High-resolution PFPE-based molding techniques for nanofabrication of high-pattern density, Sub-20 nm features: A fundamental materials approach

Nano Letters

Volumn 10, Issue 4, 2010, Pages 1421-1428

  Williams, Stuart S ^a   Retterer, Scott ^c   Lopez, Rene ^a   Ruiz, Ricardo ^d   Samulski, Edward T ^a   Desimone, Joseph M ^a,b  

^a University of North Carolina at Chapel Hill   (United States)

^b North Carolina State University   (United States)

^c OAK RIDGE NATIONAL LABORATORY   (United States)

^d HITACHI AMERICA LTD   (United States)

Author keywords

Molding; Nanofabrication; Perfluoropolyether; PRINT; Replica molding; Soft lithography

Indexed keywords

COMPOSITE MOLD; E-BEAM LITHOGRAPHY; ELASTOMERIC MATERIALS; HIGH RESOLUTION; LINE GRATING; MATERIAL PROPERTY; MOLDING MATERIALS; MOLDING TECHNIQUES; NANO-GRATING STRUCTURES; NANOFABRICATION; PATTERN DENSITY; PERFLUOROPOLYETHERS; REPLICA MOLDING; SOFT LITHOGRAPHY; SUB-100 NM; SURFACE TENSION VALUES;

ELASTOMERS; MOLDS; RUBBER; SURFACE PROPERTIES; SURFACE TENSION;

MOLDING;

ETHER DERIVATIVE; FLUOROCARBON; NANOMATERIAL; PERFLUOROPOLYETHER;

ARTICLE; CHEMICAL STRUCTURE; CHEMISTRY; INSTRUMENTATION; METHODOLOGY; NANOTECHNOLOGY; PARTICLE SIZE; SURFACE PROPERTY;

ETHERS; FLUOROCARBONS; MOLECULAR STRUCTURE; NANOSTRUCTURES; NANOTECHNOLOGY; PARTICLE SIZE; SURFACE PROPERTIES;

EID: 77951032579     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl100326q     Document Type: Article

References (35)

1. Kim, Y. S.; Lee, H. H.; Hammond, P. T. Nanotechnology 2003, 14, 1140-1144
2. Kumar, A.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 2002-2004
3. Csucs, G.; Kunzler, T.; Feldman, K.; Robin, F.; Spencer, N. D. Langmuir 2003, 19, 6104-6109
4. Choi, S. J.; Yoo, P. J.; Baek, S. J.; Kim, T. W.; Lee, H. H. J. Am. Chem. Soc. 2004, 126, 7744-7745
5. Khang, D. Y.; Lee, H. H. Langmuir 2004, 20, 2445-2448
6. Gates, B. D.; Xu, Q. B.; Stewart, M.; Ryan, D.; Willson, C. G.; Whitesides, G. M. Chem. Rev. 2005, 105, 1171-1196
7. Schmid, H.; Michel, B. Macromolecules 2000, 33, 3042-3049
8. Lee, J. N.; Park, C.; Whitesides, G. M. Anal. Chem. 2003, 75, 6544-6554
9. Rolland, J. P.; Hagberg, E. C.; Denison, G. M.; Carter, K. R.; De Simone, J. M. Angew. Chem., Int. Ed. 2004, 43, 5796-5799
10. Odom, T. W.; Love, J. C.; Wolfe, D. B.; Paul, K. E.; Whitesides, G. M. Langmuir 2002, 18, 5314-5320
11. Odom, T. W.; Thalladi, V. R.; Love, J. C.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 12112-12113
12. Choi, K. M.; Rogers, J. A. J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 4060-4061
13. Campos, L. M.; Meinel, I.; Guino, R. G.; Schierhorn, M.; Gupta, N.; Stucky, G. D.; Hawker, C. J. Adv. Mater. 2008, 20, 3728
14. Campos, L. M.; Truong, T. T.; Shim, D. E.; Dimitriou, M. D.; Shir, D.; Meinel, I.; Gerbec, J. A.; Hahn, H. T.; Rogers, J. A.; Hawker, C. J. Chem. Mater. 2009, 21, 5319-5326
15. Ge, H. X.; Wu, W.; Li, Z. Y.; Jung, G. Y.; Olynick, D.; Chen, Y. F.; Liddle, J. A.; Wang, S. Y.; Williams, R. S. Nano Lett. 2005, 5, 179-182
16. Li, Z. W.; Gu, Y. N.; Wang, L.; Ge, H. X.; Wu, W.; Xia, Q. F.; Yuan, C. S.; Chen, Y.; Cui, B.; Williams, R. S. Nano Lett. 2009, 9, 2306-2310
17. Rolland, J. P.; Van Dam, R. M.; Schorzman, D. A.; Quake, S. R.; DeSimone, J. M. J. Am. Chem. Soc. 2004, 126, 2322-2323
18. Truong, T. T.; Lin, R. S.; Jeon, S.; Lee, H. H.; Maria, J.; Gaur, A.; Hua, F.; Meinel, I.; Rogers, J. A. Langmuir 2007, 23, 2898-2905
19. Hampton, M. J.; Williams, S. S.; Zhou, Z.; Nunes, J.; Ko, D. H.; Templeton, J. L.; Samulski, E. T.; DeSimone, J. M. Adv. Mater. 2008, 20, 2667
20. Kelly, J. Y.; DeSimone, J. M. J. Am. Chem. Soc. 2008, 130, 5438
21. Maynor, B. W.; Larue, I.; Hu, Z.; Rolland, J. P.; Pandya, A.; Fu, Q.; Liu, J.; Spontak, R. J.; Sheiko, S. S.; Samulski, R. J.; Samulski, E. T.; DeSimone, J. M. Small 2007, 3, 845-849
22. Gratton, S. E. A.; PohhauS, P. D.; Lee, J.; Guo, I.; Cho, M. J.; DeSimone, J. M. J. Controlled Release 2007, 121, 10-18
23. Rolland, J. P.; Maynor, B. W.; Euliss, L. E.; Exner, A. E.; Denison, G. M.; DeSimone, J. M. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 10096-10100
24. Gratton, S. E. A.; Ropp, P. A.; Pohlhaus, P. D.; Luft, J. C.; Madden, V. J.; Napier, M. E.; DeSimone, J. M. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2008, 105, 11613-11618
25. Gratton, S. E. A.; Williams, S. S.; Napier, M. E.; Pohlhaus, P. D.; Zhou, Z. L.; Wiles, K. B.; Maynor, B. W.; Shen, C.; Olafsen, T.; Samulski, E. T.; Desimone, J. M. Acc. Chem. Res. 2008, 41, 1685-1695
26. Hua, F.; Sun, Y. G.; Gaur, A.; Meitl, M. A.; Bilhaut, L.; Rotkina, L.; Wang, J. F.; Geil, P.; Shim, M.; Rogers, J. A.; Shim, A. Nano Lett. 2004, 4, 2467-2471
27. Bietsch, A.; Michel, B. J. Appl. Phys. 2000, 88, 4310-4318
28. Carrillo, J. M. Y.; Dobrynin, A. V. Langmuir 2009, 25, 13244-13249
29. Zhang, Y.; Lo, C. W.; Taylor, J. A.; Yang, S. Langmuir 2006, 22, 8595-8601
30. Lee, T. W.; Mitrofanov, O.; Hsu, J. W. R. Adv. Funct. Mater. 2005, 15, 1683-1688
31. Hu, Z. K.; Chen, L.; Betts, D. E.; Pandya, A.; Hillmyer, M. A.; DeSimone, J. M. J. Am. Chem. Soc. 2008, 130, 14244-14252
32. Hu, Z. K.; Finlay, J. A.; Chen, L.; Betts, D. E.; Hillmyer, M. A.; Callow, M. E.; Callow, J. A.; DeSimone, J. M. Macromolecules 2009, 42, 6999-7007
33. Hu, Z. Doctoral Dissertation, University of North Carolina at Chapel Hill, Chapel Hill, NC, 2009.
34. Ruiz, R.; Kang, H. M.; Detcheverry, F. A.; Dobisz, E.; Kercher, D. S.; Albrecht, T. R.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Science 2008, 321, 936-939
35. Tang, C. B.; Lennon, E. M.; Fredrickson, G. H.; Kramer, E. J.; Hawker, C. J. Science 2008, 322, 429-432