Detecting 20 nm wide defects in large area nanopatterns using optical interferometric microscopy

Nano Letters

Volumn 13, Issue 8, 2013, Pages 3716-3721

  Zhou, Renjie ^a   Edwards, Chris ^a   Arbabi, Amir ^a   Popescu, Gabriel ^a   Goddard, Lynford L ^a  

^a University of Illinois at Urbana Champaign   (United States)

Author keywords

defect inspection; Interferometric optical microscopy; metrology; nanotechnology; phase measurement

Indexed keywords

DEFECT INSPECTION; DIFFRACTION-LIMITED RESOLUTION; DIGITAL IMAGE PROCESSING TECHNIQUE; INTERFEROMETRIC IMAGING; INTERFEROMETRIC MICROSCOPY; LASER INTERFEROMETER; SEMI-CONDUCTOR WAFER; VISIBLE LASER LIGHT;

IMAGE PROCESSING; LASER INTERFEROMETRY; MEASUREMENTS; NANOTECHNOLOGY; NOISE ABATEMENT; PHASE MEASUREMENT;

DEFECTS;

EID: 84881579516     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl401622b     Document Type: Article

References (41)

1. Huang, J. S.; Callegari, V.; Geisler, P.; Bruning, C.; Kern, J.; Prangsma, J. C.; Wu, X. F.; Feichtner, T.; Ziegler, J.; Weinmann, P.; Kamp, M.; Forchel, A.; Biagioni, P.; Sennhauser, U.; Hecht, B. Nature Commun. 2010, 1, 150
2. Kalbac, M.; Hsieh, Y. P.; Farhat, H.; Kavan, L.; Hofmann, M.; Kong, J.; Dresselhaus, M. S. Nano Lett. 2010, 10 (11) 4619-4626
3. Urita, K.; Sato, Y.; Suenaga, K.; Gloter, A.; Hashimoto, A.; Ishida, M.; Shimada, T.; Shinohara, H.; Iijima, S. Nano Lett 2004, 4 (12) 2451-2454
4. Freer, E. M.; Grachev, O.; Duan, X. F.; Martin, S.; Stumbo, D. P. Nature Nanotechnol. 2010, 5 (7) 525-530
5. Caironi, M.; Gili, E.; Sakanoue, T.; Cheng, X. Y.; Sirringhaus, H. ACS Nano 2010, 4 (3) 1451-1456
6. Yang, H.; Heo, J.; Park, S.; Song, H. J.; Seo, D. H.; Byun, K. E.; Kim, P.; Yoo, I.; Chung, H. J.; Kim, K. Science 2012, 336 (6085) 1140-1143
7. Goldstein, J. Scanning electron microscopy and x-ray microanalysis, 3 rd ed.; Kluwer Academic/Plenum Publishers: New York, 2003.
8. Leamy, H. J. J. Appl. Phys. 1982, 53 (6) R51-R80
9. Rugar, D.; Hansma, P. Phys. Today 1990, 43 (10) 23-30
10. Nguyen, C. V.; Stevens, R. M. D.; Barber, J.; Han, J.; Meyyappan, M.; Sanchez, M. I.; Larson, C.; Hinsberg, W. D. Appl. Phys. Lett. 2002, 81 (5) 901-903
11. Kudo, T.; Bae, J.-B.; Dammel, R. R.; Kim, W.-K.; McKenzie, D. S.; Rahman, M. D.; Padmanaban, M.; Ng, W. SPIE Proc. 2001, 4345, 179-189
12. Egerton, R. F.; Li, P.; Malac, M. Micron 2004, 35 (6) 399-409
13. Picco, L. M.; Bozec, L.; Ulcinas, A.; Engledew, D. J.; Antognozzi, M.; Horton, M. A.; Miles, M. J. Nanotechnology 2007, 18 (4) 044030
14. Butt, H. J.; Siedle, P.; Seifert, K.; Fendler, K.; Seeger, T.; Bamberg, E.; Weisenhorn, A. L.; Goldie, K.; Engel, A. J Microsc.-Oxford 1993, 169, 75-84
15. Giessibl, F. J. Rev. Mod. Phys. 2003, 75 (3) 949-983
16. Abbe, E. J. R. Microsc. Soc. 1881, 1 (3) 388-423
17. Sandberg, R. L.; Song, C. Y.; Wachulak, P. W.; Raymondson, D. A.; Paul, A.; Amirbekian, B.; Lee, E.; Sakdinawat, A. E.; La-O-Vorakiat, C.; Marconi, M. C.; Menoni, C. S.; Murnane, M. M.; Rocca, J. J.; Kapteyn, H. C.; Miao, J. W. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2008, 105 (1) 24-27
18. Seaberg, M. D.; Adams, D. E.; Townsend, E. L.; Raymondson, D. A.; Schlotter, W. F.; Liu, Y. W.; Menoni, C. S.; Rong, L.; Chen, C. C.; Miao, J. W.; Kapteyn, H. C.; Murnane, M. M. Optics Express 2011, 19 (23) 22470-22479
19. Gardner, D. F.; Zhang, B. S.; Seaberg, M. D.; Martin, L. S.; Adams, D. E.; Salmassi, F.; Gullikson, E.; Kapteyn, H.; Murnane, M. Opt. Expr. 2012, 20 (17) 19050-19059
20. Barnes, B. M.; Sohn, Y.-J.; Goasmat, F.; Zhou, H.; Silver, R. M.; Arceo, A. Proc. SPIE 2012, 8324, 83240F
21. Wagner, C.; Harned, N. Nat. Photonics 2010, 4 (1) 24-26
22. Liu, Z. H.; Goldberg, B. B.; Ippolito, S. B.; Vamivakas, A. N.; Unlu, M. S.; Mirin, R. Appl. Phys. Lett. 2005, 87 (7) 071905
23. Ippolito, S. B.; Goldberg, B. B.; Unlu, M. S. Appl. Phys. Lett. 2001, 78 (26) 4071-4073
24. Serrels, K. A.; Ramsay, E.; Warburton, R. J.; Reid, D. T. Nat. Photonics 2008, 2 (5) 311-314
25. Mansfield, S. M.; Kino, G. S. Appl. Phys. Lett. 1990, 57 (24) 2615-2616
26. Mason, D. R.; Jouravlev, M. V.; Kim, K. S. Opt. Lett. 2010, 35 (12) 2007-2009
27. Rosenfeld, A.; Lorenz, M.; Stoian, R.; Ashkenasi, D. Appl. Phys. A: Mater. 1999, 69, S373-S376
28. Papernov, S.; Schmid, A. W. J. Appl. Phys. 1997, 82 (11) 5422-5432
29. Bonneau, F.; Combis, P.; Rullier, J. L.; Vierne, J.; Pellin, M.; Savina, M.; Broyer, M.; Cottancin, E.; Tuaillon, J.; Pellarin, M.; Gallais, L.; Natoli, J. V.; Perra, M.; Bercegol, H.; Lamaignere, L.; Loiseau, M.; Donohue, J. T. Appl. Phys. B 2002, 75 (8) 803-815
30. Hellman, A. N.; Vahidi, B.; Kim, H. J.; Mismar, W.; Steward, O.; Jeon, N. L.; Venugopalan, V. Lab Chip 2010, 10 (16) 2083-2092
31. Zheng, G. A.; Lee, S. A.; Antebi, Y.; Elowitz, M. B.; Yang, C. H. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2011, 108 (41) 16889-16894
32. Min, W.; Freudiger, C. W.; Lu, S. J.; Xie, X. S. Annu. Rev. Phys. Chem. 2011, 62, 507-530
33. Mudanyali, O.; Mcleod, E.; Luo, W.; Greenbaum, A.; Coskun, A. F.; Hennequin, Y.; Allier, C. P.; Ozcan, A. Nat. Photon. 2013, 7 (3) 240-247
34. Kner, P.; Chhun, B. B.; Griffis, E. R.; Winoto, L.; Gustafsson, M. G. L. Nature Methods 2009, 6 (5) 339-U36
35. Wang, Z.; Millet, L.; Mir, M.; Ding, H. F.; Unarunotai, S.; Rogers, J.; Gillette, M. U.; Popescu, G. Opt. Expr. 2011, 19 (2) 1016-1026
36. Popescu, G. Quantitative Phase Imaging of Cells and Tissues; McGraw-Hill: New York, 2011.
37. Popescu, G.; Ikeda, T.; Dasari, R. R.; Feld, M. S. Opt. Lett. 2006, 31 (6) 775-777
38. Park, Y.; Popescu, G.; Badizadegan, K.; Dasari, R. R.; Feld, M. S. Opt. Lett. 2007, 32 (7) 811-813
39. Edwards, C.; Arbabi, A.; Popescu, G.; Goddard, L. L. Light Sci. Appl. 2012, 1, e30
40. Ikeda, T.; Popescu, G.; Dasari, R. R.; Feld, M. S. Opt. Lett. 2005, 30 (10) 1165-1167
41. Zweig, M. H.; Campbell, G. Clin. Chem. 1993, 39 (8) 1589-1589