Single sub-20 nm wide, centimeter-long nanofluidic channel fabricated by novel nanoimprint mold fabrication and direct imprinting

Nano Letters

Volumn 7, Issue 12, 2007, Pages 3774-3780

  Liang, Xiaogan ^a   Morton, Keith J ^a   Austin, Robert H ^b   Chou, Stephen Y ^a  

^a Princeton University   (United States)

^b PRINCETON UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHANNEL PATTERNS; CONFORMAL COATINGS;

ANISOTROPIC ETCHING; BIOSENSORS; CHEMICAL SENSORS; CRYSTALLOGRAPHY; DNA;

NANOFLUIDICS;

DNA; NANOMATERIAL; NANOTUBE;

ARTICLE; CHEMISTRY; MATERIALS TESTING; METABOLISM; METHODOLOGY; MICROFLUIDIC ANALYSIS; NANOTECHNOLOGY; PARTICLE SIZE; SURFACE PROPERTY; TRANSPORT AT THE CELLULAR LEVEL;

BIOLOGICAL TRANSPORT; DNA; MATERIALS TESTING; MICROFLUIDIC ANALYTICAL TECHNIQUES; NANOSTRUCTURES; NANOTECHNOLOGY; NANOTUBES; PARTICLE SIZE; SURFACE PROPERTIES;

EID: 38049184247     PISSN: 15306984     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl072253x     Document Type: Article

References (35)

1. Stern, M. B.; Geis, M. W.; Curtin. J. E. J. Vac. Sci. Technol., B 1997, 15(6), 2887-2891.
2. Austin, R. H.; Tegenfeldt, J. O.; Cao, H.; Chou, S. Y.; Cox, E. C. IEEE Trans. Nanotechnol. 2002, 1 (1), 12-18.
3. IHc, B.; Czaplewski, D.: Zalalutdinov, M.; Schmidt, B.; Craighead. H. G. J. Vac. Sci. Technol., B 2002, 20 (6), 2459-2465.
4. Cannon, D. M.; Flachsbart, B. R.; Shannon, M. A.: Sweedler. J. V.; Bohn, P. W. Appl. Phys. Lett. 2004, 85 (7), 1241-1243.
5. Fan, R.; Karnik. R.; Yue, M.; Li, D. Y.; Majumdar. A.; Yang, P. D. Nano Lett. 2005, 5 (9), 1633-1637.
6. Mijatovic, D.; Eijkel, J. C. T.; van den Berg. A. Lab Chip 2005, 5 (5), 492-500.
7. Lagerqvist. J.; Zwolak, M.; Di Ventra, M. Nano Lett. 2006, 6 (4). 779-782.
8. Groves, T. R.; Pickard, D.; Rafferty, B.; Crosland, N.; Adam, D.; Schubert, G. Microelectron. Eng. 2002, 61-2, 285-293.
9. Melngailis, J.; Mondelli, A. A.; Berry, I. L.; Mohondro, R. J. Vac. Sci. Technol., B 1998, 16 (3), 927-957.
10. McCord, M. A.; Pease, R. F. W. Appl. Phys. Lett. 1987, 50 (10), 569-570.
11. Mannion, J. T.; Reccius, C. H.; Cross, J. D.; Craighead, H. G. Biophys. J. 2006, 90 (12), 4538-4545.
12. Fan, R.; Yue, M.; Karnik, R.; Majumdar, A.; Yang, P. D. Phys. Rev. Lett. 2005, 95 (8).
13. Zwolak, M.; Di Ventra, M. Nano Lett. 2005, 5 (3), 421-424.
14. Chou, S. Y. Princeton University, Princeton, NJ, Unpublished work, 2004.
15. O'Brien, M. J.; Bisong, P.; Ista, L. K.; Rabinovich, E. M.; Garcia, A. L.; Sibbett, S. S.; Lopez, G. P.; Brueck, S. R. J. J. Vac. Sci. Technol., B 2003, 21 (6), 2941-2945.
16. Dumond, J. J.; Low, H. Y.; Rodriguez, I. Nanotechnology 2006, 17 (8), 1975-1980.
17. Tegenfeldt, J. O.; Cao, H.; Reisner, W. W.; Prinz, C.; Austin, R. H.; Chou, S. Y.; Cox, E. C.; Sturm, J. C. Biophys. J. 2004, 86 (1), 596A-596A.
18. Lee, C.; Yang, E. H.; Myung, N. V.; George, T. Nano Lett. 2003, 3 (10), 1339-1340.
19. Choi, Y. K.; Lee, J. S.; Zhu, J.; Somorjai, G. A.; Lee, L. P.; Bokor, J. J. Vac. Sci. .Technol, B 2003, 21 (6), 2951-2955.
20. Czaplewski, D. A.; Kameoka, J.; Mathers, R.; Coates, G. W.: Craighead, H. G. Appl. Phys. Lett. 2003, 83 (23), 4836-4838.
21. Verbridge, S. S.; Edel, J. B.; Stavis, S. M.; Moran-Mirabal, J. M.; Allen, S. D.; Coates, G.; Craighead, H. G. J. Appl. Phys. 2005, 97 (12).
22. Wang, M.; Jing, N.; Su, C. B.; Kameoka, J.; Chou, C. K.; Hung, M. C.; Chang, K. A. Appl. Phys. Lett. 2006, 88 (3).
23. Wong, C. C.; Agarwal, A.; Balasubramanian, N.; Kwong, D. L. Nanotechnology 2007, 18 (13).
24. Cao, H.; Yu, Z. N.; Wang, J.; Tegenfeldt, J. O.; Austin, R. H.; Chen, E.; Wu, W.; Chou, S. Y. Appl. Phys. Lett. 2002, 81 (1), 174-176.
25. Wang, Y. M.; Tegenfeldt, J. O.; Reisner, W.; Riehn, R.; Guan, X. J.; Guo, L.; Golding, I.; Cox, E. C.; Sturm, J.; Austin, R. H. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2005, 102 (28), 9796-9801.
26. Hug, T. S.; de Rooij, N. F.; Staufer, U. Microfluid. Nanofluid. 2006, 2 (2), 117-124.
27. Chou, S. Y. Princeton University, Princeton, NJ, Unpublished work, 2005.
28. Chou, S. Y.; Smith, H. I.; Antoniadis, D. A. J. Vac. Sci. Technol., B 1985, 3(6), 1587-1589.
29. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Renstrom, P. J. Appl. Phys. Lett. 1995, 67(21), 3114-3116.
30. Chou, S. Y.: Krauss, P. R.; Renstrom, P. J. Science 1996, 272 (5258), 85-87.
31. Constantoudis, V.; Patsis, G. P.; Tserepi, A.; Gogolides. E. J. Vac. Sci. Technol.. B 2003, 21 (3), 1019-1026.
32. Reisner, W.; Morton, K. J.; Riehn, R.; Wang, Y. M.; Yu, Z. N.; Rosen, M.; Sturm, J. C.; Chou, S. Y.; Frey, E.; Austin, R. H. Phys. Rev. Lett. 2005, 94 (19).
33. Cao. H.; Tegenfeldt, J. O.; Austin, R. H.; Chou, S. Y. Appl. Phys. Lett. 2002, 81 (16), 3058-3060.
34. Stein, D.; Kruithof, M.; Dekker, C. Phys. Rev. Lett. 2004, 93 (3).
35. b is bath concentration [unit: M].