Mechanical properties of antiplasticized polymer nanostructures

Soft Matter

Volumn 6, Issue 11, 2010, Pages 2475-2483

  Delcambre, Sean P ^a   Riggleman, Robert A ^a,b   De Pablo, Juan J ^a   Nealey, Paul F ^a  

^a Wisconsin Electric Machines and Power Electronics Consortium   (United States)

^b University of California   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANTIPLASTICIZATION; ANTIPLASTICIZING AGENTS; BEAM WIDTHS; CRITICAL ASPECT RATIO; DENSE ARRAYS; END-USES; FLEXURAL TESTS; LENGTH SCALE; LITHOGRAPHIC PROCESSING; MODEL PREDICTION; POLYMER NANOSTRUCTURES; STIFFER MATERIALS;

ASPECT RATIO; BENDING TESTS; ELASTIC MODULI; ESTERS; NANOSTRUCTURES; PHOTORESISTS; PRESSURE DROP;

MECHANICAL PROPERTIES;

EID: 77952813425     PISSN: 1744683X     EISSN: 17446848     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/b926843j     Document Type: Article

References (62)

1. G. Wypych, Handbook of Plasticizers, ChemTec Publishing, New York, 2004
2. W. J. Jackson J. R. Caldwell J. Appl. Polym. Sci. 1967 11 211 226
3. W. J. Jackson J. R. Caldwell J. Appl. Polym. Sci. 1967 11 227 244
4. I. N. Razinskaya B. P. Shtarkman V. A. Izvozchikova N. Y. Averbakh I. M. Monich L. P. Bubnova N. I. Pupukina Vysokomol. Soedin., Ser. A 1984 26 1617 1622
5. R. A. Riggleman K. Yoshimoto J. F. Douglas J. J. de Pablo Phys. Rev. Lett. 2006 97 045502
6. R. A. Riggleman J. F. Douglas J. J. De Pablo Phys. Rev. E: Stat. Phys., Plasmas, Fluids, Relat. Interdiscip. Top. 2007 76 011504
7. R. A. Riggleman J. F. Douglas J. J. de Pablo J. Chem. Phys. 2007 126 234903
8. R. A. Riggleman J. J. de Pablo J. Chem. Phys. 2008 128 224504
9. A. Anopchenko T. Psurek D. VanderHart J. F. Douglas J. Obrzut Phys. Rev. E: Stat. Phys., Plasmas, Fluids, Relat. Interdiscip. Top. 2006 74 031501
10. R. A. Riggleman J. F. Douglas J. J. de Pablo Soft Matter 2010 6 2 292 304
11. J. Dudowicz K. F. Freed J. F. Douglas J. Phys. Chem. B 2005 109 21350 21356
12. J. Dudowicz K. F. Freed J. F. Douglas J. Chem. Phys. 2005 123 111102
13. C. J. Ellison R. L. Ruszkowski N. J. Fredin J. M. Torkelson Phys. Rev. Lett. 2004 92 095702
14. J. A. Forrest K. DalnokiVeress J. R. Dutcher Phys. Rev. E: Stat. Phys., Plasmas, Fluids, Relat. Interdiscip. Top. 1997 56 5705 5716
15. J. A. Forrest K. DalnokiVeress J. R. Stevens J. R. Dutcher Phys. Rev. Lett. 1996 77 2002 2005
16. D. S. Fryer P. F. Nealey J. J. de Pablo J. Vac. Sci. Technol., B 2000 18 3376 3380
17. D. S. Fryer P. F. Nealey J. J. de Pablo Macromolecules 2000 33 6439 6447
18. D. S. Fryer R. D. Peters E. J. Kim J. E. Tomaszewski J. J. de Pablo P. F. Nealey C. C. White W. L. Wu Macromolecules 2001 34 5627 5634
19. J. L. Keddie R. A. L. Jones Isr. J. Chem. 1995 35 21 26
20. J. L. Keddie R. A. L. Jones R. A. Cory Europhys. Lett. 1994 27 59 64
21. S. Kim C. B. Roth J. M. Torkelson J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys. 2008 46 2754 2764
22. M. K. Mundra S. K. Donthu V. P. Dravid J. M. Torkelson Nano Lett. 2007 7 713 718
23. R. Priestley M. K. Mundra N. J. Barnett L. J. Broadbelt J. M. Torkelson Aust. J. Chem. 2007 60 765 771
24. R. D. Priestley C. J. Ellison L. J. Broadbelt J. M. Torkelson Abstr. Pap. Am. Chem. Soc. 2005 230 U3584 U3584
25. R. D. Priestley C. J. Ellison L. J. Broadbelt J. M. Torkelson Science 2005 309 456 459
26. J. S. Sharp J. A. Forrest Phys. Rev. Lett. 2003 91 235701
27. C. M. Stafford C. Harrison K. L. Beers A. Karim E. J. Amis M. R. Vanlandingham H. C. Kim W. Volksen R. D. Miller E. E. Simonyi Nat. Mater. 2004 3 545 550
28. C. M. Stafford C. Harrison A. Karim E. J. Amis Abstr. Pap. Am. Chem. Soc. 2002 224 U389 U389
29. C. M. Stafford B. D. Vogt C. Harrison D. Julthongpiput R. Huang Macromolecules 2006 39 5095 5099
30. M. P. Stoykovich K. Yoshimoto P. F. Nealey Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 2008 90 277 283
31. R. S. Tate D. S. Fryer S. Pasqualini M. F. Montague J. J. de Pablo P. F. Nealey J. Chem. Phys. 2001 115 9982 9990
32. J. M. Torres C. M. Stafford B. D. Vogt ACS Nano 2009 3 2677 2685
33. W. E. Wallace J. H. Vanzanten W. L. Wu Phys. Rev. E: Stat. Phys., Plasmas, Fluids, Relat. Interdiscip. Top. 1995 52 R3329 R3332
34. M. K. Mundra C. J. Ellison P. Rittigstein J. M. Torkelson Eur. Phys. J. Spec. Top. 2007 141 143 151
35. H. B. Cao P. F. Nealey W. D. Domke J. Vac. Sci. Technol., B 2000 18 3303 3307
36. D. L. Goldfarb J. J. de Pablo P. F. Nealey J. P. Simons W. M. Moreau M. Angelopoulos J. Vac. Sci. Technol., B 2000 18 3313 3317
37. A. Jouve J. Simon L. Gonon J. H. Tortai J. Vac. Sci. Technol., B 2007 25 2504 2507
38. I. Junarsa M. P. Stoykovich K. Yoshimoto P. F. Nealey Advances in Resist Technology and Processing XXI: Proceedings of SPIE 2004
39. M. P. Stoykovich H. B. Cao K. Yoshimoto L. E. Ocola P. F. Nealey Adv. Mater. 2003 15 1180 1184
40. T. Tanaka M. Morigami N. Atoda J. Electrochem. Soc. 1993 140 L115 L116
41. T. Tanaka M. Morigami H. Oizumi T. Ogawa S. Uchino Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 1994 33 L1803 L1805
42. T. Tanaka M. Morigami H. Oizumi T. Soga T. Ogawa F. Murai J. Electrochem. Soc. 1994 141 L169 L171
43. K. Yoshimoto M. P. Stoykovich H. B. Cao J. J. de Pablo P. F. Nealey W. J. Drugan J. Appl. Phys. 2004 96 1857 1865
44. D790-07: Standard Test Methods for Flexural Properties of Unreinforced and Reinforced Plastics and Electrical Insulating Materials, ASTM International, West Conshohocken, PA, 2007
45. J. Wallace Y. C. Cheng A. Isoyan Q. Leonard M. Fisher M. Green J. Bisognano P. Nealey F. Cerrina Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 2007 582 254 257
46. A. Isoyan Y. C. Cheng F. Jiang J. Wallace F. Cerrinab S. Bollepalli J. Vac. Sci. Technol., B 2007 25 2145 2150
47. J. Brandrup, E. H. Immergut, E. A. Grulke, A. Abe and D. R. Bloch, Polymer Handbook, John Wiley & Sons, New York, 4 edn, 2005
48. W. M. Cheng G. A. Miller J. A. Manson R. W. Hertzberg L. H. Sperling J. Mater. Sci. 1990 25 1917 1923
49. J. A. Johnson D. W. Jones J. Mater. Sci. 1994 29 870 876
50. S. I. Naqui I. M. Robinson J. Mater. Sci. 1993 28 1421 1429
51. J. M. G. Cowie S. Miachon Macromolecules 1992 25 3295 3297
52. J. A. Pomposo I. Eguiazabal E. Calahorra M. Cortazar Polymer 1993 34 95 102
53. S. Wu J. Appl. Polym. Sci. 1992 46 619 624
54. A. W. Adamson and A. P. Gast, Physical Chemistry of Surfaces, Wiley, New York, 1997
55. H. B. Cao, Ph.D. thesis, University of Wisconsin, Madison, 2001
56. J. E. Mark, Polymer Data Handbook, Oxford University Press, New York, 1999
57. W. C. Young and R. G. Budynas, Roark's Formulas For Stress and Strain, McGraw-Hill, Chicago, 7th edn, 2002
58. D. R. Lide, CRC Handbook of Chemistry and Physics, CRC Press, New York, 87 edn, 2007
59. J. Y. Zhou X. M. Yang J. Vac. Sci. Technol., B 2006 24 1202 1209
60. H. R. Keymeulen A. Diaz H. H. Solak C. David F. Pfeiffer B. D. Patterson J. F. van der Veen M. P. Stoykovich P. F. Nealey J. Appl. Phys. 2007 102 013528
61. H. H. Solak J. Phys. D: Appl. Phys. 2006 39 R171 R188
62. International Technology Roadmap for Semiconductors, Semiconductor Industry Association, San Jose, CA, 2007, http://www.itrs.net/Links/2007ITRS/ Home2007.htm