CVD of pure copper films from novel iso-ureate complexes

Dalton Transactions

Volumn 42, Issue 15, 2013, Pages 5554-5565

  Willcocks, Alexander M ^a   Pugh, Thomas ^a   Hamilton, Jeff A ^a   Johnson, Andrew L ^a   Richards, Stephen P ^b   Kingsley, Andrew J ^b  

^a University of Bath   (United Kingdom)

^b SAFC Hitech   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ENERGY DISPERSIVE X RAY SPECTROSCOPY; LOW PRESSURE CHEMICAL VAPOUR DEPOSITIONS; METAL PRECURSOR; METALLIC COPPER; POWDER X-RAY DIFFRACTION (PXRD); SINGLE CRYSTAL X-RAY DIFFRACTION ANALYSIS; SUBSTRATE TEMPERATURE; TEMPERATURE DEPENDENT;

CHELATION; COPPER; COPPER METALLURGY; PHOTOELECTRONS; SUBSTRATES; THERMOGRAVIMETRIC ANALYSIS; THIN FILMS; X RAY DIFFRACTION ANALYSIS; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY; X RAY SPECTROSCOPY;

COPPER COMPOUNDS;

EID: 84875449924     PISSN: 14779226     EISSN: 14779234     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c3dt00104k     Document Type: Article

References (89)

1. J. R. Creighton J. E. Parmeter Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 1993 18 175 238
2. M. J. Hampden-Smith T. Kodas Polyhedron 1995 14 699 732
3. J. A. T. Norman J. Phys. IV 2001 11 Pr3-497 Pr3-503
4. J. Rickerby J. H. G. Steinke Chem. Rev. 2002 102 1525 1549
5. B. Luo W. L. Gladfelter Chem. Vap. Deposition 2009 320 356
6. A. Grodzicki I. Lakomska P. Piszczek I. Szymanska E. Szlyk Coord. Chem. Rev. 2005 249 2232 2258
7. B. S. Lim A. Rahtu R. G. Gordon Nat. Mater. 2003 2 749 754
8. A. U. Mane S. A. Shivashankar Mater. Sci. Semicond. Process. 2004 7 343 347
9. Z. Li S. T. Barry R. G. Gordon Inorg. Chem. 2005 44 1728 1735
10. K.-H. Park W. J. Marshall J. Am. Chem. Soc. 2005 127 9330 9331
11. Z. Li R. G. Gordon Chem. Vap. Deposition 2006 12 435 441
12. Z. Li A. Rahtu R. G. Gordon J. Electrochem. Soc. 2006 153 C787 C794
13. K.-H. Park Z. Bradley Alexander S. Thompson Jeffery J. Marshall Will Inorg. Chem. 2006 45 8480 8482
14. Q. Ma H.-S. Guo R. G. Gordon F. Zaera Chem. Mater. 2010 22 352 359
15. B. Vidjayacoumar D. J. H. Emslie S. B. Clendenning J. M. Blackwell J. F. Britten A. Rheingold Chem. Mater. 2010 22 4844 4853
16. Q. Ma H. Guo R. G. Gordon F. Zaera Chem. Mater. 2011 23 3325 3334
17. G. Dey S. D. Elliott J. Phys. Chem. A 2012 116 8893 8901
18. J. Huo R. Solanki J. McAndrew J. Mater. Res. 2002 17 2394 2398
19. O. K. Kwon J. H. Kim H. S. Park S. W. Kang J. Electrochem. Soc. 2004 151 G109 G112
20. O. K. Kwon S. H. Kwon H. S. Park S. W. Kang J. Electrochem. Soc. 2004 151 C753 C756
21. K. Ramasamy M. A. Malik P. O'Brien Chem. Sci. 2011 2 1170 1172
22. A. L. Abdelhady M. A. Malik P. O'Brien J. Mater. Chem. 2012 22 3781 3785
23. K. Ramasamy M. A. Malik P. O'Brien Chem. Commun. 2012 48 5703 5714
24. P. Jackson D. Hariskos E. Lotter S. Paetel R. Wuerz R. Menner W. Wischmann M. Powalla Prog. Photovoltaics 2011 19 894 897
25. C. Y. Cummings G. Zoppi I. Forbes P. J. Dale J. J. Scragg L. M. Peter G. Kociok-Kohn F. Marken J. Electroanal. Chem. 2010 645 16 21
26. G. Zoppi I. Forbes R. W. Miles P. J. Dale J. J. Scragg L. M. Peter Prog. Photovoltaics 2009 17 315 319
27. J. J. Scragg P. J. Dale L. M. Peter Thin Solid Films 2009 517 2481 2484
28. J. J. Scragg P. J. Dale L. M. Peter Electrochem. Commun. 2008 10 639 642
29. M. C. Artaud-Gillet S. Duchemin R. Odedra G. Orsal N. Rega S. Rushworth S. Siebentritt J. Cryst. Growth 2003 252 626 627
30. M. C. Artaud-Gillet S. Duchemin R. Odedra G. Orsal N. Rega S. Rushworth S. Siebentritt J. Cryst. Growth 2003 248 163 168
31. D. W. Macomber M. D. Rausch J. Am. Chem. Soc. 1983 105 5325 5329
32. D. B. Beach W. F. Kane F. K. Legoues C. J. Knors Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1990 181 73 77
33. D. B. Beach F. K. Legoues C. K. Hu Chem. Mater. 1990 2 216 219
34. M. J. Hampdensmith T. T. Kodas M. Paffett J. D. Farr H. K. Shin Chem. Mater. 1990 2 636 639
35. K. M. Chi H. K. Shin M. J. Hampdensmith E. N. Duesler T. T. Kodas Polyhedron 1991 10 2293 2299
36. K. M. Chi H. K. Shin M. J. Hampdensmith T. T. Kodas E. N. Duesler Inorg. Chem. 1991 30 4293 4294
37. H. K. Shin K. M. Chi M. J. Hampdensmith T. T. Kodas J. D. Farr M. Paffett Adv. Mater. 1991 3 246 248
38. H. K. Shin M. J. Hampdensmith E. N. Duesler T. T. Kodas Polyhedron 1991 10 645 647
39. T. H. Baum C. E. Larson Chem. Mater. 1992 4 365 369
40. R. Kumar F. R. Fronczek A. W. Maverick W. G. Lai G. L. Griffin Chem. Mater. 1992 4 577 582
41. T. Kruck C. Terfloth Chem. Ber. 1993 126 1101 1106
42. H. Y. Yoen Y. B. Park S. W. Rhee J. Mater. Sci.: Mater. Electron. 1997 8 189 194
43. J. H. Son M. Y. Park S. W. Rhee Thin Solid Films 1998 335 229 236
44. S. W. Kang S. H. Han S. W. Rhee Thin Solid Films 1999 350 10 13
45. M. Y. Park J. H. Son S. W. Kang S. W. Rhee J. Mater. Res. 1999 14 975 979
46. B. A. Kim H. H. Lee Chem. Vap. Deposition 2001 7 242 245
47. H. K. Shin M. J. Hampdensmith T. T. Kodas A. L. Rheingold J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1992 217 219
48. M. Becht T. Gerfin K. H. Dahmen Helv. Chim. Acta 1994 77 1288 1298
49. H. Guillon S. Daniele L. G. Hubert-Pfalzgraf C. Bavoux Inorg. Chim. Acta 2000 304 99 107
50. A. Jakob T. Ruffer P. Ecorchard B. Walfort K. Korbitz S. Fruhauf S. E. Schulz T. Gessner H. Lang Z. Anorg. Allg. Chem. 2010 636 1931 1940
51. R. Mothes T. Ruffer Y. Z. Shen A. Jakob B. Walfort H. Petzold S. E. Schulz R. Ecke T. Gessner H. Lang Dalton Trans. 2010 39 11235 11247
52. W. B. Szymanska P. Piszczek E. Szlyk Polyhedron 2009 28 721 728
53. J. L. Han Y. Z. Shen C. X. Li Y. Z. Li Y. Pan Inorg. Chim. Acta 2005 358 4417 4422
54. A. Jakob H. Schmidt B. Walfort G. Rheinwald S. Fruhauf S. Schulz T. Gessner H. Lang Z. Anorg. Allg. Chem. 2005 631 1079 1086
55. Y. Chi P. F. Hsu C. S. Liu W. L. Ching T. Y. Chou A. J. Carty S. M. Peng G. H. Lee S. H. Chuang J. Mater. Chem. 2002 12 3541 3550
56. M. Veith N. Lecerf S. Mathur H. Shen S. Hufner Chem. Mater. 1999 11 3103 3112
57. T. J. J. Whitehorne J. P. Coyle A. Mahmood W. H. Monillas G. P. A. Yap S. T. Barry Eur. J. Inorg. Chem. 2011 3240 3247
58. J. P. Coyle W. H. Monillas G. P. A. Yap S. T. Barry Inorg. Chem. 2008 47 683 689
59. J. P. Coyle P. A. Johnson G. A. DiLabio S. T. Barry J. Muller Inorg. Chem. 2010 49 2844 2850
60. A. M. Willcocks T. P. Robinson C. Roche T. Pugh S. P. Richards A. J. Kingsley J. P. Lowe A. L. Johnson Inorg. Chem. 2012 51 246 257
61. L. J. Mathias Org. Prep. Proced. Int. 1980 12 309 326
62. N. Matsumura T. Ohba H. Inoue Bull. Chem. Soc. Jpn. 1982 55 3949 3950
63. H.-Z. Tang D. Boyle Paul M. Novak Bruce J. Am. Chem. Soc. 2005 127 2136 2142
64. A. J. Bloodworth A. G. Davies S. C. Vasishtha J. Chem. Soc. C 1967 1309 1313
65. A. G. Davies, (M and T Chemicals Inc.), Application: US 1964-406571, 1967
66. I. Shibata H. Yamasaki A. Baba H. Matsuda J. Org. Chem. 1992 57 6909 6914
67. A. G. Davies R. J. Puddephatt J. Organomet. Chem. 1966 5 590 592
68. A. G. Davies R. J. Puddephatt J. Chem. Soc. C 1967 2663 2668
69. T. A. Budzichowski M. H. Chisholm K. Folting J. C. Huffman W. E. Streib D. B. Tiedtke Polyhedron 1998 17 857 867
70. Y. Cao Z. Du W. B. Li J. M. Li Y. Zhang F. Xu Q. Shen Inorg. Chem. 2011 50 3729 3737
71. Z. Du Y. Zhang Y. M. Yao Q. Shen Dalton Trans. 2011 40 7639 7644
72. Z. Du H. Zhou H. S. Yao Y. Zhang Y. M. Yao Q. Shen Chem. Commun. 2011 47 3595 3597
73. M. Bortoluzzi G. Paolucci F. Sartor V. Bertolasi Polyhedron 2012 37 66 76
74. B. M. Bycroft J. D. Cotton J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1973 1867 1870
75. J. Vicente J. A. Abad M.-J. Lopez-Saez P. G. Jones Organometallics 2006 25 1851 1853
76. J. Vicente J.-A. Abad M.-J. Lopez-Saez P. G. Jones D. Bautista Chem.-Eur. J. 2010 16 661 676
77. F. W. B. Einstein J. S. Field Acta Crystallogr., Sect. B: Struct. Crystallogr. Cryst. Chem. 1979 35 1696 1698
78. Y. J. Park N. S. Sickerman J. W. Ziller A. S. Borovik Chem. Commun. 2010 46 2584 2586
79. I. Westmoreland I. J. Munslow A. J. Clarke G. Clarkson P. Scott Organometallics 2004 23 5066 5074
80. A. L. Gott S. R. Coles A. J. Clarke G. J. Clarkson P. Scott Organometallics 2007 26 136 142
81. T. Chen, C. Xu, T. H. Baum, B. C. Hendrix, T. Cameron, J. F. Roeder and M. Stender, (Advanced Technology Materials, Inc., USA), Application: WO 2007142700, 2007
82. A. L. Johnson A. M. Willcocks S. P. Richards Inorg. Chem. 2009 48 8613 8622
83. E. S. Hwang J. Lee Chem. Mater. 2000 12 2076 2081
84. G. M. Sheldrick, SHELX-86, Computer Program for Crystal Structure Determination, University Of Göttingen, Germany, 1986
85. G. M. Sheldrick, SHELX-97, Computer Program for Crystal Structure Refinement, University of Göttingen, Germany, 1997
86. G. M. Sheldrick Acta Crystallogr., Sect. A: Fundam. Crystallogr. 2008 64 112 122
87. Z. Otwinowski W. Minor Methods Enzymol. 1997 276 307 326
88. A. Altomare M. C. Burla M. Camalli G. L. Cascarano C. Giacovazzo A. Guagliardi A. G. G. Moliterni G. Polidori R. Spagna J. Appl. Crystallogr. 1999 32 115 119
89. L. J. Farrugia J. Appl. Crystallogr. 2012 45 849 854