Evidence of large voids in pure-silica-zeolite low-k dielectrics synthesized by spin-on of nanoparticle suspensions

Advanced Materials

Volumn 20, Issue 16, 2008, Pages 3110-3116

  Eslava, Salvador ^a   Baklanov, Mikhail R ^a,b   Neimark, Alexander V ^c   Iacopi, Francesca ^a   Kirschhock, Christine E A ^b   Maex, Karen ^a   Martens, Johan A ^b  

^a IMEC   (Belgium)

^b UNIVERSITY OF LEUVEN   (Belgium)

^c The State University of New Jersey   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELECTRIC CURRENTS; NANOCRYSTALLINE ALLOYS; NANOCRYSTALS; NANOSTRUCTURES; OXIDES; PLASMAS; SILICA; SILICATE MINERALS; SPIN DYNAMICS; SUSPENSIONS (COMPONENTS); SUSPENSIONS (FLUIDS);

K VALUES; LOW-K DIELECTRICS; MEASURING; MICROPORES; NANOPARTICLE SUSPENSIONS; SILICA MATERIALS; SILICALITE; SPIN-ON;

ZEOLITES;

EID: 54949125725     PISSN: 09359648     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.200701798     Document Type: Article

References (45)

1. K. Maex, M. R. Baklanov, D. Shamiryan, F. lacopi, S. H. Brongersma, Z. S. Yanovitskaya, J. Appl. Phys. 2003, 93, 8793.
2. M. R. Baklanov, K. Maex, Philos. Trans. R. Soc. London Ser. A 2006, 364, 201.
3. G. Dubois, R. D. Miller, W. Volksen, in Dielectric Films for Advanced Microelectronics, (Eds: M. R. Baklanov, M. Green, K. Maex), Wiley, Chichester, UK 2007, Ch. 2.
4. B. D. Hatton, K. Landskron, W. J. Hunks, M. R. Bennett, D. Shukaris, D. D. Perovic, G. A. Ozin, Mater. Today 2006, 9(3), 22.
5. M. H. Ree, J. W. Yoon, K. Y. Heo, J. Mater. Chem. 2006, 16, 685.
6. Z. B. Wang, H. T. Wang, A. P. Mitra, L. M. Huang, Y. S. Yan, Adv. Mater. 2001, 13, 746.
7. Z. J. Li, M. C. Johnson, M. W. Sun, E. T. Ryan, D. J. Earl, W. Maichen, J. I. Martin, S. Li, C. M. Lew, J. Wang, M. W. Deem, M. E. Davis, Y. S. Yan, Angew. Chem. Int. Ed. 2006, 45, 6329.
8. Z. B. Wang, A. P. Mitra, H. T. Wang, L. M. Huang, Y. S. Yan, Adv. Mater. 2001, 13, 1463.
9. S. Li, Z. J. Li, Y. S. Yan, Adv. Mater. 2003, 15, 1528.
10. Z. J. Li, S. Li, H. M. Luo, Y. S. Yan, Adv. Funct Mater. 2004, 14, 1019.
11. S. Li, Z. J. Li, D. Medina, C. Lew, Y. S. Yan, Chem. Mater. 2005, 17, 1851.
12. S. Li, J. N. Sun, Z. J. Li, H. G. Peng, D. Gidley, E. T. Ryan, Y. S. Yan, J. Phys. Chem. B 2004, 108, 11689.
13. S. Li, X. Wang, D. Beving, Z. W. Chen, Y. S. Yan, J. Am. Chem. Soc. 2004, 126, 4122.
14. H. K. M. Tanaka, T. Kurihara, A. P. Mills, Phys. Rev. B 2005, 72, 193408.
15. H. K. M. Tanaka, T. Kurihara, N. Nishiyama, A. P. Mills, Microporous Mesoporous Mater. 2006, 95, 164.
16. H. K. M. Tanaka, T. Kurihara, A. P. Mills, J. Phys. Condens. Matter 2006, 18, 8581.
17. C. M. Lew, Y. S. Yan, Stud. Surf. Sci. Catal. 2007, 170, 1502.
18. S. J. Gregg, K. S. W. Sing, in Adsorption, Surface Area and Porosity, 2nd ed., Academic, London 1982, Ch. 3 and 4.
19. L. Sarkisov, P. A. Monson, Langmuir 2001, 17, 7600.
20. P. I. Ravikovitch, A. V. Neimark, Langmuir 2002, 18, 1550.
21. P. I. Ravikovitch, A. V. Neimark, Langmuir 2002, 18, 9830.
22. M. Thommes, B. Smarsly, M. Groenewolt, P. I. Ravikovitch, A. V. Neimark, Langmuir 2006, 22, 756.
23. J. C. Groen, L. A. A. Peffer, J. Perez-Ramirez, Microporous Mesoporous Mater. 2003, 60, 1.
24. M. R. Baklanov, K. P. Mogilnikov, J. H. Yim, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 2004, 812, F5. 4. 1.
25. J. C. P. Broekhoff, J. H. de Boer, J. Catal. 1968, 10, 153.
26. R. Ravishankar, C. E. A. Kirschhock, P. P. Knops-Gerrits, E. J. P. Feijen, P. J. Grobet, P. Vanoppen, F. C. De Schryver, G. Miche, H. Fuess, B. J. Schoeman, P. A. Jacobs, J. A. Martens, J. Phys. Chem. B 1999, 103, 4960.
27. C. E. A. Kirschhock, R. Ravishankar, F. Verspeurt, P. J. Grobet, P. A. Jacobs, J. A. Martens, J. Phys. Chem. B 1999, 103, 4965.
28. C. E. A. Kirschhock, R. Ravishankar, L. Van Looveren, P. A. Jacob, J. A. Martens, J. Phys. Chem. B 1999, 103, 4972.
29. C. E. A. Kirschhock, R. Ravishankar, P. A. Jacobs, J. A. Martens, J. Phys. Chem. B 1999, 103, 11021.
30. C. E. A. Kirschhock, V. Buschmann, S. Kremer, R. Ravishankar, C. J. Y. Houssin, B. L. Mojet, R. A. van Santen, P. J. Grobet, P. A. Jacobs, J. A. Martens, Angew. Chem. Int. Ed. 2001, 40, 2637.
31. C. E. A. Kirschhock, S. P. B. Kremer, P. J. Grobet, P. A. Jacobs, J. A. Martens, J. Phys. Chem. B 2002, 106, 4897.
32. S. Kremer, E. Theunissen, C. E. A. Kirschhock, P. A. Jacobs, J. A. Martens, W. Herfs, Adv. Space Res. 2003, 32, 259.
33. C. E. A. Kirschhock, S. P. B. Kremer, J. Vermant, G. Van Tendeloo, P. A. Jacobs, J. A. Martens, Chem. Eur. J. 2005, 11, 4306.
34. A. Aerts, L. R. A. Follens, M. Haouas, T. P. Caremans, M. A. Delsuc, B. Loppinet, J. Vermant, B. Goderis, F. Taulelle, J. A. Martens, C. E. A. Kirschhock, Chem. Mater. 2007, 19, 3448.
35. T. M. Davis, T. O. Drews, H. Ramanan, C. He, J. S. Dong, H. Schnablegger, M. A. Katsoulakis, E. Kokkoli, A. V. McCormick, R. L. Penn, M. Tsapatsis, Nat. Mater. 2006, 5, 400.
36. R. Ravishankar, C. Kirschhock, B. J. Schoeman, P. Vanoppen, P. J. Grobet, S. Storck, W. F. Maier, J. A. Martens, F. C. De Schryver, P. A. Jacobs, J. Phys. Chem. B 1998, 102, 2633.
37. M. R. Baklanov, K. P. Mogilnikov, V. G. Polovinkin, F. N. Dultsev, J. Vac. Sci. Technol. B 2000, 18, 1385.
38. S. Eslava, M. R. Baklanov, C. E. A. Kirschhock, F. lacopi, S. Aldea, K. Maex, J. A. Martens, Langmuir 2007, 23, 12811.
39. P. I. Ravikovitch, A. Vishnyakov, A. V. Neimark, M. M. L. R. Carrott, P. A. Russo, P. J. Carrott, Langmuir 2006, 22, 513.
40. E. Kondoh, M. R. Baklanov, E. Lin, D. W. Gidley, A. Nakashima, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 2001, 40, L323.
41. J. N. Sun, D. W. Gidley, Y. F. Hu, W. E. Frieze, S. Yang, Mater. Res. Soc. Syrnp. Proc. 2002, 726, Q10.5.1.
42. A. Grill, V. Patel, K. P. Rodbell, E. Huang, M. R. Baklanov, K. P. Mogilnikov, M. Toney, H. C. Kim, J. Appl. Phys. 2003, 94, 3427.
43. D. W. Gidley, H. G. Peng, R. S. Vallery, Annu. Rev. Mater. Res. 2006, 36, 49.
44. Z. J. Li, C. M. Lew, S. Li, D. I. Medina, Y. S. Van, J. Phys. Chem. B 2005, 109, 8652.
45. M. Johnson, Z. J. Li, J. L. Wang, Y. S. Yan, Thin Solid Films 2007, 515, 3164.