Effects of crystallinity in spin-on pure-silica-zeolite MFI low-dielectric-constant films

Advanced Functional Materials

Volumn 14, Issue 10, 2004, Pages 1019-1024

  Li, Zijian ^a   Li, Shuang ^a   Luo, Hongmei ^a   Yan, Yushan ^a  

^a University of California Riverside   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CRYSTALLINE MATERIALS; MICROPROCESSOR CHIPS; MOISTURE; PERMITTIVITY; SILICA; STRENGTH OF MATERIALS; SYNTHESIS (CHEMICAL); ZEOLITES;

CRYSTALLINITY; DYNAMIC LIGHT SCATTERING (DLS); MOISTURE SENSITIVITY; NANOCOMPOSITE MEMBRANES;

DIELECTRIC FILMS;

EID: 8344262389     PISSN: 1616301X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adfm.200305147     Document Type: Article

References (26)

1. International Technology Roadmap For Semiconductors. Semiconductor Industry Association, San Jose, CA. 2001.
2. M. Morgen, E. T. Ryan, J. H. Zhao, C. Hu, T. H. Cho, P. S. Ho, Annu. Rev. Mater. Sci. 2000, 30, 645.
3. K. Maer, M. R. Baklanov, D. Shamiryan, F. Iacopi, S. H. Brongersma, Z. S. Yanovitskaya, J. Appl. Phys. 2003, 93, 8793.
4. S. Seraji, Y. Wu, M. Forbess, S. J. Limmer, T. Chou, G. Z. Cao. Adv. Mater. 2000, 12, 1695.
5. L. W. Hrubesh, J. Non-Cryst. Solids 1998, 225, 335.
6. L. W. Hrubesh, L. E. Keene, V. R. Latorre, J. Mater. Res. 1993, 8, 1736.
7. S. Baskaran, J. Liu, K. Domansky, N. Kohler, X. H. Li, C. Coyle, G. E. Fryxell, S. Thevmthasan, R. E. Williford. Adv. Mater. 2000, 12, 291.
8. D. Zhao, P. Yang, N. Melosh, J. Feng, B. F. Chmelka, G. D. Stucky. Adv. Mater. 1998, 10, 1380.
9. S. Z. Yu. T. K. S. Wong, K. Pita, X. Hu, V. Ligatchev, J. Appl. Phys. 2002, 92, 3338.
10. E. M. Flanigen, J. M. Bennett, R. W. Grose, J. P. Cohen, R. L. Patton, R. M. Kirchner, J. V. Smith, Nature 1978, 271, 512.
11. Z. B. Wang, H. T. Wang, A. Mitra, L. M. Huang, Y. S. Yan, Adv. Mater. 2001, 13, 746.
12. Z. B. Wang, A. P. Mitra, H. T. Wang, L. M. Huang, Y. H. Yan. Adv. Mater. 2001, 13, 1463.
13. S. Li, Z. J. Li, Y. S. Yan, Adv. Mater. 2003, 15, 1528.
14. Z. Y. Liu, G. Cacciola, G. Restuccia, N. Giordano. Zeolites 1990, 10, 565.
15. L. M. Huang, Z. B. Wang, J. Y. Sun, L. Miao, Q. Z. Li. Y. S. Yan, D. Y. Zhao, J. Am. Chem. Soc. 2000, 122, 3530.
16. H. T. Wang, L. M. Hnang, Z. B. Wang, A. Mitra, Y. S. Yan, Chem. Commun. 2001, 1364.
17. H. T. Wang, L. M. Huang, B. A. Holmberg, Y. S. Yan. Chem. Commun. 2002, 1708.
18. H. Wang, B. A. Hohnberg, Y. Yan, J. Mater. Chem. 2002, 12, 3640.
19. R. A. van Santen, G. J. Kramer, Chem. Rev. 1995, 95, 637.
20. U. Muller, K. K. Unger, Zeolites 1988, 8, 154.
21. Q. Li, D. Creaser, J. Sterte, Microporous Mesoporous Mater. 1999, 31, 141.
22. S. Mintova, N. H. Olson, J. Senker, T. Bein, Angew. Chem. Int. Ed. 2002, 41, 2558.
23. R. Ravishankar, C. E. A. Kirschhock, P. P. Knops-Gerrits, E. J. P. Feijen, P. J. Grobet, P. Vanoppen, F. C. De Schryver, G. Miehe, H. Fuess, B. J. Schoeman, P. A. Jacobs, J. A. Martens, J. Phys. Chem. B 1999, 103, 4960.
24. D. D. Kragten, J. M. Fedeyko, K. R. Sawant, J. D. Rimer, D. G. Vlachos, R. F. Lobo, M. Tsapatis, J. Phys. Chem. B 2003, 107, 10006.
25. C. T. G. Knight, S. D. Kinrade, J. Phys. Chem. B 2002, 106, 3329.
26. L. M. Huang, Z. B. Wang, H. T. Wang, J. Y. Sun, Q. H. Li. D. Y. Zhao, Y. H. Yan, Microporous Mesoporous Mater. 2001, 48, 13.