Direct laser writing on electrolessly deposited thin metal films for applications in micro- and nanofluidics

Langmuir

Volumn 20, Issue 5, 2004, Pages 1833-1837

  Lorenz, Robert M ^a   Kuyper, Christopher L ^a   Allen, Peter B ^a   Lee, Luke P ^b   Chiu, Daniel T ^a  

^a UNIVERSITY OF WASHINGTON   (United States)

^b University of California at Berkeley   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; CONTINUOUS WAVE LASERS; ETCHING; GAS LASERS; GOLD; METALLIC FILMS; NICKEL; PHOTOLITHOGRAPHY; PULSED LASER APPLICATIONS; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; SOLID STATE LASERS; SUBSTRATES;

ARGON LASER; DIRECT LASER WRITING; ELECTROLESSLY DEPOSITION THIN FILM; ELECTROLYTICALLY DEPOSITED NICKEL LAYER; NEODYMIUM DOPED YTTRIUM ALUMINUM GARNET LASER; NITROGEN LASER;

THIN FILMS;

EID: 1542285007     PISSN: 07437463     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/la036047q     Document Type: Article

References (52)

1. Deisingh, A. K. Analyst 2003, 128, 9-11.
2. Lin, S. Y.; Fleming, J. G.; Hatherington, D. L.; Smith, B. K.; Biswas, R.; Ho, K. M.; Sigalas, M. M.; Zubrzycki, W.; Kurtz, S. R.; Bur, J. Nature 1998, 394, 251-253.
3. Tan, J. L.; Tien, J.; Pirone, D. M.; Gray, D. S.; Bhadriraju, K.; Chen, C. S. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2003, 100, 1484-1489.
4. Reyes, D. R.; Iossifidis, D.; Auroux, P. A.; Manz, A. Anal. Chem. 2002, 74, 2623-2636.
5. Auroux, P. A.; Iossifidis, D.; Reyes, D. R.; Manz, A. Anal. Chem. 2002, 74, 2637-2652.
6. Duffy, D. C.; McDonald, J. C.; Schueller, O. J. A.; Whitesides, G. M. Anal. Chem. 1998, 70, 4974-4984.
7. Groisman, A.; Enzelberger, M.; Quake, S. R. Science 2003, 300, 955-958.
8. Wheeler, A. R.; Throndset, W. R.; Whelan, R. J.; Leach, A. M.; Zare, R. N.; Liao, Y. H.; Farrell, K.; Manger, I. D.; Daridon, A. Anal. Chem. 2003, 75, 3581-3586.
9. Wu, H.; Odom, T. W.; Chiu, D. T.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 554-559.
10. Linder, V.; Wu, H. K.; Jiang, X. Y.; Whitesides, G. M. Anal. Chem. 2003, 75, 2522-2527.
11. Thorsen, T.; Maerkl, S. J.; Quake, S. R. Science 2002, 298, 580-584.
12. Unger, M. A.; Chou, H. P.; Thorsen, T.; Scherer, A.; Quake, S. R. Science 2000, 288, 113-116.
13. Quake, S. R.; Scherer, A. Science 2000, 290, 1536-1540.
14. Jo, B. H.; Van Lerberghe, L. M.; Motsegood, K. M.; Beebe, D. J. J. Microelectromech. Syst. 2000, 9, 76-81.
15. Ng, J. M. K.; Gitlin, I.; Stroock, A. D.; Whitesides, G. M. Electrophoresis 2002, 23, 3461-3473.
16. McDonald, J. C.; Whitesides, G. M. Acc. Chem. Res. 2002, 35, 491-499.
17. McDonald, J. C.; Duffy, D. C.; Anderson, J. R.; Chiu, D. T.; Wu, H. K.; Schueller, O. J. A.; Whitesides, G. M. Electrophoresis 2000, 21, 27-40.
18. Deng, T.; Wu, H. K.; Brittain, S. T.; Whitesides, G. M. Anal. Chem. 2000, 72, 3176-3180.
19. McDonald, J. C.; Chabinyc, M. L.; Metallo, S. J.; Anderson, J. R.; Stroock, A. D.; Whitesides, G. M. Anal. Chem. 2002, 74, 1537-1545.
20. Love, J. C.; Wolfe, D. B.; Jacobs, H. O.; Whitesides, G. M. Langmuir 2001, 17, 6005-6012.
21. Odom, T. W.; Thalladi, V. R.; Love, J. C.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 12112-12113.
22. Fiorini, G. S.; Jeffries, G. D. M.; Lim, D. S. W.; Kuyper, C. L.; Chiu, D. T. Lab Chip 2003, 3, 158-163.
23. Galloway, M.; Stryjewski, W.; Henry, A.; Ford, S. M.; Llopis, S.; McCarley, R. L.; Soper, S. A. Anal. Chem. 2002, 74, 2407-2415.
24. Wang, J.; Pumera, M.; Chatrathi, M. P.; Escarpa, A.; Konrad, R.; Griebel, A.; Dorner, W.; Lowe, H. Electrophoresis 2002, 23, 596-601.
25. Meng, Z. J.; Qi, S. Z.; Soper, S. A.; Limbach, P. A. Anal. Chem. 2001, 73, 1286-1291.
26. Xu, J. D.; Locascio, L.; Gaitan, M.; Lee, C. S. Anal. Chem. 2000, 72, 1930-1933.
27. Liu, R. H.; Yu, Q.; Beebe, D. J. J. Microelectromech. Syst. 2002, 11, 45-53.
28. Kenis, P. J. A.; Ismagilov, R. F.; Takayama, S.; Whitesides, G. M.; Li, S. L.; White, H. S. Acc. Chem. Res. 2000, 33, 841-847.
29. Zhao, B.; Moore, J. S.; Beebe, D. J. Science 2001, 291, 1023-1026.
30. Beebe, D. J.; Moore, J. S.; Bauer, J. M.; Yu, Q.; Liu, R. H.; Devadoss, C.; Jo, B. H. Nature 2000, 404, 588-590.
31. Kenis, P. J. A.; Ismagilov, R. F.; Whitesides, G. M. Science 1999, 285, 83-85.
32. Moorthy, J.; Beebe, D. J. Lab Chip 2003, 3, 62-66.
33. Levene, M. J.; Korlach, J.; Turner, S. W.; Foquet, M.; Craighead, H. G.; Webb, W. W. Science 2003, 299, 682-686.
34. Foquet, M.; Korlach, J.; Zipfel, W.; Webb, W. W.; Craighead, H. G. Anal. Chem. 2002, 74, 1415-1422.
35. Tan, J. L.; Tien, J.; Chen, C. S. Langmuir 2002, 18, 519-523.
36. Ostuni, E.; Chen, C. S.; Ingber, D. E.; Whitesides, G. M. Langmuir 2001, 17, 2828-2834.
37. Ostuni, E.; Kane, R.; Chen, C. S.; Ingber, D. E.; Whitesides, G. M. Langmuir 2000, 16, 7811-7819.
38. Korte, F.; Serbin, J.; Koch, J.; Egbert, A.; Fallnich, C.; Ostendorf, A.; Chichkov, B. N. Appl. Phys. A 2003, 77, 229-235.
39. Niino, H.; Yasui, Y.; Ding, X.; Narazaki, A.; Sato, T.; Kawaguchi, Y.; Yabe, A. J. Photochem. Photobiol., A 2003, 158, 179-182.
40. Haefliger, D.; Cahill, B. P.; Stemmer, A. Microelectron. Eng. 2003, 67-8, 473-478.
41. Ivanova, E. P.; Wright, J. P.; Pham, D.; Filipponi, L.; Viezzoli, A.; Nicolau, D. V. Langmuir 2002, 18, 9539-9546.
42. Tender, L. M.; Worley, R. L.; Fan, H. Y.; Lopez, G. P. Langmuir 1996, 12, 5515-5518.
43. Flury, M.; Benatmane, A.; Gerard, P.; Montgomery, P. C.; Fontaine, J.; Engel, T.; Schunck, J. P.; Fogarassy, E. Appl. Surf. Sci. 2003, 208-209, 238-244.
44. Grzybowski, B. A.; Haag, R.; Bowden, N.; Whitesides, G. M. Anal. Chem. 1998, 70, 4645-4652.
45. Rodriguez, I.; Spicar-Mihalic, P.; Kuyper, C. L.; Fiorini, G. S.; Chiu, D. T. Anal. Chim. Acta 2003, 496, 205-215.
46. Chen, M. S.; Brandow, S. L.; Dulcey, C. S.; Dressick, W. J.; Taylor, G. N.; Bohland, J. F.; Georger, J.H. G.; Pavelchek, E. K.; Calvert, J. M. J. Electrochem. Soc. 1999, 146, 1421-1430.
47. Dressick, W. J.; Kondracki, L. M.; Chen, M. S.; Brandow, S. L.; Matijevic, E.; Calvert, J. M. Colloids Surf., A 1996, 108, 101-111.
48. Brandow, S. L.; Dressick, W. J.; Marrian, C. R. K.; Chow, G. M.; Calvert, J. M. J. Electrochem. Soc. 1995, 142, 2233-2243.
49. Dressick, W. J.; Dulcey, C. S.; Georger, J. H.; Calvert, J. M. Chem. Mater. 1993, 5, 148-150.
50. Dressick, W. J.; Dulcey, C. S.; Georger, J. H.; Calabrese, G. S.; Calvert, J. M. J. Electrochem. Soc. 1994, 141, 210-220.
51. Lowenheim, F. A. Electroplating; McGraw-Hill: Bristol, 1995.
52. Allen, P. B.; Rodriguez, I.; Kuyper, C. L.; Lorenz, R. M.; Spicar-Mihalic, P.; Kuo, J. S.; Chiu, D. T. Anal. Chem. 2003, 75, 1578-1583.