SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Volumn 3, Issue 20, 2015, Pages 5192-5198

Low temperature synthesis of graphite on Ni films using inductively coupled plasma enhanced CVD

(12) Cheng, Lanxia a Yun, Kayoung b Lucero, Antonio a Huang, Jie c Meng, Xin a Lian, Guoda a Nam, Ho Seok b Wallace, Robert M a Kim, Moon a Venugopal, Archana c Colombo, Luigi c Kim, Jiyoung a

a The University of Texas at Dallas (United States)

b Kookmin University (South Korea)

c TEXAS INSTRUMENTS (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

GRAPHITE; HYDROGEN; LOW TEMPERATURE EFFECTS; METHANE; NICKEL; PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; QUALITY CONTROL; SUBSTRATES; TEMPERATURE;

CONTROLLED SYNTHESIS; FUNCTION OF TIME; GRAPHITIC FILMS; HYDROGEN CONCENTRATION; HYDROGEN RADICAL; LOW TEMPERATURE SYNTHESIS; LOW TEMPERATURES; SUBSTRATE TEMPERATURE;

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA;

EID: 84929340649 PISSN: 20507534 EISSN: 20507526 Source Type: Journal
DOI: 10.1039/c5tc00635j Document Type: Article

Times cited : (36)

References (48)

1
- 33847690144
- A. K. Geim K. S. Novoselov Nat. Mater. 2007 6 183
- (2007) Nat. Mater. , vol.6 , pp. 183
- Geim, A.K.¹ Novoselov, K.S.²

2
- 0000239441
- H. Ago T. Kugler F. Cacialli W. R. Salaneck M. S. P. Shaffer A. H. Windle R. H. Friend J. Phys. Chem. B 1999 103 8116
- (1999) J. Phys. Chem. B , vol.103 , pp. 8116
- Ago, H.¹ Kugler, T.² Cacialli, F.³ Salaneck, W.R.⁴ Shaffer, M.S.P.⁵ Windle, A.H.⁶ Friend, R.H.⁷

3
- 73849133636
- T. Gokus R. R. Nair A. Bonetti M. Böhmler A. Lombardo K. S. Novoselov A. K. Geim A. C. Ferrari A. Hartschuh ACS Nano 2009 3 3963
- (2009) ACS Nano , vol.3 , pp. 3963
- Gokus, T.¹ Nair, R.R.² Bonetti, A.³ Böhmler, M.⁴ Lombardo, A.⁵ Novoselov, K.S.⁶ Geim, A.K.⁷ Ferrari, A.C.⁸ Hartschuh, A.⁹

4
- 77957322176
- W. J. Yu S. H. Chae D. Perello S. Y. Lee G. H. Han M. Yun Y. H. Lee ACS Nano 2010 4 5480
- (2010) ACS Nano , vol.4 , pp. 5480
- Yu, W.J.¹ Chae, S.H.² Perello, D.³ Lee, S.Y.⁴ Han, G.H.⁵ Yun, M.⁶ Lee, Y.H.⁷

5
- 77954905132
- X. Wang H. Dai Nat. Chem. 2010 2 661
- (2010) Nat. Chem. , vol.2 , pp. 661
- Wang, X.¹ Dai, H.²

6
- 67049113877
- C. Chen B. Liang A. Ogino X. Wang M. Nagatsu J. Phys. Chem. C 2009 113 7659
- (2009) J. Phys. Chem. C , vol.113 , pp. 7659
- Chen, C.¹ Liang, B.² Ogino, A.³ Wang, X.⁴ Nagatsu, M.⁵

7
- 79957441585
- G. Zhao D. Shao C. Chen X. Wang Appl. Phys. Lett. 2011 98 183114
- (2011) Appl. Phys. Lett. , vol.98 , pp. 183114
- Zhao, G.¹ Shao, D.² Chen, C.³ Wang, X.⁴

8
- 21644462975
- Electron Devices Meeting, IEDM Technical Digest, IEEE International, 2004, p. 683
- F. Kreup, A. P. Graham, M. Liebau, G. S. Duesberg, R. Seidel, E. Unger, Electron Devices Meeting, IEDM Technical Digest, IEEE International, 2004, p. 683
- Kreup, F.¹ Graham, A.P.² Liebau, M.³ Duesberg, G.S.⁴ Seidel, R.⁵ Unger, E.⁶

9
- 84929363763
- Y. Ominami Q. Ngo H. Yoong A. J. Austin A. M. Cassell Q. Ye J. Li M. Meyyappan C. Y. Yang Microsc. Microanal. 2005 11 1964
- (2005) Microsc. Microanal. , vol.11 , pp. 1964
- Ominami, Y.¹ Ngo, Q.² Yoong, H.³ Austin, A.J.⁴ Cassell, A.M.⁵ Ye, Q.⁶ Li, J.⁷ Meyyappan, M.⁸ Yang, C.Y.⁹

10
- 84874866241
- C. G. Kang S. K. Lim S. Lee S. K. Lee C. Cho Y. G. Lee H. J. Hwang Y. Kim H. J. Choi S. H. Choe M. H. Ham B. H. Lee Nanotechnology 2013 24 115707
- (2013) Nanotechnology , vol.24 , pp. 115707
- Kang, C.G.¹ Lim, S.K.² Lee, S.³ Lee, S.K.⁴ Cho, C.⁵ Lee, Y.G.⁶ Hwang, H.J.⁷ Kim, Y.⁸ Choi, H.J.⁹ Choe, S.H.¹⁰ Ham, M.H.¹¹ Lee, B.H.¹²

11
- 0020843502
- S. Ragan H. Marsh J. Mater. Sci. 1983 18 3161
- (1983) J. Mater. Sci. , vol.18 , pp. 3161
- Ragan, S.¹ Marsh, H.²

12
- 36849106153
- A. E. Karu M. Beer J. Appl. Phys. 1966 37 2179
- (1966) J. Appl. Phys. , vol.37 , pp. 2179
- Karu, A.E.¹ Beer, M.²

13
- 59649099717
- K. S. Kim Y. Zhao H. Jang S. Y. Lee J. M. Kim K. S. Kim J. H. Ahn P. Kim J. Y. Choi B. H. Hong Nature 2009 457 706
- (2009) Nature , vol.457 , pp. 706
- Kim, K.S.¹ Zhao, Y.² Jang, H.³ Lee, S.Y.⁴ Kim, J.M.⁵ Kim, K.S.⁶ Ahn, J.H.⁷ Kim, P.⁸ Choi, J.Y.⁹ Hong, B.H.¹⁰

14
- 60749107706
- A. Reina X. Jia J. Ho D. Nezich H. Son V. Bulovic M. S. Dresselhaus J. Kong Nano Lett. 2009 9 30
- (2009) Nano Lett. , vol.9 , pp. 30
- Reina, A.¹ Jia, X.² Ho, J.³ Nezich, D.⁴ Son, H.⁵ Bulovic, V.⁶ Dresselhaus, M.S.⁷ Kong, J.⁸

15
- 78650251403
- W. Liu T. Dang Z. Xiao X. Li C. Zhu X. Wang Carbon 2011 49 884
- (2011) Carbon , vol.49 , pp. 884
- Liu, W.¹ Dang, T.² Xiao, Z.³ Li, X.⁴ Zhu, C.⁵ Wang, X.⁶

16
- 77958075845
- S. Bhaviripudi X. Jia M. S. Dresselhaus J. Kong Nano Lett. 2010 10 4128
- (2010) Nano Lett. , vol.10 , pp. 4128
- Bhaviripudi, S.¹ Jia, X.² Dresselhaus, M.S.³ Kong, J.⁴

17
- 84865094508
- H. Ago Y. Ogawa M. Tsuji S. Mizuno H. Hibino J. Phys. Chem. Lett. 2012 3 2228
- (2012) J. Phys. Chem. Lett. , vol.3 , pp. 2228
- Ago, H.¹ Ogawa, Y.² Tsuji, M.³ Mizuno, S.⁴ Hibino, H.⁵

18
- 79961021599
- D. H. Seo S. Kumar K. Ostrikov Carbon 2011 49 4331
- (2011) Carbon , vol.49 , pp. 4331
- Seo, D.H.¹ Kumar, S.² Ostrikov, K.³

19
- 84874918687
- C. Yang H. Bi D. Wan F. Huang X. Xie M. Jiang J. Mater. Chem. A 2013 1 770
- (2013) J. Mater. Chem. A , vol.1 , pp. 770
- Yang, C.¹ Bi, H.² Wan, D.³ Huang, F.⁴ Xie, X.⁵ Jiang, M.⁶

20
- 84859129449
- G. Kalita K. Wakita M. Umeno RSC Adv. 2012 2 2815
- (2012) RSC Adv. , vol.2 , pp. 2815
- Kalita, G.¹ Wakita, K.² Umeno, M.³

21
- 84876714182
- S. Wang L. Qiao C. Zhao X. Zhang J. Chen H. Tian W. Zheng Z. Han New J. Chem. 2013 37 1616
- (2013) New J. Chem. , vol.37 , pp. 1616
- Wang, S.¹ Qiao, L.² Zhao, C.³ Zhang, X.⁴ Chen, J.⁵ Tian, H.⁶ Zheng, W.⁷ Han, Z.⁸

22
- 57749096872
- G. D. Yuan W. J. Zhang Y. Yang Y. B. Tang Y. Q. Li J. X. Wang X. M. Meng Z. B. He C. M. L. Wu I. Bello C. S. Lee S. T. Lee Chem. Phys. Lett. 2009 467 361
- (2009) Chem. Phys. Lett. , vol.467 , pp. 361
- Yuan, G.D.¹ Zhang, W.J.² Yang, Y.³ Tang, Y.B.⁴ Li, Y.Q.⁵ Wang, J.X.⁶ Meng, X.M.⁷ He, Z.B.⁸ Wu, C.M.L.⁹ Bello, I.¹⁰ Lee, C.S.¹¹ Lee, S.T.¹²

23
- 84876539655
- S. Z. Butler S. M. Hollen L. Cao Y. Cui J. A. Gupta H. R. Gutie T. F. Heinz S. S. Hong J. Huang A. F. Ismach E. Johnston-halperin M. Kuno V. V. Plashnitsa R. D. Robinson R. S. Ruoff S. Salahuddin J. Shan L. Shi O. M. G. Spencer M. Terrones W. Windl J. E. Goldberger ACS Nano 2013 7 2898
- (2013) ACS Nano , vol.7 , pp. 2898
- Butler, S.Z.¹ Hollen, S.M.² Cao, L.³ Cui, Y.⁴ Gupta, J.A.⁵ Gutie, H.R.⁶ Heinz, T.F.⁷ Hong, S.S.⁸ Huang, J.⁹ Ismach, A.F.¹⁰ Johnston-Halperin, E.¹¹ Kuno, M.¹² Plashnitsa, V.V.¹³ Robinson, R.D.¹⁴ Ruoff, R.S.¹⁵ Salahuddin, S.¹⁶ Shan, J.¹⁷ Shi, L.¹⁸ Spencer, O.M.G.¹⁹ Terrones, M.²⁰ Windl, W.²¹ Goldberger, J.E.²² more..

24
- 84855830951
- A. Kumar A. A. Voevodin D. Zemlyanov D. N. Zakharov T. S. Fisher Carbon 2012 50 1546
- (2012) Carbon , vol.50 , pp. 1546
- Kumar, A.¹ Voevodin, A.A.² Zemlyanov, D.³ Zakharov, D.N.⁴ Fisher, T.S.⁵

25
- 84962887045
- H. K. Jeong J. D. C. Edward G. H. Yong L. Choong Hun J. Korean Phys. Soc. 2011 58 53
- (2011) J. Korean Phys. Soc. , vol.58 , pp. 53
- Jeong, H.K.¹ Edward, J.D.C.² Yong, G.H.³ Choong Hun, L.⁴

26
- 70449674879
- L. Baraton L. Gangloff S. Xavier C. S. Cojocaru V. Huc P. Legagneux Y. H. Lee D. Pribat Proc. SPIE 2009 7399 73990T
- (2009) Proc. SPIE , vol.7399 , pp. 73990T
- Baraton, L.¹ Gangloff, L.² Xavier, S.³ Cojocaru, C.S.⁴ Huc, V.⁵ Legagneux, P.⁶ Lee, Y.H.⁷ Pribat, D.⁸

27
- 79954576330
- J. L. Qi W. T. Zheng X. H. Zheng X. Wang H. W. Tian Appl. Surf. Sci. 2011 257 6531
- (2011) Appl. Surf. Sci. , vol.257 , pp. 6531
- Qi, J.L.¹ Zheng, W.T.² Zheng, X.H.³ Wang, X.⁴ Tian, H.W.⁵

28
- 78249282022
- S. M. Wang Y. H. Pei X. Wang H. Wang Q. N. Meng H. W. Tian X. L. Zheng W. T. Zheng Y. C. Liu J. Phys. D: Appl. Phys. 2010 43 455402
- (2010) J. Phys. D: Appl. Phys. , vol.43 , pp. 455402
- Wang, S.M.¹ Pei, Y.H.² Wang, X.³ Wang, H.⁴ Meng, Q.N.⁵ Tian, H.W.⁶ Zheng, X.L.⁷ Zheng, W.T.⁸ Liu, Y.C.⁹

29
- 84878716766
- K.-J. Peng C.-L. Wu Y.-H. Lin Y.-J. Liu D.-P. Tsai Y.-H. Pai G.-R. Lin J. Mater. Chem. C 2013 1 3862
- (2013) J. Mater. Chem. C , vol.1 , pp. 3862
- Peng, K.-J.¹ Wu, C.-L.² Lin, Y.-H.³ Liu, Y.-J.⁴ Tsai, D.-P.⁵ Pai, Y.-H.⁶ Lin, G.-R.⁷

30
- 84906243387
- L. Cheng X. Qin A. T. Lucero A. Azcatl J. Huang R. M. Wallace et al. ACS Appl. Mater. Interfaces 2014 6 11834
- (2014) ACS Appl. Mater. Interfaces , vol.6 , pp. 11834
- Cheng, L.¹ Qin, X.² Lucero, A.T.³ Azcatl, A.⁴ Huang, J.⁵ Wallace, R.M.⁶

31
- 55149123744
- R. M. Wallace ECS Trans. 2008 16 255
- (2008) ECS Trans. , vol.16 , pp. 255
- Wallace, R.M.¹

32
- 34249889935
- A. C. Ferrari Solid State Commun. 2007 143 47
- (2007) Solid State Commun. , vol.143 , pp. 47
- Ferrari, A.C.¹

33
- 33947263695
- M. A. Pimenta G. Dresselhaus M. S. Dresselhaus L. G. Cancado A. Jorio R. Saito Phys. Chem. Chem. Phys. 2007 9 1276
- (2007) Phys. Chem. Chem. Phys. , vol.9 , pp. 1276
- Pimenta, M.A.¹ Dresselhaus, G.² Dresselhaus, M.S.³ Cancado, L.G.⁴ Jorio, A.⁵ Saito, R.⁶

34
- 8744306038
- S. Reich C. Thomsen Philos. Trans. R. Soc., A 2004 362 2271
- (2004) Philos. Trans. R. Soc., A , vol.362 , pp. 2271
- Reich, S.¹ Thomsen, C.²

35
- 33750459007
- A. C. Ferrari J. C. Meyer V. Scardaci C. Casiraghi M. Lazzeri F. Mauri S. Piscanec D. Jiang K. S. Novoselov S. Roth A. K. Geim Phys. Rev. Lett. 2006 97 187401
- (2006) Phys. Rev. Lett. , vol.97 , pp. 187401
- Ferrari, A.C.¹ Meyer, J.C.² Scardaci, V.³ Casiraghi, C.⁴ Lazzeri, M.⁵ Mauri, F.⁶ Piscanec, S.⁷ Jiang, D.⁸ Novoselov, K.S.⁹ Roth, S.¹⁰ Geim, A.K.¹¹

36
- 84864710503
- Y.-D. Lim D.-Y. Lee T.-Z. Shen C.-H. Ra J.-Y. Choi W. J. Yoo ACS Nano 2012 6 4410
- (2012) ACS Nano , vol.6 , pp. 4410
- Lim, Y.-D.¹ Lee, D.-Y.² Shen, T.-Z.³ Ra, C.-H.⁴ Choi, J.-Y.⁵ Yoo, W.J.⁶

37
- 79961050049
- I. Vlassiouk M. Regmi P. Fulvio S. Dai P. Datskos G. Eres S. Smirnov ACS Nano 2011 5 6069
- (2011) ACS Nano , vol.5 , pp. 6069
- Vlassiouk, I.¹ Regmi, M.² Fulvio, P.³ Dai, S.⁴ Datskos, P.⁵ Eres, G.⁶ Smirnov, S.⁷

38
- 81355135471
- M. Losurdo M. M. Giangregorio P. Capezzuto G. Bruno Phys. Chem. Chem. Phys. 2011 13 20836
- (2011) Phys. Chem. Chem. Phys. , vol.13 , pp. 20836
- Losurdo, M.¹ Giangregorio, M.M.² Capezzuto, P.³ Bruno, G.⁴

39
- 84872704724
- Y. S. Kim J. H. Lee Y. D. Kim S.-K. Jerng K. Joo E. Kim J. Jung E. Yoon Y. D. Park S. Seo S.-H. Chun Nanoscale 2013 5 1221
- (2013) Nanoscale , vol.5 , pp. 1221
- Kim, Y.S.¹ Lee, J.H.² Kim, Y.D.³ Jerng, S.-K.⁴ Joo, K.⁵ Kim, E.⁶ Jung, J.⁷ Yoon, E.⁸ Park, Y.D.⁹ Seo, S.¹⁰ Chun, S.-H.¹¹

40
- 2042524576
- Y. Wang D. C. Alsmeyer R. L. McCreery Chem. Mater. 1990 2 557
- (1990) Chem. Mater. , vol.2 , pp. 557
- Wang, Y.¹ Alsmeyer, D.C.² McCreery, R.L.³

41
- 84155170971
- T. Terasawa K. Saiki Carbon 2012 50 869
- (2012) Carbon , vol.50 , pp. 869
- Terasawa, T.¹ Saiki, K.²

42
- 79960086068
- Y. Kim W. Song S. Y. Lee C. Jeon W. Jung M. Kim C.-Y. Park Appl. Phys. Lett. 2011 98 263106
- (2011) Appl. Phys. Lett. , vol.98 , pp. 263106
- Kim, Y.¹ Song, W.² Lee, S.Y.³ Jeon, C.⁴ Jung, W.⁵ Kim, M.⁶ Park, C.-Y.⁷

43
- 84929297844
- L. Jayeeta S. M. Travis J. R. Andrew A. Lyudmyla I. O. Ivan B. Matthias New J. Phys. 2011 13 025001
- (2011) New J. Phys. , vol.13 , pp. 025001
- Jayeeta, L.¹ Travis, S.M.² Andrew, J.R.³ Lyudmyla, A.⁴ Ivan, I.O.⁵ Matthias, B.⁶

44
- 71949096648
- X. Li W. Cai L. Colombo R. S. Ruoff Nano Lett. 2009 9 4268
- (2009) Nano Lett. , vol.9 , pp. 4268
- Li, X.¹ Cai, W.² Colombo, L.³ Ruoff, R.S.⁴

45
- 77958467167
- Y. Zhang L. Gomez F. N. Ishikawa A. Madaria K. Ryu C. Wang A. Badmaev C. Zhou J. Phys. Chem. Lett. 2010 1 3101
- (2010) J. Phys. Chem. Lett. , vol.1 , pp. 3101
- Zhang, Y.¹ Gomez, L.² Ishikawa, F.N.³ Madaria, A.⁴ Ryu, K.⁵ Wang, C.⁶ Badmaev, A.⁷ Zhou, C.⁸

46
- 0242341417
- J. J. Lander H. E. Kern A. L. Beach J. Appl. Phys. 1952 23 1305
- (1952) J. Appl. Phys. , vol.23 , pp. 1305
- Lander, J.J.¹ Kern, H.E.² Beach, A.L.³

47
- 79951873658
- C. Mattevi H. Kim M. Chhowalla J. Mater. Chem. 2011 21 3324
- (2011) J. Mater. Chem. , vol.21 , pp. 3324
- Mattevi, C.¹ Kim, H.² Chhowalla, M.³

48
- 47249130705
- A. Malesevic R. Vitchev K. Schouteden A. Volodin L. Zhang G. V. Tendeloo A. Vanhulsel C. V. Haesendonck Nanotechnology 2008 19 305604
- (2008) Nanotechnology , vol.19 , pp. 305604
- Malesevic, A.¹ Vitchev, R.² Schouteden, K.³ Volodin, A.⁴ Zhang, L.⁵ Tendeloo, G.V.⁶ Vanhulsel, A.⁷ Haesendonck, C.V.⁸

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.