Surface interactions of C 3 radicals during the deposition of fluorocarbon and hydrocarbon films

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 25, Issue 6, 2007, Pages 1519-1523

  Liu, Dongping ^a,b   Fisher, Ellen R ^a  

^a Veterinary Dentistry and Oral Surgery   (United States)

^b DALIAN UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

FLUORESCENCE EXCITATION; GAS-PHASE DENSITY; PLASMA CONDITIONS; SURFACE INTERACTIONS;

DEPOSITION; FLUORESCENCE SPECTROSCOPY; FLUOROCARBONS; HYDROCARBONS; IMAGING SYSTEMS; THIN FILMS; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

FREE RADICALS;

EID: 36048939416     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.2784717     Document Type: Article

References (40)

1. K. I. Churymumov, I. V. Luk'yanyk, A. A. Berezhnoi, V. H. Chavushyan, L. S. Sandoval, and A. A. Palma, Earth, Moon, Planets 90, 361 (2002).
2. J. Luque, W. Juchmann, E. A. Brinkman, and J. B. Jeffries, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 397 (1998).
3. J. Luque, W. Juchmann, and J. B. Jeffries, J. Appl. Phys. 82, 2072 (1997).
4. R. Mills, J. Sankar, P. Ray, B. Dhandapani, and J. He, Chem. Mater. 15, 1313 (2003).
5. J. Benedikt, D. C. Schram, and M. C. M. van de Sanden, J. Phys. Chem. A 109, 10153 (2005).
6. K. Takizawa, K. Sasaki, and K. Kadota, J. Appl. Phys. 88, 6201 (2000).
7. C. B. Labelle and K. K. Gleason, J. Appl. Polym. Sci. 80, 2084 (2001).
8. E. A. Rohlfing, J. Chem. Phys. 91, 4531 (1989).
9. K. Sasaki, T. Wakasaki, S. Matsui, and K. Kadota, J. Appl. Phys. 91, 4033 (2002).
10. K. Takahashi, T. Mitamura, K. Ono, Y. Setsuhara, A. Itoh, and K. Tachibana, Appl. Phys. Lett. 82, 2476 (2003).
11. F. Shue, G. Clarotti, A. A. Benaoumar, J. Sledz, A. Mas, K. E. Geckeler, W. Gopel, and A. Orsetti, J. Macromol. Sci., Pure Appl. Chem. A31, 1161 (1994).
12. K. K. S. Lau, J. Bico, K. B. Teo, M. Chhowalla, G. A. J. Amaratunga, W. I. Milna, G. H. McKinley, and K. K. Gleason, Nano Lett. 12, 1701 (2003).
13. I. T. Martin, G. S. Malkov, C. I. Butoi, and E. R. Fisher, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 227 (2004).
14. B. A. Cruden, K. K. Gleason, and H. H. Sawin, J. Phys. D 25, 480 (2002).
15. S. J. Limb, C. B. Labelle, K. K. Gleason, D. J. Edell, and E. F. Gleason, Appl. Phys. Lett. 68, 2810 (1996).
16. M. M. Milard and E. Kay, J. Electrochem. Soc. 129, 160 (1982).
17. F. Hummernbrum, H. Kempkens, A. Ruzicka, H. D. Sauren, C. Schiffer, J. Uhlenbuschl, and J. Winter, Plasma Sources Sci. Technol. 1, 221 (1992).
18. A. von Keudell, M. Meier, and T. Schwarz-Selinger, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 72, 551 (2001).
19. A. von Keudell, M. Meier, T. Schwarz-Selinger, and W. Jacob, J. Appl. Phys. 89, 2979 (2001).
20. J. Yun and D. S. Dandy, Diamond Relat. Mater. 14, 1432 (2005).
21. C. I. Butoi, N. M. Mackie, K. L. Williams, N. E. Capps, and E. R. Fisher, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2685 (2000).
22. N. E. Capps, N. M. Mackie, and E. R. Fisher, J. Appl. Phys. 84, 4736 (1998).
23. D. Liu, I. T. Martin, and E. R. Fisher, Chem. Phys. Lett. 430, 113 (2006).
24. I. T. Martin and E. R. Fisher, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 2168 (2004).
25. J. Zhou and E. R. Fisher, J. Phys. Chem. B 110, 21911 (2006).
26. P. R. McCurdy, K. H. A. Bogart, N. F. Dalleska, and E. R. Fisher, Rev. Sci. Instrum. 68, 1684 (1997).
27. J. Baker, S. K. Bramble, and P. A. Hamilton, J. Mol. Spectrosc. 183, 6 (1997).
28. W. J. Balfour, J. Cao, C. V. V. Prasad, and C. X. W. Qian, J. Chem. Phys. 101, 10343 (1994).
29. K. H. Becker, T. Tatarczyk, and J. Radic-Peric, Chem. Phys. Lett. 60, 502 (1979).
30. L. Nemes, A. M. Keszler, C. G. Parigger, J. O. Hornkohl, H. A. Mlchelsen, and V. Stakhusky, Appl. Opt. 46, 4032 (2007).
31. G. A. Raiche and J. B. Jeffries, Appl. Phys. B: Lasers Opt. 64, 593 (1997).
32. S. Saha and C. M. Western, J. Chem. Phys. 125, 224307 (2006).
33. M. N. R. Ashfold, F. Castano, G. Hancock, and G. W. Ketley, Chem. Phys. Lett. 73, 421 (1980).
34. A. Wakisaka, J. J. Gaumet, Y. Shimizu, and Y. Tamori, J. Chem. Soc., Faraday Trans. 89, 1001 (1993).
35. K. H. A. Bogart, J. P. Cushing, and E. R. Fisher, J. Phys. Chem. B 101, 10016 (1997).
36. V. Philipps, E. Vietzke, and K. Flaskamp, Surf. Sci. 178, 806 (1986).
37. E. R. Fisher, P. Ho, W. G. Breiland, and R. J. Buss, J. Phys. Chem. 97, 10287 (1993).
38. W. M. M. Kessels, P. R. McCurdy, K. L. Williams, G. R. Barker, V. A. Venturo, and E. R. Fisher, J. Phys. Chem. B 106, 2680 (2002).
39. I. T. Martin, J. Zhou, and E. R. Fisher, J. Appl. Phys. 100, 013301 (2006).
40. D. Liu, I. T. Martin, J. Zhou, and E. R. Fisher, J. Appl. Phys. 101, 023304 (2007).