Improved transparent-conducting properties in N 2- and H 2-annealed GaZnO thin films grown on glass substrates

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 60, Issue 1, 2012, Pages 99-103

  Lee, Youngmin ^a   Kim, Deuk Young ^a   Lee, Sejoon ^a  

^a Dongguk University   (South Korea)

Author keywords

GaZnO; Resistivity; Thermal annealing; Transmittance; Transparent conducting oxide

Indexed keywords

EID: 84862854228     PISSN: 03744884     EISSN: 19768524     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.60.99     Document Type: Article

References (25)

1. T. Minami, Semicond. Sci. Technol. 20, S35 (2005).
2. S. W. Shin, I. Y. Kim, G. H. Lee, G. L. Agawane, A. V. Mohokar, G. S. Heo, J. H. Kim and J. Y. Lee, Cryst. Growth Des. 11, 4819 (2011).
3. Z. Zhan, J. Zhang, Q. Zheng, D. Pan, J. Huang, F. Huang and Z. Lin, Cryst. Growth Des. 11, 21 (2011).
4. T. Kemmitt, B. Ingham and R. J. Linklater, Phys. Chem. C 115, 15031 (2011).
5. Y. Geng, L. Guo, S. S. Xu, Q. Q. Sun, S. J. Ding, H. L. Lu and D. W. Zhang, J. Phys. Chem. C 115, 12317 (2011).
6. M. Bazzani, A. Neroni, A. Calzolari and A. Catellani, Appl. Phys. Lett. 98, 121907 (2011).
7. V. Assunção, E. Fortunato, A. Marquesa, H. Águasa, I. Ferreiraa, M. E. V. Costab and R. Martins, Thin Solid Films 427, 401 (2003).
8. V. Bhosle, A. Tiwari and J. Narayan, Appl. Phys. Lett. 88, 032106 (2006).
9. T. Yamada, A. Miyake, H. Makino, N. Yamamoto and T. Yamamoto, Thin Solid Films 517, 3134 (2009).
10. H. Gómez and M. de la L. Olvera, Mater. Sci. Eng. B 134, 20 (2006).
11. N. R. Aghamalyan, E. A. Kafadaryan, R. K. Hovsepyan and S. I. Petrosyan, Semicond. Sci. Technol. 20, 80 (2005).
12. M. J. Lee, J. Lim, J. Bang, W. Lee and J. M. Myoung, Appl. Surf. Sci, 255, 3195 (2008).
13. S. Kim, J. Seo, H. W. Jang, J. Bang, W. Lee, T. Lee and J. M. Myoung, Appl. Surf. Sci. 255, 4616 (2009).
14. B. D. Ahn, S. H. Oh, C. H. Lee, G. H. Kim, H. J. Kim and S. Y. Lee, J. Crystal Growth 309, 128 (2007).
15. J. G. Lua, S. Fujita, T. Kawaharamura, H. Nishinaka, Y. Kamada, T. Ohshima, Z. Z. Ye, Y. J. Zeng, Y. Z. Zhang, L. P. Zhu, H. P. He and B. H. Zhao, J. Appl. Phys. 101, 083705. (2007).
16. W. W. Liu, B. Yao, Y. F. Li, B. H. Li, Z. Z. Zhang, C. X. Shan, D. X. Zhao, J. Y. Zhang, D. Z. Shen and X. W. Fan, Thin Solid Films 518, 3923 (2010).
17. Y. R. Park, J. Kim and Y. S. Kim, Appl. Surf. Sci. 255, 9010 (2009).
18. J.-P. Lin and J.-M. Wu, Appl. Phys. Lett. 92, 134103 (2008).
19. S. M. Park, T. Ikegami and K. Ebihara, Thin Solid Films 513, 90 (2006).
20. S. Lee, Y. Shon, T. W. Kang, C. S. Yoon, E. K. Kim and D. Y. Kim, Appl. Phys. Lett. 93, 022113 (2008).
21. J. Seong, D. Y. Kim and S. Lee, J. Korean Phys. Soc. 55, 585 (2009).
22. B. L. Zhu, J. Wang, S. J. Zhu, J. Wua, R. Wua, D. W. Zeng and C. S. Xie, Thin Solid Films 519, 3809 (2011).
23. S. Kim, W. I. Lee, E. H. Lee, S. K. Hwang and C. Lee, J. Mater. Sci. 42, 4845 (2007).
24. V. K. Jain and A. P. Kulshreshtha, Sol. Energy Mater. 4, 151 (1981).
25. M. G. Wardle, J. P. Goss and P. R. Briddon, Phys. Rev. Lett. 96, 205504 (2006).