Defects in N, O and N, Zn implanted ZnO bulk crystals

Journal of Applied Physics

Volumn 113, Issue 10, 2013, Pages

  Stehr, J E ^a   Wang, X J ^a,b   Filippov, S ^a   Pearton, S J ^c   Ivanov, I G ^a   Chen, W M ^a   Buyanova, I A ^a  

^a LINKÖPING UNIVERSITY   (Sweden)

^b SHANGHAI INSTITUTE OF TECHNICAL PHYSICS   (China)

^c UNIVERSITY OF FLORIDA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ACCEPTOR CENTERS; CARRIER RECOMBINATION; DONOR-ACCEPTOR PAIR EMISSION; FORMATION MECHANISM; INTRINSIC DEFECTS; LOCAL VIBRATIONAL MODE; OPTICALLY DETECTED MAGNETIC RESONANCE; POSTIMPLANTATION ANNEALING;

BINDING ENERGY; MAGNETIC RESONANCE; SEMICONDUCTOR QUANTUM WELLS; ZINC; ZINC OXIDE;

DEFECTS;

EID: 84875200900     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.4795261     Document Type: Article

References (54)

1. S. J. Pearton, D. P. Norton, K. Ip, Y. W. Heo, and T. Steiner, Prog. Mater. Sci. 50, 293 (2005). 10.1016/j.pmatsci.2004.04.001
2. C. W. Litton, D. C. Reynolds, and T. C. Collins, Zinc Oxide Materials for Electronic and Optoelectronic Device Applications (John Wiley Sons, 2011).
3. C. Klingshirn, Physica Status Solidi B 244, 3027 (2007). 10.1002/pssb.200743072
4. T. Dietl, H. Ohno, F. Matsukura, J. Cibert, and D. Ferrand, Science 287, 1019 (2000). 10.1126/science.287.5455.1019
5. U. V. Desnica, Prog. Cryst. Growth Charact. Mater. 36, 291 (1998). 10.1016/S0960-8974(98)00011-4
6. C. G. Van de Walle, D. B. Laks, G. F. Neumark, and S. T. Pantelides, Phys. Rev. B 47, 9425 (1993). 10.1103/PhysRevB.47.9425
7. A. Kobayashi, O. F. Sankey, and J. D. Dow, Phys. Rev. B 28, 946 (1983). 10.1103/PhysRevB.28.946
8. D. C. Look, D. C. Reynolds, C. W. Litton, R. L. Jones, D. B. Eason, and G. Cantwell, Appl. Phys. Lett. 81, 1830 (2002). 10.1063/1.1504875
9. A. Zeuner, H. Alves, D. M. Hofmann, B. K. Meyer, A. Hoffmann, U. Haboeck, M. Strassburg, and M. Dworzak, Physica Status Solidi B 234, R7 (2002). 10.1002/1521-3951(200212)234:33.0.CO;2-D
10. A. Tsukazaki, A. Ohtomo, T. Onuma, M. Ohtani, T. Makino, M. Sumiya, K. Ohtani, S. F. Chichibu, S. Fuke, Y. Segawa, H. Ohno, H. Koinuma, and M. Kawasaki, Nat. Mater. 4, 42 (2005). 10.1038/nmat1284
11. T. M. Barnes, K. Olson, and C. A. Wolden, Appl. Phys. Lett. 86, 112112 (2005). 10.1063/1.1884747
12. J. W. Sun, Y. M. Lu, Y. C. Liu, D. Z. Shen, Z. Z. Zhang, B. Yao, B. H. Li, J. Y. Zhang, D. X. Zhao, and X. W. Fan, J. Appl. Phys. 102, 043522 (2007). 10.1063/1.2772581
13. B. K. Meyer, J. Sann, D. M. Hofmann, C. Neumann, and A. Zeuner, Semicond. Sci. Technol. 20, S62 (2005). 10.1088/0268-1242/20/4/008
14. F. Reuss, C. Kirchner, T. Gruber, R. Kling, S. Maschek, W. Limmer, A. Waag, and P. Ziemann, J. Appl. Phys. 95, 3385 (2004). 10.1063/1.1650899
15. L. Wang and N. C. Giles, Appl. Phys. Lett. 84, 3049 (2004). 10.1063/1.1711162
16. S. Lautenschlaeger, S. Eisermann, B. K. Meyer, G. Callison, M. R. Wagner, and A. Hoffmann, Phys. Status Solidi (RRL) 3, 16 (2009). 10.1002/pssr.200802215
17. J. Li, S.-H. Wei, S.-S. Li, and J.-B. Xia, Phys. Rev. B 74, 081201 (2006). 10.1103/PhysRevB.74.081201
18. S. Lany and A. Zunger, Phys. Rev. B 81, 205209 (2010). 10.1103/PhysRevB.81.205209
19. J. L. Lyons, A. Janotti, and C. G. V. d. Walle, Appl. Phys. Lett. 95, 252105 (2009). 10.1063/1.3274043
20. J. E. Stehr, D. M. Hofmann, and B. K. Meyer, J. Appl. Phys. 112, 103511 (2012). 10.1063/1.4765729
21. T. Yamamoto and H. Katayama-Yoshida, Jpn. J. Appl. Phys. 38, L166 (1999). 10.1143/JJAP.38.L166
22. S. Lautenschlaeger, M. Hofmann, S. Eisermann, G. Haas, M. Pinnisch, A. Laufer, and B. K. Meyer, Physica Status Solidi B 248, 1217 (2011). 10.1002/pssb.201046516
23. E.-C. Lee, Y. S. Kim, Y. G. Jin, and K. J. Chang, Phys. Rev. B 64, 085120 (2001). 10.1103/PhysRevB.64.085120
24. A. Janotti and C. G. V. d. Walle, Rep. Prog. Phys. 72, 126501 (2009). 10.1088/0034-4885/72/12/126501
25. J. E. Stehr, B. K. Meyer, and D. M. Hofmann, Appl. Magn. Reson. 39, 137 (2010). 10.1007/s00723-010-0142-z
26. G. N. Aliev, S. J. Bingham, D. Wolverson, J. J. Davies, H. Makino, H. J. Ko, and T. Yao, Phys. Rev. B 70, 115206 (2004). 10.1103/PhysRevB.70.115206
27. X. J. Wang, I. A. Buyanova, W. M. Chen, C. J. Pan, and C. W. Tu, J. Appl. Phys. 103, 023712 (2008). 10.1063/1.2833434
28. X. J. Wang, W. M. Chen, F. Ren, S. Pearton, and I. A. Buyanova, J. Appl. Phys. 111, 043520 (2012). 10.1063/1.3687919
29. A. Kaschner, U. Haboeck, M. Strassburg, M. Strassburg, G. Kaczmarczyk, A. Hoffmann, C. Thomsen, A. Zeuner, H. R. Alves, D. M. Hofmann, and B. K. Meyer, Appl. Phys. Lett. 80, 1909 (2002). 10.1063/1.1461903
30. L. Artus, R. Cusco, E. Alarcon-Llado, G. Gonzalez-Diaz, I. Martil, J. Jimenez, B. Wang, and M. Callahan, Appl. Phys. Lett. 90, 181911 (2007). 10.1063/1.2734474
31. F. Friedrich, M. A. Gluba, and N. H. Nickel, Appl. Phys. Lett. 95, 141903 (2009). 10.1063/1.3243454
32. J. B. Wang, H. M. Zhong, Z. F. Li, and W. Lu, Appl. Phys. Lett. 88, 101913 (2006). 10.1063/1.2185261
33. B. K. Meyer, H. Alves, D. M. Hofmann, W. Kriegseis, D. Forster, F. Bertram, J. Christen, A. Hoffmann, M. Straburg, M. Dworzak, U. Haboeck, and A. V. Rodina, Physica Status Solidi B 241, 231 (2004). 10.1002/pssb.200301962
34. M. R. Wagner, G. Callsen, J. S. Reparaz, J. H. Schulze, R. Kirste, M. Cobet, I. A. Ostapenko, S. Rodt, C. Nenstiel, M. Kaiser, A. Hoffmann, A. V. Rodina, M. R. Phillips, S. Lautenschläger, S. Eisermann, and B. K. Meyer, Phys. Rev. B 84, 035313 (2011). 10.1103/PhysRevB.84.035313
35. Y. M. Strzhemechny, H. L. Mosbacker, D. C. Look, D. C. Reynolds, C. W. Litton, N. Y. Garces, N. C. Giles, L. E. Halliburton, S. Niki, and L. J. Brillson, Appl. Phys. Lett. 84, 2545 (2004). 10.1063/1.1695440
36. J. Sann, A. Hofstaetter, D. Pfisterer, J. Stehr, and B. K. Meyer, Physica Status Solidi C 3, 952 (2006). 10.1002/pssc.200564635
37. W. Lim, D. P. Norton, S. J. Pearton, X. J. Wang, W. M. Chen, I. A. Buyanova, A. Osinsky, J. W. Dong, B. Hertog, A. V. Thompson, W. V. Schoenfeld, Y. L. Wang, and F. Ren, Appl. Phys. Lett. 92, 032103 (2008). 10.1063/1.2836946
38. S. J. Jokela and M. D. McCluskey, J. Appl. Phys. 107, 113536 (2010). 10.1063/1.3443457
39. S. J. Jokela and M. D. McCluskey, Phys. Rev. B 76, 193201 (2007). 10.1103/PhysRevB.76.193201
40. J. Kennedy, D. A. Carder, A. Markwitz, and R. J. Reeves, J. Appl. Phys. 107, 103518 (2010). 10.1063/1.3380592
41. X. D. Yang, Z. Y. Xu, Z. Sun, B. Q. Sun, L. Ding, F. Z. Wang, and Z. Z. Ye, J. Appl. Phys. 99, 046101 (2006). 10.1063/1.2171779
42. M. Schirra, R. Schneider, A. Reiser, G. M. Prinz, M. Feneberg, J. Biskupek, U. Kaiser, C. E. Krill, R. Sauer, and K. Thonke, Phys. B: Condens. Matter 401-402, 362 (2007). 10.1016/j.physb.2007.08.188
43. Y. R. Ryu, T. S. Lee, and H. W. White, Appl. Phys. Lett. 83, 87 (2003). 10.1063/1.1590423
44. S. Lautenschlaeger, S. Eisermann, G. Haas, E. A. Zolnowski, M. N. Hofmann, A. Laufer, M. Pinnisch, B. K. Meyer, M. R. Wagner, J. S. Reparaz, G. Callsen, A. Hoffmann, A. Chernikov, S. Chatterjee, V. Bornwasser, and M. Koch, Phys. Rev. B 85, 235204 (2012). 10.1103/PhysRevB.85.235204
45. Z. Q. Chen, A. Kawasuso, Y. Xu, H. Naramoto, X. L. Yuan, T. Sekiguchi, R. Suzuki, and T. Ohdaira, J. Appl. Phys. 97, 013528 (2005). 10.1063/1.1821636
46. S. Stoll and A. Schweiger, J. Magn. Reson. 178, 42 (2006). 10.1016/j.jmr.2005.08.013
47. L. S. Vlasenko and G. D. Watkins, Phys. Rev. B 72, 035203 (2005). 10.1103/PhysRevB.72.035203
48. X. J. Wang, L. S. Vlasenko, S. J. Pearton, W. M. Chen, and I. A. Buyanova, J. Phys. D: Appl. Phys. 42, 175411 (2009). 10.1088/0022-3727/42/17/ 175411
49. P. Li, S. Deng, G. Liu, and K. Hou, Chem. Phys. Lett. 543, 92 (2012). 10.1016/j.cplett.2012.06.064
50. N. Y. Garces, N. C. Giles, L. E. Halliburton, G. Cantwell, D. B. Eason, D. C. Reynolds, and D. C. Look, Appl. Phys. Lett. 80, 1334 (2002). 10.1063/1.1450041
51. L. S. Vlasenko and G. D. Watkins, Phys. Rev. B 71, 125210 (2005). 10.1103/PhysRevB.71.125210
52. D. Galland and A. Herve, Phys. Lett. A 33, 1 (1970). 10.1016/0375- 9601(70)90614-6
53. V. A. Nikitenko, J. Appl. Spectrosc. 57, 783 (1992). 10.1007/BF00663923
54. M. C. Tarun, M. Z. Iqbal, and M. D. McCluskey, AIP Adv. 1, 022105 (2011). 10.1063/1.3582819