Nanoimprint lithography with UV-curable hyperbranched polymer nanocomposites

Macromolecular Symposia

Volumn 296, Issue 1, 2010, Pages 144-153

  Geiser, Valérie ^a   Jin, Young Hyun ^a   Leterrier, Yves ^a   Månson, Jan Anders E ^a  

^a LABORATOIRE DE TECHNOLOGIE DES COMPOSITES ET POLYMÈRES LTC   (Switzerland)

Author keywords

hyperbranched polymer; internal stress; nanocomposite; nanoimprint lithography; photo polymerisation

Indexed keywords

DIMENSIONAL ACCURACY; HYPERBRANCHED POLYMERS; IMPRINTED STRUCTURES; INTERNAL STRESS; MATERIAL BEHAVIOR; NANO PATTERN; NANO-GRATINGS; NANO-IMPRINT; NANO-PARTICLE DISPERSIONS; NANO-SCALE PATTERNS; POLYMERISATION; SURFACE QUALITIES; UV CURABLE;

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; CURING; DENDRIMERS; GLASS; NANOCOMPOSITES; POLYMERIZATION; POLYMERS; RESINS; SILICA;

NANOIMPRINT LITHOGRAPHY;

EID: 78649847036     PISSN: 10221360     EISSN: 15213900     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/masy.201051022     Document Type: Conference Paper

References (43)

1. M. Wiki, R. E. Kunz, Opt. Lett. 2000, 25, 463.
2. F. C. Chien, C. Y. Lin, J. N. Yih, K. L. Lee, C. W. Chang, P. K. Wei, C. C. Sun, S. J. Chen, Biosens. Bioelectron. 2007, 22, 2737.
3. X. Cheng, D. W. Li, L. J. Guo, Nanotechnology 2006, 17, 927.
4. S. Y. Chou, P. R. Krauss, P. J. Renstrom, Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 3114.
5. S. Y. Chou, P. R. Krauss, P. J. Renstrom, 40th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIBPN), Atlanta, Ga, May 28-31 1996, pp. 4129.
6. M. D. Austin, H. X. Ge, W. Wu, M. T. Li, Z. N. Yu, D. Wasserman, S. A. Lyon, S. Y. Chou, Appl. Phys. Lett. 2004, 84, 5299.
7. M. Csete, A. Kohazi-Kis, V. Megyesi, K. Osvay, Z. Bor, M. Pietralla, O. Marti, Org. Electron. 2007, 8, 148.
8. A. Kocabas, A. Aydinli, Opt. Express 2006, 14, 10228.
9. E. Buck, K. Petersen, M. Hund, G. Krausch, D. Johannsmann, Macromolecules 2004, 37, 8647.
10. Y. Ding, H. W. Ro, T. A. Germer, J. F. Douglas, B. C. Okerberg, A. Karim, C. L. Soles, ACS Nano 2007, online.
11. C. N. Bowman, N. A. Peppas, Macromolecules 1991, 24, 1914.
12. J. Lange, S. Toll, J. A. E. Månson, A. Hult, Polymer 1995, 36, 3135.
13. Y. Hirai, S. Yoshida, N. Takagi, 47th International Conference on Electron Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN), Tampa, Florida, May 27-30 2003, pp 2765.
14. M. Hamdorf, D. Johannsmann, J. Chem. Phys. 2000, 112, 4262.
15. L. E. Schmidt, Y. Leterrier, D. Schmah, J. A. E. Månson, D. James, E. Gustavsson, L. S. Svensson, J Appl. Polym. Sci. 2007, 104, 2366.
16. E. Andrzejewska, Prog. Poly. Sci. 2001, 26, 605.
17. J. H. Choi, S. U. Jung, D. G. Choi, J. H. Jeong, E. S. Lee, IEEE International Symposium on Advanced Gate Stack Technology (ISAGST), Austin, TX, 2006 2008, pp 195.
18. J. Lee, K. Choi, G. Kim, S. Lee, Microelectron. Eng. 2007, 84, 963.
19. C. J. Hawker, R. Lee, J. M. J. Frechet, J. Am. Chem. Soc. 1991, 113, 4583.
20. Y. H. Jin, Y. H. Cho, L. E. Schmidt, Y. Leterrier, J. A. E. Månson, J. Micromech. Microeng. 2007, 17, 1147.
21. L. E. Schmidt, D. Schmah, Y. Leterrier, J. A. E. Månson, Rheol. Acta. 2007, 46, 693.
22. L. E. Schmidt, S. Yi, Y. H. Jin, Y. Leterrier, Y. H. Cho, J. A. E. Månson, J. Micromech. Microeng. 2008, 18, 45022.
23. A. W. Bosman, H. M. Janssen, E. W. Meijer, Chem. Rev. 1999, 99, 1665.
24. J. M. J. Frechet, C. J. Hawker, I. Gitsov, J. W. Leon, J. Macromol. Sci. Pure Appl. Chem. 1996, A33, 1399.
25. M. Atai, D. C. Watts, Dent. Mater. 2006, 22, 785.
26. V. Geiser, Y. Leterrier, J.-A. E. Månson, J Appl. Polym. Sci. 2009, 114, 1954.
27. C. J. G. Plummer, L. Garamszegi, Y. Leterrier, M. Rodlert, J. A. E. Månson, Chem. Mater. 2002, 14, 486.
28. F. Hussain, M. Hojjati, M. Okamoto, R. E. Gorga, J. Compos. Mater. 2006, 40, 1511.
29. M. Rodlert, C. J. G. Plummer, L. Garamszegi, Y. Leterrier, H. J. M. Grunbauer, J. A. E. Månson, Polymer 2004, 45, 949.
30. M. L. Sham, J. K. Kim, Compos.Part A-Appl. Sci. 2004, 35, 537.
31. K. Cottier, M. Wiki, G. Voirin, H. Gao, R. E. Kunz, Sensor. Actuat. A-Chem. 2003, 91, 241.
32. L. E. Schmidt, Y. Leterrier, J. M. Vesin, M. Wilhelm, J. A. E. Månson, Macromol. Mater. Eng. 2005, 290, 1115.
33. Y. Inoue, Y. Kobatake, Appl. Sci. Res. 1958, A7, 314.
34. M. Dewaele, D. Truffier-Boutry, J. Devaux, G. Leloup, Dent. Mater. 2006, 22, 359.
35. J. Jakubiak, L. A. Linden, Polimery 2001, 46, 522.
36. M. P. Patel, M. Braden, K. W. M. Davy, Biomaterials 1987, 8, 53.
37. M. F. Witzel, R. Y. Ballester, J. B. C. Meira, R. G. Lima, R. R. Braga, Dent. Mater. 2007, 23, 204.
38. G. A. Laughlin, J. L. Williams, J. D. Eick, J. Biomed. Mater. Res. 2002, 63, 671.
39. B. A. Davis, P. J. Gramman, " Compression molding ", Hanser Verlage, 2003.
40. J. A. Payne, L. F. Francis, A. V. McCormick, J Appl. Polym. Sci. 1997, 66, 1267.
41. D. M. Vaessen, F. A. Ngantung, M. L. B. Palacio, L. F. Francis, A. V. McCormick, J Appl. Polym. Sci. 2002, 84, 2784.
42. R. Feng, R. J. Farris, J. Micromech. Microeng. 2003, 13, 80.
43. B. Li, M. Liu, Q. F. Chen, J. Microlith. Microfab. 2005, 4.