Microstructure of magnetron sputtered amorphous SiOx films: Formation of amorphous Si core-shell nanoclusters

Journal of Physical Chemistry C

Volumn 114, Issue 6, 2010, Pages 2414-2420

  Zhang, Wa Li ^a   Zhang, Sam ^a   Yang, Ming ^b   Chen, Tu Pei ^b  

^a NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY   (Singapore)

^b NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY   (Singapore)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS SI; COMPLEX STRUCTURE; CORE-SHELL; MATRIX; NANO-SCALE CLUSTERS; RAMAN MICROSCOPY; RAMAN SPECTRA; SI ATOMS; SI CONCENTRATION; SURFACE MIGRATION; XPS ANALYSIS; XPS SPECTRA;

AMORPHOUS FILMS; MICROSTRUCTURE; NANOCLUSTERS; RAMAN SPECTROSCOPY; SILICON COMPOUNDS; SILICON OXIDES; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

AMORPHOUS SILICON;

EID: 77249142060     PISSN: 19327447     EISSN: 19327455     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp906284f     Document Type: Article

References (34)

1. Chen, X. Y.; Lu, Y. F.; Wu, Y. H.; Cho, B. J.; Tang, L. J.; Lu, D.; Dong, J. R. Appl. Surf. Sci. 2006, 253, 2718.
2. Iacona, F.; Bongiorno, C.; Spinella, C.; Boninelli, S.; Priolo, F. J. Appl. Phys. 2004, 95, 3723.
3. Fang, Y. C.; Li, W. Q.; Qi, L. J.; Li, L. Y.; Zhao, Y. Y.; Zhang, Z. J.; Lu, M. Nanotechnology 2004, 15, 494.
4. Lu, Y. W.; Du, X. W.; Hu, S. L.; Han, X.; Li, H. Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 241910.
5. Vivas Hernandez, T. V. T.; Quintos Vasquez, A. L.; Matsumoto, Y.; Khomenkova, L.; Shcherbina, L. J. Phys.: Conf. Ser. 2007, 61, 1231.
6. Wang, J.; Wang, X. F.; Li, Q.; Hryciw, A.; Meldrum, A. Philos. Mag. 2007, 87, 11.
7. Liu, Y.; Chen, T. P.; Ding, L.; Zhang, S.; Fu, Y. Q.; Fung, S. J. Appl. Phys. 2006, 100.
8. Franzo, G.; Irrera, A.; Moreira, E. C.; Miritello, M.; Iacona, F.; Sanfilippo, D.; Di Stefano, G.; Fallica, P. G.; Priolo, F. Appl. Phys. A 2002, 74, 1.
9. Liu, Y.; Chen, T. P.; Fu, Y. Q.; Tse, M. S.; Hsieh, J. H.; Ho, P. F.; Liu, Y. C. J. Phys. D 2003, 36, L97.
10. Nesbit, L. A. Appl. Phys. Lett. 1985, 46, 38.
11. Daldosso, N.; Luppi, M.; Ossicini, S.; Degoli, E.; Magri, R.; Dalba, G.; Fornasini, P.; Grisenti, R.; Rocca, F.; Pavesi, L.; Boninelli, S.; Priolo, F.; Spinella, C.; Iacona, F. Phys. Rev. B 2003, 68, 8.
12. Seifarth, H.; Grotzschel, R.; Markwitz, A.; Matz, W.; Nitzsche, P.; Rebohle, L. Thin Solid Films 1998, 330, 202.
13. Thogersen, A.; Diplas, S.; Mayandi, J.; Finstad, T.; Olsen, A.; Watts, J. F.; Mitome, M.; Bando, Y. J. Appl. Phys. 2008, 103.
14. Ternon, C.; Dufour, C.; Gourbilleau, F.; Rizk, R. Eur. Phys. J. B 2004, 41, 325.
15. Rochet, F.; Dufour, G.; Roulet, H.; Pelloie, B.; Perriere, J.; Fogarassy, E.; Slaoui, A.; Froment, M. Phys. Rev. B 1988, 37, 6468.
16. Inokuma, T.; Wakayama, Y.; Muramoto, T.; Aoki, R.; Kurata, Y.; Hasegawa, S. J. Appl. Phys. 1998, 83, 2228.
17. Serincan, U.; Kulakci, M.; Turan, R.; Foss, S.; Finstad, T. G. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. Sec. B 2007, 254, 87.
18. Kanemitsu, Y.; Ogawa, T.; Shiraishi, K.; Takeda, K. Phys. Rev. B 1993, 48, 4883.
19. Park, N. M.; Kim, T. S.; Park, S. J. Appl. Phys. Lett. 2001, 78, 2575.
20. Qin, G. G.; Li, A. P.; Zhang, B. R.; Li, B. C. J. Appl. Phy. 1995, 78, 2006.
21. Philipp, H. R. J. Non-Cryst. Solids 1972, 8-10, 627.
22. Temkin, R. J. J. Non-Cryst. Solids 1975, 17, 215.
23. Hohl, A.; Wieder, T.; van Aken, P. A.; Weirich, T. E.; Denninger, G.; Vidal, M.; Oswald, S.; Deneke, C.; Mayer, J.; Fuess, H. J. Non-Cryst. Solids 2003, 320, 255.
24. Zhang, P. X.; Mitchell, I. V.; Tong, B. Y.; Schultz, P. J.; Lockwood, D. J. Phys. Rev. B 1994, 50, 17080.
25. Nesheva, D.; Raptis, C.; Perakis, A.; Bineva, I.; Aneva, Z.; Levi, Z.; Alexandrova, S.; Hofmeister, H. J. Appl. Phys. 2002, 92, 4678.
26. Daldosso, N.; Das, G.; Larcheri, S.; Mariotto, G.; Dalba, G.; Pavesi, L.; Irrera, A.; Priolo, F.; Iacona, F.; Rocca, F. J. Appl. Phys. 2007, 101, 113510.
27. Kanzawa, Y.; Hayashi, S.; Yamamoto, K. J. Phys.-Condens. Matter 1996, 8, 4823.
28. Lucovsky, G. J. Non-Cryst. Solids 1998, 227-230, 1.
29. Barranco, A.; Yubero, F.; Espinos, J. P.; Holgado, J. P.; Caballero, A.; Gonzalez-Elipe, A. R.; Mejias, J. A. Vacuum 2002, 67, 491.
30. Kachu, G. A.; Zhuravlev, K. S.; Pazdnikov, N. A.; Leier, A. F.; Tyschenko, I. E.; Volodin, V. A.; Skorupa, W.; Yankov, R. A. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. Sec. B 1997, 127-128, 583.
31. Kroll, P.; Schulte, H. J. Phys. Status Solidi B 2006, 243, R47.
32. Rochet, F.; Rigo, S.; Froment, M.; Danterroches, C.; Maillot, C.; Roulet, H.; Dufour, G. Adv. Phys. 1986, 35, 237.
33. Barranco, A.; Yubero, F.; Espinos, J. P.; Groening, P.; Gonzalez-Elipe, A. R. J. Appl. Phys. 2005, 97.
34. Hidetoshi; Miyazaki., Jap. J. Appl. Phys. 2008, 46, 3766.