Integrated circuits based on amorphous indium-gallium-zinc-oxide-channel thin-film transistors

ECS Transactions

Volumn 3, Issue 8, 2006, Pages 293-300

  Ofuji, M ^a   Abe, K ^a   Kaji, N ^a   Hayashi, R ^a   Sano, M ^a   Kumomi, H ^a   Nomura, K ^b   Kamiya, T ^b   Hosono, H ^b  

^a CANON INC   (Japan)

^b TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS MATERIALS; ANNEALING; ELECTRIC POTENTIAL; INTEGRATED CIRCUITS; OSCILLATORS (ELECTRONIC);

CHANNEL LENGTHS; CIRCUIT SIMULATION; RING OSCILLATORS; ROOM TEMPERATURE;

THIN FILM TRANSISTORS;

EID: 33846941579     PISSN: 19385862     EISSN: 19386737     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1149/1.2356366     Document Type: Conference Paper

References (20)

1. C. -S. Yang, L. L. Smith, C. B. Arthur, and G. N. Parsons, J. Vac. Sci. Technol. B, 18, 683 (2000).
2. P. G. Carey, P. M. Smith, S. D. Theiss, and P. Wickboldt, J. Vac. Sci. Technol. A, 17, 1946 (2000).
3. G. H. Gelnick et al., Nature Mater., 3, 106 (2004).
4. H. Hosono, J. Non-Cryst. Sol., 352, 851 (2006).
5. H. Yabuta, M. Sano, K. Abe, T. Aiba, T. Den, H. Kumomi, K. Nomura, T. Kamiya, and H. Hosono, Appl. Phys. Lett., in press.
6. R. E. Presley, D. Hong, H. Q. Chiang, C. M. Hung, R. L. Hoffman, and J. F. Wager, Sol. Stat. Elec., 50, 500 (2006).
7. H. Q. Chiang, J. F. Wager, and R. L. Hoffman, Appl. Phys. Lett., 86, 013503 (2005).
8. N. L. Dehuff, E. S. Kettenring, D. Hong, H. Q. Chiang, J. F. Wager, R. L. Hoffman, C. -H. Park, and D. A. Keszler, J. Appl. Phys., 97, 064505 (2005).
9. K. Nomura, H. Ohta, A. Takagi, T. Kamiya, M. Hirano, and H. Hosono, Nature, 432, 488 (2004).
10. E. Fortunato, A. Pimentel, L. Pereira, A. Goncalves, G. Lavareda, H. A'guas, I. Ferreira, C. N. Carvalho, and R. Martins, J. Non-Cryst. Sol., 338-340, 806 (2004).
11. E. M. C. Fortunato, P. M. C. Barquinha, A. C. M. B. G. Pimentel, A. M. F. Goncalves, A. J. S. Marques, R. F. P. Martins, and L. M. N. Pereira, Appl. Phys. Lett., 85, 2541 (2004).
12. H. Ohta, K. Nomura, H. Hiramatsu, K. Ueda, T. Kamiya, M. Hirano, and H. Hosono, Sol. Stat. Elec., 47, 2261 (2003).
13. R. L. Hoffman, B. J. Norris, and J. F. Wager, Appl. Phys. Lett., 82, 733 (2003).
14. J. Nishii, F. M. Hossain, S. Takagi, T. Aita, K. Saikusa, Y. Ohmaki, I. Ohkubo, S. Kishimoto, A. Ohtomo, T. Fukumura, F. Matsukura, Y. Ohno, H. Koinuma, H. Ohno, and M. Kawasaki, Jpn. J. Appl. Phys., 42, L347 (2003).
15. H. Kumomi, N. Kaji, K. Abe, H. Yabuta, T. Iwasaki, M. Sano, and T. Den, K. Nomura, T. Kamiya, and H. Hosono, International TFT Conference '06 (ITC '06, Jan. 2006, Kitakyushu, Japan), 6.3.
16. C. Chang, M. Sano, M. Majima, H. Kumomi, K. Nomura, T. Kamiya, and H. Hosono, The 53rd Spring Meeting of The Japan Society of Applied Physics and Related Societies (Mar. 2006, Tokyo, Japan), 22a-P1-44.
17. F. Eder, H. Klauk, M. Halik, U. Zschieschang, G. Schmid, and C. Dehm, Appl. Phys. Lett., 84, 2673 (2004).
18. W. Fix, A. Ullmann, J. Picker, and W. Clemens, Appl. Phys. Lett., 81, 1735 (2002).
19. B. K. Crone, A. Dodabalapur, R. Sarpeshkar, R. W. Filas, Y.-Y. Lin, Z. Bao, J. H. O'Neill, W. Li, and H. E. Katz, J. Appl. Phys., 89, 5125 (2001).
20. 2 Spice Version 5, Beige Bag Software.