Fabrication of flexible polymer tubes for micro and nanofluidic applications

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 20, Issue 6, 2002, Pages 2459-2465

  Ilic, B ^a   Czaplewski, D ^b   Zalalutdinov, M ^b   Schmidt, B ^b   Craighead, H G ^b  

^a Department of Theoretical and Applied Mechanics and the Cornell Nanofabrication Facility   (United States)

^b Cornell University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BIOCOMPATIBILITY; CAPILLARY FLOW; CHANNEL FLOW; ELECTROPHORESIS; IONS; PHYSICAL VAPOR DEPOSITION; SILICON WAFERS; TUBES (COMPONENTS);

FLEXIBLE POLYMER TUBES; MICROFLUIDIC APPLICATIONS; NANOFLUIDIC APPLICATIONS; PARYLENE TUBES; SILICON MOLD;

PLASTIC PRODUCTS;

EID: 0036883109     PISSN: 0734211X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.1526356     Document Type: Article

References (43)

1. C.-M. Ho and Y.-C. Tai, Annu. Rev. Fluid Mech. 30, 579 (1998).
2. P. Gravesen, J. Branebjerg, and O. S. Jensen, J. Micromech. Microeng. 3, 168 (1993).
3. J.-D. Lee, J.-B. Yoon, J.-K. Kim, H.-J. Chung, C.-S. Lee, H.-D. Lee, H.-J. Lee, C.-K. Kim and C.-H. Han, IEEE J. Microelectromech. Syst. 8, 229 (1999).
4. S. Wu, Q. Lin, Y. Yuen, and Y.-C. Tai, Sens. Actuators A 89, 152 (2001).
5. B. L. Gray, D. Jaeggi, N. J. Moulas, B. P. van Drieenhuizen, K. R. Williams, N. I. Maluf, and G. T. A. Kovacs, Sens. Actuators A 77, 57 (1999).
6. J. D. Trumbull, I. K. Glasgow, D. J. Beebe, and R. L. Magin, IEEE Trans. Biomed. Eng. 47, 3 (2000).
7. M. A. Unger, H.-P. Chou, T. Thorsen, A. Scherer, and S. R. Quake, Science 288, 113 (2000).
8. D. C. Duffy, O. J. A. Schueller, S. T. Brittain, and G. M. Whitesides, J. Micromech. Microeng. 9, 211 (1999).
9. D. J. Beebe, J. S. Moore, Q. Yu, R. H. Liu, M. L. Kraft, B.-H. Jo, and C. Devadoss, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 97, 13488 (2000).
10. D. T. Chiu, N. L. Jeon, S. Huang, R. S. Kane, C. J. Wargo, I. S. Choi, D. E. Ingber, and G. M. Whitesides, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 97, 2408 (2000).
11. S. Takayama, J. C. McDonald, E. Ostuni, M. N. Liang, P. J. A. Kenis, R. F. Ismagilov, and G. M. Whitesides, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 96, 5545 (1999).
12. P. J. A. Kenis, R. F. Ismagilov, and G. M. Whitesides, Science 285, 83 (1999).
13. E. Delamarche, A. Bernard, H. Schmid, B. Michel, and H. Biebuyck, Science 271, 779 (1997).
14. S. W. Turner, A. M. Perez, A. Lopez, and H. G. Craighead, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3835 (1998).
15. C.-F. Chou, O. Bakajin, S. W. P. Turner, T. A. J. Duke, S. S. Chan, E. C. Cox, H. G. Craighead, and R. H. Austin, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 96, 13762 (1999).
16. J. Han and H. G. Craighead, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 2142 (1999).
17. J. Han and H. G. Craighead, Science 288, 1026 (2000).
18. S. W. P. Turner, M. Cabodi, and H. G. Craighead, Phys. Rev. Lett. 88, 128103 (2002).
19. Y. Liu, R. S. Foote, S. C. Jacobson, R. S. Ramsey, and J. M. Ramsey, Anal. Chem. 72, 4608 (2000).
20. J.-L. Viovy, Rev. Mod. Phys. 72, 813 (2000).
21. D. Schmalzing, L. Koutny, A. Adourian, P. Belgrader, P. Matsudaira, and D. Ehrlich, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 94, 10273 (1997).
22. J. Khandurina, S. C. Jacobson, L. C. Waters, R. S. Foote, and J. M. Ramsey, Anal. Chem. 71, 1815 (1999).
23. M. A. Burns, B. N. Johnson, S. N. Brahmasandra, K. Handique, J. R. Webster, M. Krishnan, T. S. Sammarco, P. M. Man, D. Jones, D. Heldsinger, C. H. Mastrangelo, and D. T. Burke, Science 282, 484 (1998).
24. D. V. McAllister, M. G. Allen, and M. R. Praunsnitz, Annu. Rev. Biomed. Eng. 2, 289 (2000).
25. D. J. Harrison, K. Fluri, N. Chiem, T. Tang, and Z. Fan, Sens. Actuators B 33, 105 (1996).
26. G. T. A. Kovacs, Micromachined Transducers Sourcebook (WCB/McGraw-Hill, New York, 1998).
27. S. C. Jacobson, T. E. McKnight, and J. M. Ramsey, Anal. Chem. 69, 4455 (1999).
28. M. Koch, C. G. J. Schabmueller, A. G. R. Evans, and A. Brunnschweiler, Sens. Actuators A 74, 207 (1999).
29. B. He, B. J. Burke, X. Zhang, and F. E. Regnier. Anal. Chem. 73, 1942 (2001).
30. J. Kameoka, H. G. Craighead, H. Zhang, and J. Henion, Anal. Chem. 73, 1935 (2001).
31. S. C. Jacobson and J. M. Ramsey, Anal. Chem. 69, 3212 (1997).
32. H. Becker, K. Lowack, and A. Manz, J. Micromech. Microeng. 8, 24 (1998).
33. R. B. M. Schasfoort, S. Schlautmann, J. Hendrikse, and A. van den Berg, Science 286, 942 (1999).
34. D. T. Chiu, E. Pezzoli, H. Wu, A. D. Stroock, and G. M. Whitesides, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 98, 2961 (2001).
35. L. Lin and A. P. Pisano, IEEE J. Microelectromech. Syst. 8, 78 (1999).
36. B. Zhao, J. S. Moore, and D. J. Beebe, Science 291, 1023 (2001).
37. I. Papautsky, J. Brazzle, H. Swerdlow, and A. B. Frazier, IEEE J. Microelectromech. Syst. 7, 267 (1998).
38. M. Foquet, J. Korlach, W. Zipfel, W. W. Webb, and H. G. Craighead, Anal. Chem. 74, 1415 (2002).
39. C. Liu and Y.-C. Tai, IEEE J. Microelectromech. Syst. 8, 135 (1999).
40. M. J. de Boer, R. W. Tjerkstra, J. W. Berenschot, H. V. Jansen, G. J. Burger, J. G. E. Gardeniers, M. Elwenspoek, and A. van den Berg, IEEE J. Microelectromech. Syst. 9, 94 (2000).
41. S. Rogojevic, J. A. Moore, and W. N. Gill, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 266 (1999).
42. Parylene Specifications and Properties, Speciality Coating Systems (Union Carbide, 2000).
43. ATHENA User's Manual (Silvaco International, 1995).