A review of chemical vapour deposition of graphene on copper

Journal of Materials Chemistry

Volumn 21, Issue 10, 2011, Pages 3324-3334

  Mattevi, Cecilia ^a   Kim, Hokwon ^a   Chhowalla, Manish ^a,b  

^a IMPERIAL COLLEGE LONDON   (United Kingdom)

^b Piscataway   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION; CONDUCTANCE VALUES; COPPER SUBSTRATES; HIGH QUALITY; INDIUM TIN OXIDE; LARGE-AREA DEPOSITION; OPTOELECTRONIC PROPERTIES; PLASTIC AND GLASS SUBSTRATES; TRANSPARENT CONDUCTORS; UNIFORM DEPOSITION;

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; COPPER; ELECTRONIC PROPERTIES; GRAPHENE; INDIUM COMPOUNDS; OXIDE FILMS; SUBSTRATES; THIN FILMS; TIN; TIN OXIDES;

DEPOSITION;

EID: 79951873658     PISSN: 09599428     EISSN: 13645501     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c0jm02126a     Document Type: Article

References (98)

1. A. H. C. Neto F. Guinea N. M. R. Peres K. S. Novoselov A. K. Geim Rev. Mod. Phys. 2009 81 109
2. J.-H. Chen C. Jang S. Xiao M. Ishigami M. S. Fuhrer Nat. Nanotechnol. 2008 3 206
3. X. Du I. Skachko A. Barker E. Y. Andrei Nat. Nanotechnol. 2008 3 491
4. X. Du I. Skachko F. Duerr A. Luican E. Y. Andrei Nature 2009 462 192
5. R. R. Nair P. Blake A. N. Grigorenko K. Novoselov T. J. Booth T. Stauber N. M. R. Peres A. K. Geim Science 2008 320 1308
6. Y.-M. Lin C. Dimitrakopoulos K. A. Jenkins D. B. Farmer H.-Y. Chiu A. Grill Science 2010 327 662
7. J. K. Wassei R. B. Kaner Mater. Today 2010 13 52
8. K. S. Novoselov A. K. Geim S. V. Morozov D. Jiang Y. Zhang S. V. Dubonos I. V. Grigorieva A. A. Firsov Science 2004 306 666
9. S. Stankovich D. A. Dikin G. H. B. Dommett K. M. Kohlhaas E. J. Zimney E. A. Stach R. D. Piner S. T. Nguyen R. S. Ruoff Nature 2006 442 282
10. G. Eda G. Fanchini M. Chhowalla Nat. Nanotechnol. 2008 3 270
11. Y. Hernandez M. Lotya D. Rickard S. D. Bergin J. N. Coleman Langmuir 2010 26 3208
12. C. Mattevi G. Eda S. Agnoli S. Miller K. A. Mkhoyan O. Celik D. Mastrogiovanni G. Granozzi E. Garfunkel M. Chhowalla Adv. Funct. Mater. 2009 19 2577
13. S. De P. J. King M. Lotya A. O'Neill E. M. Doherty Y. Hernandez G. S. Duesberg J. N. Coleman Small 2010 6 458
14. G. Eda M. Chhowalla Adv. Mater. 2010 22 2392
15. W. A. de Heer C. Berger X. Wu P. N. First E. H. Conrad X. Li T. Li M. Sprinkle J. Hass M. L. Sadowski M. Potemski G. Martinez Solid State Commun. 2007 143 92
16. K. S. Kim Y. Zhao H. Jang S. Y. Lee J. M. Kim K. S. Kim J.-H. Ahn P. Kim J.-Y. Choi B. H. Hong Nature 2009 457 706
17. S.-Y. Kwon C. V. Ciobanu V. Petrova V. B. Shenoy J. Bareño V. Gambin I. Petrov S. Kodambaka Nano Lett. 2009 9 3985
18. P. W. Sutter J.-I. Flege E. A. Sutter Nat. Mater. 2008 7 406
19. J. Coraux A. T. N'Diaye C. Busse T. Michely Nano Lett. 2008 8 565
20. X. Li W. Cai J. An S. Kim J. Nah D. Yang R. Piner A. Velamakanni I. Jung E. Tutuc S. K. Banerjee L. Colombo R. S. Ruoff Science 2009 324 1312
21. S. Bae H. Kim Y. Lee X. Xu J.-S. Park Y. Zheng J. Balakrishnan T. Lei H. Ri Kim Y. I. Song Y.-J. Kim K. S. Kim B. Ozyilmaz J.-H. Ahn B. H. Hong S. Iijima Nat. Nanotechnol. 2010 5 574
22. B. C. Banerjee T. J. Hirt P. L. Walker Nature 1961 192 450
23. E. G. Acheson. United States Patent, Sept. 29, 1896; Vol. 568323
24. W. C. Arsem Ind. Eng. Chem. 1911 3 799
25. A. E. Karu M. J. Beer J. Appl. Phys. 1966 37 2179
26. S. D. Robertson Nature 1969 221 1044
27. A. E. Morgan G. A. Samorjai Surf. Sci. 1968 12 405
28. S. Hagstrom H. B. Lyon G. A. Somorjai Phys. Rev. Lett. 1965 15 491
29. F. J. Himpsel K. Christmann P. Heimann D. E. Eastman P. J. Feibelman Surf. Sci. 1982 115 L159
30. A. Kholin E. V. Rut'kov A. Y. Tontegode Sov. Phys.-Solid State 1985 27 155
31. J. C. Hamilton J. M. Blakely Surf. Sci. 1980 91 199
32. N. R. Gall S. N. Mikhallov E. V. Rut'kov A. Y. Tontegode Sov. Phys.-Solid State 1985 27
33. M. Eizenberg J. M. Blakely Surf. Sci. 1979 82 228
34. A. N. Obraztsov E. A. Obraztsova A. V. Tyurnina A. A. Zolotukhin Carbon 2007 45 2017
35. A. Reina X. Jia J. Ho D. Nezich H. Son V. Bulovic M. S. Dresselhaus J. Kong Nano Lett. 2009 9 30
36. Z. P. Hu D. F. Ogletree M. A. Somorjai Surf. Sci 1987 180
37. T. A. Land T. Michely R. J. Behm J. C. Hemminger G. Comsa Surf. Sci. 1992 264 261
38. J. C. Hamilton J. M. Blakely Surf. Sci. 1980 91 199
39. J. Coraux A. T. N'Diaye C. Busse T. Michely Nano Lett. 2008 8 565
40. R. Balog B. Jorgensen L. Nilsson M. Andersen E. Rienks M. Bianchi M. Fanetti E. Laegsgaard A. Baraldi S. Lizzit Z. Sljivancanin F. Besenbacher B. Hammer T. G. Pedersen P. Hofmann L. Hornekaer Nat. Mater. 2010 9 315
41. Q. Yu J. Lian S. Siriponglert H. Li Y. P. Chen S.-S. Pei Appl. Phys. Lett. 2008 93 113103
42. M. P. Levendorf C. S. Ruiz-Vargas S. Garg J. Park Nano Lett. 2009 9 4479
43. A. Ismach C. Druzgalski S. Penwell A. Schwartzberg M. Zheng A. Javey J. Bokor Y. Zhang Nano Lett. 2010 10 1542
44. Y.-H. Lee J.-H. Lee Appl. Phys. Lett. 2010 96 083101
45. Y. Lee S. Bae H. Jang S. Jang S.-E. Zhu S. H. Sim Y. I. Song B. H. Hong J.-H. Ahn Nano Lett. 2010 10 490
46. D. Wei Y. Liu Y. Wang H. Zhang L. Huang G. Yu Nano Lett. 2009 9 1752
47. A. Srivastava C. Galande L. Ci L. Song C. Rai D. Jariwala K. F. Kelly P. M. Ajayan Chem. Mater. 2010 22 3457
48. H. Cao Q. Yu L. A. Jauregui J. Tian W. Wu Z. Liu R. Jalilian D. K. Benjamin Z. Jiang J. Bao S. S. Pei Y. P. Chen Appl. Phys. Lett. 2010 96 122106
49. V. P. Verma S. Das I. Lahiri W. Choi Appl. Phys. Lett. 2010 96 203108
50. X. S. Li; W. W. Cai; I. H. Jung; J. H. An; D. X. Yang; A. Velamakanni; R. Piner; L. Colombo; R. S. Ruoff. In Graphene and Emerging Materials for Post-Cmos Applications;, Obeng, Y.,,, DeGendt, S.,,, Srinivasan, P.,,, Misra, D.,,, Iwai, H.,,, Karim, Z.,,, Hess, D. W.,,, Grebel, H.,, ed.; Electrochemical Society Inc: Pennington, 2009; Vol. 19, p 41
51. X. Wu Y. Hu M. Ruan N. K. Madiomanana J. Hankinson M. Sprinkle C. Berger W. A. DeHeer Appl. Phys. Lett. 2009 95 223108
52. X. Li Y. Zhu W. Cai M. Borysiak B. Han D. Chen R. D. Piner L. Colombo R. S. Ruoff Nano Lett. 2009 9 4359
53. J. McCleverty. Chemistry of the first-row Transition Metals; Oxford science publications, 1999
54. A. Earnshaw; T. J. Harrington. The chemistry of the transition elements; Oxford University Press, 1972
55. S. Unarunotai Y. Murata C. E. Chialvo H.-s. Kim S. MacLaren N. Mason I. Petrov J. A. Rogers Appl. Phys. Lett. 2009 95 202101
56. T. P. Ong F. Xiong R. P. H. Chang C. W. J. White J. Mater. Res. 1992 7 2429
57. L. Constant C. Speisser F. L. Normand Surf. Sci. 1997 387 28
58. W. Zhou Z. Han J. Wang Y. Zhang Z. Jin X. Sun Y. Zhang C. Yan Y. Li Nano Lett. 2006 6 2987
59. L. Ding A. Tselev J. Wang D. Yuan H. Chu T. P. McNicholas Y. Li J. Liu Nano Lett. 2009 9 800
60. S.-T. Lee S. Chen G. Braunstein X. Feng I. Bello W. M. Lau Appl. Phys. Lett. 1991 59 785
61. C. Baraniecki P. H. Pinchbeck F. B. Pickering Carbon 1969 7 213
62. B. C. Banerjee P. L. Walker J. J. Appl. Phys. 1962 33 229
63. F. J. Derbyshire A. E. B. Presland D. L. Trimm Carbon 1975 13 111
64. T. Aizawa R. Souda S. Otani Y. Ishizawa C. Oshima Phys. Rev. Lett. 1990 64 768
65. C. Oshima E. Bannai a. Tanaka S. Kawai Jpn. J. Appl. Phys. 1977 16 965
66. C. Oshima A. Nagashima J. Phys.: Condens. Matter 1997 9 1
67. S. Helveg C. Lopez-Cartes J. Sehested P. L. Hansen B. S. Clausen J. R. Rostrup-Nielsen F. Abild-Pedersen J. K. Norskov Nature 2004 427 426
68. In ASM Handbook; ASM International: 2002; Vol. 3, Alloy Phase Diagrams
69. R. McLellan Scr. Metall. 1969 3 389
70. G. A. Lopez E. J. Mittemeijer Scr. Mater. 2004 51 1
71. P. Sutter M. S. Hybertsen J. T. Sadowski E. Sutter Nano Lett. 2009 9 2654
72. E. Sutter P. Albrecht P. Sutter Appl. Phys. Lett. 2009 95 133109
73. D. Takagi Y. Homma H. Hibino S. Suzuki Y. Kobayashi Nano Lett. 2006 6 2642
74. C. A. Di D. Wei G. Yu Y. Liu Y. Guo D. Zhu Adv. Mater. 2008 20 3289
75. J. H. Byeon J.-W. Kim Appl. Phys. Lett. 2010 96 153102
76. W. Cai Y. Zhu X. Li R. D. Piner R. S. Ruoff Appl. Phys. Lett. 2009 95 123115
77. M. Z. Butt J. Mater. Sci. Lett. 1983 2 1
78. Y. N. Z. Trehan Z. Anorg. Allg. Chem. 1962 318 107
79. K. L. Chavez D. W. J. Hess J. Electrochem. Soc. 2001 148 G640
80. H. Kim et al., in preparation, 2010
81. W. Bao F. Miao Z. Chen H. Zhang W. Jang C. Dames C. N. Lau Nat. Nanotechnol. 2009 4 562
82. J. B. Nelson D. P. Riley Proc. Phys. Soc. 1945 57 477
83. T. G. Kollie Phys. Rev. B: Solid State 1977 16 4872
84. X. Li W. Cai L. Colombo R. S. Ruoff Nano Lett. 2009 9 4268
85. A. C. Ferrari J. C. Meyer V. Scardaci C. Casiraghi M. Lazzeri F. Mauri S. Piscanec D. Jiang K. S. Novoselov S. Roth A. K. Geim Phys. Rev. Lett. 2006 97 187401
86. H. Chen W. Zhu Z. Zhang Phys. Rev. Lett. 2010 104 186101
87. W. M. Robertson Acta Metall. 1964 12 241
88. E. B. Saubestre Ind. Eng. Chem. 1959 51 288
89. W. Regan N. Alem B. Aleman B. Geng C. Girit L. Maserati F. Wang M. Crommie A. Zettl Appl. Phys. Lett. 2010 96 113102
90. In ASM Handbook Vol. 5 Surface Engineering, 1994
91. S. Habu Y. Yoshihiro Ind. Eng. Chem. Process Des. Dev. 1982 21 511
92. L.-H. Liu M. Yan Nano Lett. 2009 9 3375
93. H. A. Becerril J. Mao Z. Liu R. M. Stoltenberg Z. Bao Y. Chen ACS Nano 2008 2 463
94. L. Song L. Ci W. Gao P. M. Ajayan ACS Nano 2009 3 1353
95. H. Kim J. S. Horwitz G. P. Kushto Z. H. Kafafi D. B. Chrisey Appl. Phys. Lett. 2001 79 284
96. J.-Y. Lee S. T. Connor Y. Cui P. Peumans Nano Lett. 2008 8 689
97. R. G. Gordon, MRS Bulletin, 2000, August, 52
98. F. L. Wong M. K. Fung S. W. Tong C. S. Lee S. T. Lee Thin Solid Films 2004 466 225