Atmospheric spatial atomic layer deposition of in-doped ZnO

ECS Journal of Solid State Science and Technology

Volumn 3, Issue 5, 2014, Pages

  Illiberi, A ^a   Scherpenborg, R ^a   Roozeboom, F ^a,b   Poodt, P ^a  

^a HOLST CENTRE   (Netherlands)

^b EINDHOVEN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 84904746608     PISSN: 21628769     EISSN: 21628777     Source Type: Journal    
DOI: 10.1149/2.002405jss     Document Type: Article

References (27)

1. Zinc Oxide: From Fundamental Properties Towards Novel Applications", by C. F. Klinshirn, B. K. Meyer, A. Waag, A. Hoffmann, and J. Geurts, Springer Series in Materials Science 120 (2010).
2. J. Hu and R. G. Gordon, J. Appl. Phys., 71, 880 (1992).
3. I. Volintiru, M. Creatore, B. J. Kniknie, C. I. M. A. Spee, and M. C. M. van de Sanden, J. Appl. Phys., 102, 043709 (2007).
4. V. Sittinger, F. Ruske, W. Werner, B. Szyszka, B. Rech, J. Hupkes, G. Schope, and H. Stiebig, Thin Solid Films, 496, 16 (2006).
5. K. Matsubara, P. Fons, K. Iwata, A. Yamada, K. Sakurai, H. Tampo, and S. Niki, Thin Solid Films, 431, 369 (2003).
6. S. Major, A. Banerjee, and K. L. Chopra, Thin Solid Films, 108, 333 (1983).
7. M. W. Zhu, J. Gong, C. Sun, J. H. Xia, and X. Jiang, J. Appl. Phys., 104, 073113 (2008).
8. A. Illiberi, B. Kniknie, J. van Deelen, H. L. A. H. Steijvers, D. Habets, P. J. P. M. Simons, A. C. Janssen, and E. H. A. Beckers, Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 95, 1955 (2011).
9. A. Illiberi, P. J. P. M. Simons, B. Kniknie, J. van Deelen, M. Theelen, M. Zeman, M. Tijssen, W. Zijlmans, H. L. A. H Steijvers, D. Habets, A. C. Janssen, and E. H. A. Beckers, J. Cryst. Growth, 347, 56 (2012).
10. A. Illiberi, F. Grob, C. Frijters, P. Poodt, R. Ramachandra, H. Winands, M. Simor, and P. J. Bolt, Prog. Photovolt: Res. Appl., 21, 1559 (2013).
11. " Handbook of Transparent Conductors", by D. S. Ginley, H. Hosono, and D. C. Paine, Springer Series in Materials Science (2010).
12. P. Poodt, A. Lankhorst, F. Roozeboom, K. Spee, D. Maas, and A. Vermeer, Adv. Mater., 22, 3564 (2010).
13. A. Illiberi, F. Roozeboom, and P. Poodt, ACS Appl. Mater. Interfaces, 4, 268 (2012).
14. A. Illiberi, R. Scherpenborg, M. Theelen, P. Poodt, and F. Roozeboom, J. Vac. Sci. Technol. A, 31, 061504 (2013).
15. J. Y. Kim, Y. J. Choi, H. H. Park, S. Golledge, and D. C. Johnson, J. Vac. Sci. Technol. A, 28, 1111 (2010).
16. A. Yanguas-Gil, K. E. Peterson, and J. Elam, Chem. Mater., 23, 4295 (2011).
17. T. T. Van and J. P. Chang, Appl. Phys. Lett., 87, 011907 (2005).
18. Y. Wu, S. E. Potts, P. M. Hermkens, H. C. M. Knoops, and F. Roozeboom,W. M. M. Kessels Chem. Mater., 25, 4619 (2013).
19. A. Illiberi, R. Scherpenborg, Y. Wu, F. Roozeboom, and P. Poodt, ACS Appl. Mater. Interfaces, 5, 13124 (2014).
20. S. K. Kim, C. S. Hwang, S. H. K. Park, and S. J. Yun, Thin Solid Films, 478, 103 (2005).
21. E. Guziewicz, I. A. Kowalik, M. Goglewski, K. Kopalko, V. Osinniy, A. Wojcik, S. Yatsunenko, E. Lusakowska, W. Paszkowicz, and M. Guziewicz, J. Appl. Phys., 103, 033515 (2008).
22. D. J. Lee, J. Y. Kwon, J. I. Lee, and K. B. Kim, J. Phys. Chem. C, 115, 15384 (2011).
23. P. R. Chalker, P. A. Marshall, S. Romani, J. W. Roberts, S. J. C. Irvine, D. A. Lamb, A. J. Clayton, and P. A. Williams, J. Vac. Sci. Technol. A, 31, 01A120 (2013).
24. B. Kumar, H. Gong, and R. Akkipeddi, J. Appl. Phys., 97, 063706 (2005).
25. Y. S. Kim and W. P. Tai, Appl. Surf. Sci., 253, 4911 (2007).
26. A. J. Leenheer, J. D. Perkins, M. F. A. M. van Hest, J. J. Berry, R. P. O'Hayre, and D. S. Ginley, Phys. Review B, 77, 115215 (2008).
27. M. P. Taylor, D. W. Readey, M. F. A. M. van Hest, C. W. Teplin, J. L. Alleman, M. S. Dabney, L. M. Gedvilas, B. M. Keyes, B. To, J. D. Perkins, and D. S. Ginley, Adv. Funct. Mater., 18, 3169 (2008).