Romankiw, L.; Heritage, M. Solid State Technol 1976, 19, 62-68.
10. Angus, J. C.; Landau, U.; Liao, S. H.; Yang, M. C. J. Electrochem. Soc. 1986, 133, 1152-1160.
11. Wagner, B.; Reimer, K.; Maciossek, A.; Hofmann, U. Proceedings of Transducers '97, the 1997 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1997, 1, 75-78.
12. Chryssolouris, G. Laser Machining - Theory and Practice; Springer-Verlag: New York, 1992.
13. Madden, J. D.; Hunter, I. W. J. Microelectro. Sys. 1996, 5, 24.
14. Boman, M.; Westberg, H.; Johansson, S.; Schweitz, J. A. IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '92), 1992, 162-167.
15. Jacobsen, S. C.; Wells, D. L.; Davis, C. C.; Wood, J. E. IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '91), 1991, 45-50.
16. Feinerman, A. D.; Lajos, R. E.; White, V.; Denton, D. D. J. Microelectro. Sys. 1996, 5, 250.
17. Xia, Y; Whitesides, G. M. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1998, 37, 550-575.
18. Kumar, A.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 2002-2004.
19. Kumar, A.; Biebuyck, H. A.; Whitesides, G. M. Langmuir 1994, 10, 1498-1511.
20. Kim, E.; Xia, Y.; Whitesides, G. M. Nature (London) 1995, 376, 581-584.
21. Zhao, X. M.; Xia, Y; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1996, 8, 837-840.
22. Qin, D.; Xia, Y; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1996, 8, 917-919.
23. Rogers, J. A.; Paul, K. E.; Whitesides, G. M. J. Vac. Sci. Technol., B 1998, 76, 88-97.
24. Hu, J.; Beck, R. G.; Deng, T.; Westervelt, R. M.; Maranowski, K. D.; Gossard, A. C.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 2020-2022.
25. Wilbur, J. L.; Kumar, A.; Kim, E.; Whitesides, G. Adv. Mater. 1994, 6, 600-604.
26. Hidber, P. C.; Helbig, W.; Kim, E.; Whitesides, G. M. Langmuir 1996, 12, 1375-1380.
27. Jackman, R. J.; Brittain, S. T.; Whitesides, G. M. J. Microelectromech. Sys. 1998, 7, 261-266.
28. Jackman, R. J.; Brittain, S. T.; Wu, H.; Adams, A.; Prentiss, M. G.; Whitesides, S.; Whitesides, G. M. Langmuir 1999, 15, 826-836.
29. Jackman, R. J.; Wilbur, J. L.; Whitesides, G. M. Science (Washington, D.C.) 1995, 269, 664-666.
30. Rogers, J. A.; Jackman, R. J.; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1997, 9, 475-477.
31. Jackman, R. J.; Brittain, S. T.; Adams, A.; Prentiss, M. G.; Whitesides, G. M. Science 1998, 280, 2089-2091.
32. Rogers, J. A.; Jackman, R. J.; Whitesides, G. M.; Wagner, J. L.; Vengsarkar, A. Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 7-9.
33. Rogers, J. A.; Jackman, R. J.; Whitesides, G. M. J. Microelectromech. Sys. 1997, 6, 184-192.
34. Brundin, K. E. Photonics Spectra 1996, 106-107.
35. Hill, K. O.; Malo, B.; Bilodeau, F.; Johnson, D. C. Annu. Rev. Mater. Sci. 1993, 23, 125.
36. Meltz, G.; Morey, W. W; Glenn, W. H. Opt. Lett. 1989, 14, 823-825.
37. Vengsarkar, A. M.; Lemaire, P. J.; Judkins, J. B.; Bhatia, V.; Erov dogan, T.; Sipe, J. E. J. Lightwave Electron. Technol. 1996, 14, 58-65.
38. Bush, G. G., "The 1995 IEEE International Magnetics Conference." IEEE Trans. Magn., 1995 31(6).
39. Primdahl, F. J. Phys. E: Sci. Instrum. 1979, 12, 241-253.
40. Seitz, T. Sens. Actuators, A 1990, 21-23, 799-802.
41. Ripka, P. Sens. Actuators, A 1992, 33, 129-141.
42. Kawahito, S.; Sasaki, Y.; Sato, H.; Nakamura, T.; Tadokoro, Y. Sens. Actuators, A 1994, 43, 128-134.
43. Olson, D. L.; Peck, T. L.; Webb, A. G.; Magin, R. L.; Sweedler, J. V. Science 1995, 270, 1967.
44. Peck, T. L.; Magin, R. L.; Lauterbur, P. C. J. Magn. Reson., Ser. B 1995, 108, 114-124.
45. Rogers, J. A.; Jackman, R. J.; Whitesides, G. M.; Olson, D. L.; Sweedler, J. V. Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2464-2466.
46. Marinova, I.; Midorikawa, Y.; Hayano, S.; Saito, Y. IEEE Trans. Magn. 1995, 31, 2432-2437.
47. Jackman, R. J.; Rogers, J. A.; Whitesides, G. M. IEEE Trans. Magn. 1997, 33, 2501-2503.
48. Palmaz, J. C. U.S. Patent 1988, 4, 739-762.
49. Palmaz, J. C; Kopp, D. T.; Hayashi, H.; Schatz, R. A.; Hunter, G.; Tio, F. O.; Garcia, O.; Alvarado, R.; Rees, C.; Thomas, S. C. Radiology 1987, 164, 705 and references therein.