Wafer-scale pattern transfer of metal nanostructures on polydimethylsiloxane (PDMS) substrates via holographic nanopatterns

ACS Applied Materials and Interfaces

Volumn 4, Issue 10, 2012, Pages 5505-5514

  Du, Ke ^a   Wathuthanthri, Ishan ^a   Liu, Yuyang ^a   Xu, Wei ^a   Choi, Chang Hwan ^a  

^a Stevens Institute of Technology   (United States)

Author keywords

adhesion; holographic nanopatterns; metal; nanostructures; pattern transfer; PDMS

Indexed keywords

ADHESION PROMOTER; ADHESION TEST; AMINOPROPYL; COMPOSITE LAYER; IMMERSION TESTS; METAL FILM; METAL NANOSTRUCTURE; METAL SURFACES; METALLIC MATERIAL; METALLIC NANOSTRUCTURE; NANO PATTERN; NON DESTRUCTIVE; OPTO-FLUIDICS; PATTERN TRANSFER PROCESS; PATTERN TRANSFERS; PDMS; PDMS ELASTOMER; PDMS SUBSTRATE; POLYDIMETHYLSILOXANE PDMS; POOR ADHESION; ROBUST PATTERNS; SCIENTIFIC AND ENGINEERING APPLICATIONS; TEMPLATE LAYERS; TEMPLATE STRUCTURES; TRIETHOXYSILANE; WAFER SCALE;

ADHESION; ALUMINUM COATINGS; HOLOGRAPHY; METALLIC FILMS; METALS; MICROCHANNELS; MONOLAYERS; NANOPHOTONICS; NANOSTRUCTURES; PHOTORESISTS; SUBSTRATES;

SILICONES;

EID: 84867805521     PISSN: 19448244     EISSN: 19448252     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/am301423s     Document Type: Article

References (44)

1. O'Brien, M. J.; Bisong, P.; Ista, L. K.; Rabinovich, E. M.; Garcia, A. L.; Sibbett, S. S.; Lopez, G. P.; Brueck, S. R. J. J. Vac. Sci. Technol. B 2003, 21, 2941-2945
2. Garcia, A. L.; Ista, L. K.; Petsev, D. N.; O'Brien, M. J.; Bisong, P.; Mammoli, A. A.; Brueck, S. R. J.; Lopez, G. P. Lab Chip 2005, 5, 1271-1276
3. Craighead, H. G. Science 2000, 290, 1532-1535
4. Chen, C. M.; Sung, C. K. Microelectron. Eng. 2010, 87, 872-875
5. Tan, H.; Gilbertson, A.; Chou, S. Y. J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 3926-3928
6. Yang, J. C.; Gao, H. W.; Suh, J. Y.; Zhou, W.; Lee, M. H.; Odom, T. W. Nano Lett. 2010, 10, 3173-3178
7. Lindquist, N. C.; Johnson, T. W.; Norris, D. J.; Oh, S. H. Nano Lett. 2011, 11, 3526-3530
8. Tao, H.; Amsden, J. J.; Strikwerada, A. C.; Fan, K.; Kaplan, D. L.; Zhang, X.; Averitt, R. D.; Omenetto, F. G. Adv. Mater. 2010, 22, 3527-3531
9. Deng, X. G.; Braun, G. B.; Liu, S.; Sciortino, P. F.; Koefer, B.; Tombler, T.; Moskovits, M. Nano Lett. 2010, 10, 1780-1786
10. Choi, C. J.; Xu, Z.; Wu, H. Y.; Liu, G. L.; Cunningham, B. T. Nanotechnology 2010, 21, 415301
11. Lee, M. H.; Huntington, M. D.; Zhou, W.; Yang, J.-C.; Odom, T. W. Nano Lett. 2010, 10, 311-315
12. Kim, D. H.; Liu, Z. J.; Kim, Y. S.; Wu, J.; Song, J. Z.; Kim, H. S.; Huang, Y. G.; Hwang, K. C.; Zhang, Y.W.; Rogers, J. A. Small 2009, 5, 2841-2847
13. Ko, H. C.; Shin, G. C.; Wang, S. D.; Stoykovich, M. P.; Lee, J. W.; Kim, D. H.; Ha, J. S.; Huang, Y. G.; Hwang, K. C.; Rogers, J. A. Small 2009, 5, 2703-2709
14. Kim, S.; Su, Y.; Mihi, A.; Lee, S.; Liu, Z.; Bhandakkar, T. K.; Wu, J.; Geddes, J. B.; Johnson, H. T.; Zhang, Y.; Park, J.; Braun, P.; Huang, Y.; Rogers, J. A. Small 2012, 8, 901-906
15. Song, J.; Jiang, H.; Huang, Y.; Rogers, J. A. J. Vac. Sci. Technol. A 2009, 27, 1107-1125
16. Fujii, T. Microelectron. Eng. 2002, 61-62, 907-914
17. Engelmark, F.; Iriarte, G. F.; Katardjiev, I. V. J. Vac. Sci. Technol. B 2002, 20, 843-848
18. Aimi, M. F.; Rao, M. P.; Macdonald, N. C.; Zuruzi, A. S.; Bothman, D. P. Nat. Mater. 2004, 3, 103-105
19. Guo, L.; DeWeerth, S. P. Small 2010, 6, 2847-2852
20. Sabella, S.; Shiv Shankar, S.; Vecchio, G.; Brunetti, V.; Rizzello, L.; Qualtieri, A.; Martiradonna, L.; Cingolani, R.; Pompa, P. P. Mater. Lett. 2010, 64, 41-44
21. Fakhr, O.; Altpeter, P.; Karrai, K.; Lugil, P. Small 2011, 7, 2533-2538
22. Aldakov, D.; Tondelier, D.; Palacin, S.; Bonnassieux, Y. ACS Appl. Mater. Interfaces 2011, 3, 740-745
23. Gou, H.; Xu, J.; Xia, X.; Chen, H. ACS Appl. Mater. Interfaces 2010, 2, 1324-1330
24. Basarir, F. ACS Appl. Mater. Interfaces 2012, 4, 1324-1329
25. Du, K.; Wathuthanthri, I.; Xu, W.; Mao, W.; Choi, C.-H. Nanotechnology 2011, 22, 285306
26. Chen, C.-H.; Yu, T.-H.; Lee, Y.-C. J. Micromech. Microeng. 2010, 20, 025034
27. Chen, C.-H.; Yu, T.-H.; Lee, Y.-C. J. Microelectromech. Syst. 2011, 20, 916-921
28. Kwak, M. K.; Kim, T.; Kim, P.; Lee, H. H.; Suh, K. Y. Small 2009, 5, 928-932
29. Kwak, M. K.; Shin, K. H.; Yoon, E. Y.; Suh, K. Y. J. Colloid Interface Sci. 2010, 343, 301-305
30. Smith, H. Physica E 2001, 11, 104-109
31. Fernandez, A.; Nguyen, H. T.; Britten, J. A.; Boyd, R. D.; Perry, M. D.; Kania, D. R.; Hawryluk, A. M. J. Vac. Sci. Technol. B 1997, 15, 729-735
32. Zuppella, P.; Luciani, D.; Tucceri, P.; De Marco, P.; Gaudieri, A.; Kaiser, J.; Ottavano, L.; Santucci, S.; Reale, A. Nanotechnology 2009, 20, 115303
33. Wathuthanthri, I.; Mao, W.; Choi, C.-H. Opt. Lett. 2011, 36, 1593-1595
34. Wathuthanthri, I.; Liu, Y.; Du, K.; Xu., W.; Choi, C.-H. Adv. Funct. Mater. 2012, 10.1002/adfm.201201814
35. Ouellet, E.; Yang, C. W. T.; Lin, T.; Yang, L. L.; Lagally, E. T. Langmuir 2010, 26, 11609-11614
36. Lacoura, S. P.; Wagner, S.; Huang, Z.; Suo, Z. Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 2404-2406
37. Loo, Y. L.; Willett, R. L.; Baldwin, K. W.; Rogers, J. A. J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 7654-7655
38. Loo, Y. L.; Willett, R. L.; Baldwin, K. W.; Rogers, J. A. Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 562-564
39. Lim, K. S.; Chang, W. J.; Koo, Y. M.; Bashir, R. Lab Chip 2006, 6, 578-580
40. Schuy, S.; Janshoff, A. J. Colloid Interface Sci. 2006, 295, 93-99
41. Ballarin, B.; Cassani, M. C.; Gazzano, M.; Solinas, G. Electrochim. Acta 2010, 56, 676-686
42. Freeman, R. G.; Grabar, K. C.; Allison, K. J.; Bright, R. M.; Davis, J. A.; Guthrie, A. P.; Hommer, M. B.; Hackson, M. A.; Smith, P. C.; Walter, D. G.; Natan, M. J. Science 1995, 267, 1629-1632
43. Hidber, P. C.; Helbig, W.; Kim, E.; Whitesides, G. M. Langmuir 1996, 12, 1375-1380
44. Mao, W.; Wathuthanthri, I.; Choi, C.-H. Opt. Lett. 2011, 36, 3176-3178