Imprinting well-controlled closed-nanopores in spin-on polymeric dielectric thin films

Journal of Materials Chemistry

Volumn 16, Issue 7, 2006, Pages 685-697

  Ree, Moonhor ^a,b   Yoon, Jinhwan ^a   Heo, Kyuyoung ^a  

^a Pohang University of Science and Technology (POSTECH)   (South Korea)

^b Department of Polymer Chemistry and Physics ^*  (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DIELECTRIC THIN FILMS; LOW-K INTERDIELECTRIC MATERIALS; MULTILEVEL STRUCTURE; POWER DISSIPATION;

CAPACITANCE; DIELECTRIC FILMS; INTEGRATED CIRCUITS; PERMITTIVITY; THIN FILMS;

NANOSTRUCTURED MATERIALS;

EID: 33644818030     PISSN: 09599428     EISSN: 13645501     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/b511301f     Document Type: Conference Paper

References (126)

1. M. Ree W. H. Goh Y. Kim Polym. Bull. 1995 35 215
2. R. D. Miller Science 1999 286 421
3. B. Lee Y.-H. Park Y.-T. Hwang W. Oh J. Yoon M. Ree Nat. Mater. 2005 4 147
4. B. Lee W. Oh Y. Hwang Y.-H. Park J. Yoon K. S. Jin K. Heo J. Kim K.-W. Kim M. Ree Adv. Mater. 2005 17 696
5. B. Lee J. Yoon W. Oh Y. Hwang K. Heo K. S. Jin J. Kim K.-W. Kim M. Ree Macromolecules 2005 39 3395
6. M. Morgen E. T. Ryan J.-H. Zhao C. Hu T. Cho P. S. Ho Annu. Rev. Mater. Res. 2000 30 645
7. K. Maex M. R. Baklanov D. Shamiryan F. Iacopi S. H. Bronggersma Z. S. Yanovitskaya J. Appl. Phys. 2003 93 8793
8. C. Rottman G. Grader Y. DeHazan S. Melchior D. Avnir J. Am. Chem. Soc. 1999 121 8533
9. T. Dantas de Morais F. Chaput J.-P. Bailot K. Lahlil B. Darracq Y. Levy Adv. Mater. 1999 11 107
10. O. Lev M. Tsionsky L. Rabinovich V. Glezer S. Sampath I. Pankratov J. Gun Anal. Chem. 1995 67 22A
11. M. A. Harmer W. E. Farneth Q. J. Sun J. Am. Chem. Soc. 1996 118 7708
12. U. Schubert New J. Chem. 1994 18 1049
13. C. Guizard P. Lacan New J. Chem. 1994 18 1097
14. M. Smaihi T. Jermouni J. Marignan R. D. Noble J. Membr. Sci. 1996 116 211
15. G. Czornyj K. R. Chen G. Pradasilva A. Arnold H. Souleotis S. Kim M. Ree W. Volksen D. Dawson R. DiPietro Proc. Electron. Compon. Conf. 1992 42 682
16. International Technology Roadmap for Semiconductors, Semiconductor Industry Association, San Jose, CA, 2004
17. G. Maier Prog. Polym. Sci. 2001 26 3
18. M. Ree T. J. Shin S. W. Lee Korea Polym., J. 2001 9 1
19. Y. Kim W. H. Goh T. Chang C. S. Ha M. Ree Adv. Eng. Mater. 2004 6 39
20. T. J. Shin M. Ree Langmuir 2005 21 6081
21. J. Yu M. Ree Y. H. Park T. J. Shin W. Cai D. Zhou K.-W. Lee Macromol. Chem. Phys. 2000 201 491
22. S. I. Kim M. Ree T. J. Shin C. Lee T.-H. Woo S. B. Rhee Polymer 2000 41 5173
23. J. Yu M. Ree T. J. Shin X. Wang W. Cai D. Zhou K.-W. Lee J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys. 1999 37 2806
24. S. M. Pyo S. I. Kim T. J. Shin Y. H. Park M. Ree J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 1999 37 937
25. Y. Kim E. Kang Y. S. Kwon W. J. Cho C. Chang M. Ree T. Chang C. S. Ha Synth. Met. 1997 85 1399
26. Y. Kim W. K. Lee W. J. Cho C. S. Ha M. Ree T. Chang Polym. Int. 1997 43 129
27. M. Ree K. Kim S. H. Woo H. Chang J. Appl. Phys. 1997 81 698
28. Y. Kim M. Ree T. Chang C. S. Ha T. L. Nunes J. S. Lin J. Polym. Sci., Polym. Phys. Ed. 1995 33 2075
29. M. Ree W. H. Goh J. W. Park M. H. Lee S. B. Rhee Polym. Bull. 1995 35 129
30. Y. Kim M. Ree T. Chang C. S. Ha Polym. Bull. 1995 34 175
31. M. Ree H. Han C. C. Gryte J. Polym. Sci., Polym. Phys. Ed. 1995 33 505
32. M. Ree K. J. Chen T. L. Nunes J. Polym. Sci., Polym. Phys. Ed. 1995 33 453
33. M. Ree H. Han C. C. Gryte High Perform. Polym. 1994 6 325
34. M. Ree T. L. Nunes J. S. Lin Polymer 1994 35 1148
35. M. Ree C. W. Chu M. J. Goldberg J. Appl. Phys. 1994 75 1410
36. M. Ree S. Swanson W. Volksen Polymer 1993 34 1423
37. M. Ree K.-J. R. Chen G. Czornyj Polym. Eng. Sci. 1992 32 924
38. M. Ree K. J. Chen D. P. Kirby N. Katzenellenbogen D. Grischkowsky J. Appl. Phys. 1992 72 2014
39. S. Rojstaczer M. Ree D. Y. Yoon W. Volksen J. Polym. Sci., Polym. Phys. Ed. 1992 30 133
40. W. M. Robertson G. Arjavalingam G. Hougham G. V. Kopcsay D. Edelstein M. Ree J. P. Chapple-Sokol Electron. Lett. 1992 28 62
41. M. Ree T. L. Nunes G. Czornyj W. Volksen Polymer 1992 33 1228
42. M. Ree D. Y. Yoon W. Volksen J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys. 1991 29 1203
43. C. R. Moylan M. E. Best M. Ree J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys. 1991 29 87
44. M. Ree T. J. Shin Y. H. Park H. Lee T. Chang Korea Polym. J. 1999 7 370
45. W. H. Goh K. Kim M. Ree Korea Polym. J. 1998 6 241
46. M. A. Azooz Y.-T. Hwang M. Ree Egypt. J. Chem. 2003 46 741
47. W. Oh T. J. Shin M. Ree M. Y. Jin K. Char Macromol. Chem. Phys. 2002 203 791
48. W. Oh M. Ree Langmuir 2004 20 6932
49. S. P. Mukherjee D. Suryanarayana D. H. Strope J. Non-Cryst. Soilds 1992 147-148 783
50. S. P. Mukherjee J. F. Cordaro J. C. Debsikdar Adv. Ceram. Mater. 1988 3 463
51. G. V. Chandrashekhar M. W. Shafer Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1986 72 309
52. M. Fischer F. Vogtle Angew. Chem., Int. Ed. 1999 38 884
53. V. V. Narayanan G. R. Newkome Top. Curr. Chem. 1998 197 19
54. S. C. Zimmerman M. S. Wendland N. A. Rakow I. Zharov K. S. Suslick Nature 2002 418 399
55. D. A. Tomalia H. Baker J. Dewald M. Hall G. Kallos S. Martin J. J. Roeck J. Ryder P. Smith Polym. J. 1985 17 117
56. E. M. M. de Brabander-van den Berg E. W. Meijer Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1993 32 1308
57. M. Jikei M.-A. Kakimoto J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2004 42 1293
58. Y. H. Kim J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 1998 36 1685
59. W. Oh T. J. Shin M. Ree M. Y. Jin K. Char Mol. Cryst. Liq. Cryst. 2001 371 397
60. R. H. Baney M. Itoh A. Sakakibara T. Suzuki Chem. Rev. 1995 95 1409
61. Y. C. Shin K.-Y. Choi M. Y. Jin S.-K. Hong D. Cho T. Chang M. Ree Korea Polym. J. 2001 9 100
62. A. Hirao M. Hayashi S. Loykulnant K. Sugiyama S. W. Ryu N. Haraguchi A. Matsuo T. Higashihara Prog. Polym. Sci. 2005 30 111
63. M. Daoud J. P. Cotton J. Phys. 1982 43 531
64. K. Ishizu T. Ono S. Uchida Macromol. Chem. Phys. 1997 198 3255
65. H.-P. Hsu W. Nadler P. Grassberger Macromolecules 2004 37 4658
66. B. H. Zimm W. H. Stockmayer J. Chem. Phys. 1949 17 1301
67. T. A. Witten P. A. Pincus M. A. Catea Europhys. Lett. 1986 2 137
68. J. Bolze M. Ree H. S. Youn S.-H. Chu K. Char Langmuir 2001 17 6683
69. W. Oh Y.-T. Hwang Y.-H. Park M. Ree S.-H. Chu K. Char J.-K. Lee S. Y. Kim Polymer 2004 44 2519
70. C. V. Nguyen K. R. Carter C. J. Hawker J. L. Hedrick R. L. Jaffe R. D. Miller J. F. Remenar H. W. Rhee P. M. Rice M. Toney M. Trollsas D. Y. Yoon Chem. Mater. 1999 11 3080
71. J. L. Hedrick R. D. Miller C. J. Hawker K. R. Carter W. Volksen D. Y. Yoon M. Trollsas Adv. Mater. 1998 10 1049
72. M. Trollsas J. L. Hedrick D. Mecerreyes P. Dubois R. Jerome H. Ihre A. Hult Macromolecules 1997 30 8508
73. M. Trollsas J. L. Hedrick D. Mecerreyes P. Dubois R. Jerome H. Ihre A. Hult Macromolecules 1998 31 2756
74. M. Trollsas J. L. Hedrick J. Am. Chem. Soc. 1998 120 4644
75. A. Heise C. V. Nguyen R. Malek J. L. Hedrick C. W. Frank R. D. Miller Macromolecules 2000 33 2346
76. B. Lee W. Oh J. Yoon Y. Hwang J. Kim B. G. Landes J. P. Quintana M. Ree Macromolecules 2005 10.1021/mao501951
77. J. Yoon, K. Heo, W. Oh, K. S. Jin, S. Jin, J. Kim, K.-W. Kim and M. Ree, to be submitted
78. C. V. Nguyen C. J. Hawker R. D. Miller E. Huang J. L. Hedrick R. Gauderon J. G. Hilborn Macromolecules 2000 33 4281
79. D. Mecerreyes E. Huang T. Magbitang W. Volksen C. J. Hawker V. Y. Lee R. D. Miller J. L. Hedrick High Perform. Polym. 2001 13 S11
80. D. Mecerreyes B. Atthoff K. A. Boduch M. Trollsas J. L. Hedrick Macromolecules 1999 32 5175
81. C. J. G. Plummer L. Garamzsegi T.-Q. Nguyen M. Rodlert J.-A. E. Manson J. Mater. Sci. 2002 37 4819
82. J.-S. Kim H.-C. Kim B. Lee M. Ree Polymer 2005 46 7394
83. D. E. Bergbreiter Angew. Chem., Int. Ed. 1999 38 2870
84. M. J. Monteiro R. Bussels T. S. Wilkinson J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2001 39 2813
85. M. K. Park C. Xia R. C. Advincula Langmuir 2001 17 7670
86. L. M. Demers S. J. Park T. A. Taton Z. Li C. A. Mirkin Angew. Chem., Int. Ed. 2001 40 3071
87. K. B. Thurmond, II T. Kowalewski K. L. Wooley J. Am. Chem. Soc. 1997 119 6656
88. Q. Zhang E. E. Remsem K. L. Wooley J. Am. Chem. Soc. 2000 122 3642
89. E. Harth B. C. Horn V. Y. Lee D. S. Germack C. P. Gonzales R. D. Miller C. J. Hawker J. Am. Chem. Soc. 2002 124 8653
90. D. Mecerreyes V. Y. Lee C. J. Hawker J. L. Hedrick A. Wursch W. Volksen T. Magbitang E. Huang R. D. Miller Adv. Mater. 2001 13 204
91. E. F. Connor L. K. Sundberg H.-C. Kim J. J. Cornelissen T. Magbitang P. M. Rice V. Y. Lee C. J. Hawker W. Volksen J. L. Hedrick S. K. Min Angew. Chem., Int. Ed. 2003 42 3785
92. Y. Hwang, W. Oh and M. Ree, unpublished results
93. K. R. Carter, D. J. Dawson, R. A. DiPietro, C. J. Hawker, J. L. Hedrick, R. D. Miller and D. Y. Yoon, US Pat. 5895263, 1999
94. Q. R. Huang W. Volksen E. Huang M. Toney C. W. Frank R. D. Miller Chem. Mater. 2002 14 3676
95. H.-C. Kim J. S. Wilds C. R. Kreller W. Volksen P. J. Brock V. Y. Lee T. Magbitang E. Huang J. L. Hedrick C. J. Hawker R. D. Miller Adv. Mater. 2002 14 1637
96. E. Huang M. F. Toney W. Volksen D. Mecerreyes P. Brock H.-C. Kim C. J. Hawker J. L. Hedrick V. Y. Lee T. Magbitang R. D. Miller L. B. Lurio Appl. Phys. Lett. 2002 81 2232
97. H.-C. Kim W. Volksen R. D. Miller E. Huang G. Yang R. M. Briber K. Shin S. K. Satija Chem. Mater. 2003 15 609
98. Q. R. Huang H.-C. Kim E. Huang D. Mecerreyes J. L. Hedrick W. Volksen C. W. Frank R. D. Miller Macromolecules 2003 36 7661
99. Y. Chang C.-Y. Chen W.-C. Chen J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys. 2004 42 4466
100. C.-C. Yang P.-T. Wu W.-C. Chen H.-L. Chen Polymer 2004 45 5691
101. S. Yang P. A. Mirau C.-S. Pai O. Nalamasu E. Reichmanis E. K. Lin H.-J. Lee D. W. Gidley J. Sun Chem. Mater. 2001 13 2762
102. J. Xu J. Moxom S. Yang R. Suzuki T. Ohdaira Chem. Phys. Lett. 2002 364 309
103. S. Yang P. A. Mirau C.-S. Pai O. Nalamasu E. Reichmanis J. C. Pai Y. S. Obeng J. Seputro E. K. Lin H.-J. Lee J. Sun D. W. Gidley Chem. Mater. 2002 14 369
104. S. Polarz B. Smarsly L. Bronstein M. Antonietti Angew. Chem. 2001 113 4549
105. J.-H. Yim Y.-Y. Lyu H.-D. Jeong S. A. Song I.-S. Hwang J. Hyeon-Lee S. K. Mah S. Chang J. G. Park Y. F. Hu J. N. Sun D. W. Gidley Adv. Funct. Mater. 2003 13 382
106. J.-H. Yim J. B. Seon H.-D. Jeong L. S. Pu M. R. Baklanov D. W. Gidley Adv. Funct. Mater. 2004 14 277
107. J.-H. Yim M. R. Baklanov D. W. Gidley H. Peng H.-D. Jeong L. S. Pu J. Phys. Chem. B 2004 108 8953
108. K. Chung, E. S. Moyer and M. Spaulding, US Pat. 6231989, 2001
109. B. Zhong M. Spaulding J. Albaugh E. Moyer Polym. Mater. Sci. Eng. 2002 87 440
110. J. H. Lee W. C. Kim S. K. Min H. W. Rhee D. Y. Yoon Macromol. Mater. Eng. 2003 288 455
111. H. W. Ro K. J. Kim P. Theato D. W. Gidley D. Y. Yoon Macromolecules 2005 38 1031
112. W. Oh, Ph.D. Thesis, Pohang University of Science & Technology, South Korea, 2003
113. C. J. G. Plummer J. G. Hilborn J. L. Hedrick Polymer 1995 36 2485
114. H. J. Cha J. L. Hedrick R. DiPietro T. Blume R. Beyers D. Y. Yoon Appl. Phys. Lett. 1996 68 1930
115. K. R. Carter R. DiPietro M. I. Sanchez T. P. Russell P. Lakshamanan J. E. McGrath Chem. Mater. 1997 9 195
116. J.-S. Do B. Zhu S. H. Han C. Nah M.-H. Lee Polym. Int. 2004 53 1040
117. Y. Charler J. L. Hedrick T. P. Russell W. Volksen Polymer 1995 36 987
118. J. L. Hedrick C. Hawker R. DiPietro R. J. Jerome Y. Charlier Polymer 1995 36 4855
119. J. L. Hedrick K. R. Carter R. DiPietro R. D. Miller T. P. Russell V. Flores D. Mecerreyes P. DuBois R. Jerome Chem. Mater. 1998 10 32
120. J. L. Hedrick J. Labadie T. P. Russell D. Hofer V. Wakharker Polymer 1993 34 4717
121. G. D. Fu B. Y. Zong E. T. Kang K. G. Neoh C. C. Lin D. J. Liaw Ind. Eng. Chem. Res. 2004 43 6723
122. G. D. Fu W. C. Wang S. Li E. T. Kang K. G. Neoh W. T. Tseng D. J. Liaw J. Mater. Chem. 2003 13 2150
123. Y. Chen W. Wang W. Yu Z. Yuan E. T. Kang K. G. Neoh B. Krauter A. Greiner Adv. Funct. Mater. 2004 14 471
124. K. R. Carter R. A. DiPietro M. I. Sanchez S. A. Swanson Chem. Mater. 2001 13 213
125. Y. W. Chen W. C. Wang W. H. Yu E. T. Kang K. G. Neoh R. H. Vora C. K. Ong L. F. Chen J. Mater. Chem. 2004 14 1406
126. W. C. Wang R. H. Vora E. T. Kang K. G. Neoh C. K. Ong L. F. Chen Adv. Mater. 2004 16 54