The influence of impurities on the growth of helium-induced cavities in silicon

Journal of Applied Physics

Volumn 94, Issue 1, 2003, Pages 238-244

  Vishnyakov, V M ^a   Donnelly, S E ^a   Carter, G ^a  

^a UNIVERSITY OF SALFORD   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHIZATION; ANNEALING; CARBON; DISLOCATIONS (CRYSTALS); IMPURITIES; ION IMPLANTATION; NITROGEN; OXYGEN;

VOIDS;

SEMICONDUCTING SILICON;

EID: 0042205655     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1576493     Document Type: Article

References (60)

1. D. M. Follstaedt, S. M. Myers, J. C. Barbour, G. A. Petersen, J. L. Reno, L. R. Dawson, and S. R. Lee, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 160, 476 (2000).
2. V. Raineri, M. Saggio, and E. Rimini, J. Mater. Res. 15, 7,1449 (2000).
3. S. M. Myers, D. M. Bishop, D. M. Follstaedt, H. J. Stein, and W. R. Wampler, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 283, 549 (1993).
4. J. Wong-Leung, C. E. Ascheron, M. Petravic, R. G. Elliman, and J. S. Williams, Appl. Phys. Lett. 66, 1231 (1995).
5. A. van Veen, H. Schut, R. A. Hakvoort, A. Fedorov, and K. T. Westerduin, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 373, 499 (1995).
6. M. H. F. Overwijk, J. Politiek, R. C. M. de Kruif, and P. C. Zalm, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 96, 257 (1995).
7. V. Raineri, P. G. Fallica, G. Percolla, A. Battaglia, M. Barbagallo, and S. U. Campisano, J. Appl. Phys. 78, 3727 (1995).
8. W. Deweerd, T. Barancira, S. Bukshpan, S. Denuynck, G. Langouche, K. Milants, R. Moons, J. Verheyden, and H. Pattyn, Phys. Rev. B 53, 16637 (1996).
9. R. A. Yankov, J. R. Kaschny, P. F. P. Fichtner, A. Mucklich, U. Kreisig, and W. Skopura, Microelectron. Eng. 36, 129 (1997).
10. G. A. Petersen, S. M. Myers, and D. M. Follstaedt, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 127-128, 301 (1997).
11. W. Deweerd, R. Moons, K. Milants, J. Verheyden, G. Langouche, and H. Pattyn, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 127-128, 307 (1997).
12. D. J. Eaglesham, A. E. White, L. C. Feldman, N. Moriya, and D. C. Jacobson, Phys. Rev. Lett. 70, 1643 (1993).
13. F. Schiettekatte, C. Wintgens, and S. Roorda, Appl. Phys. Lett. 74, 1857 (1999).
14. M. Alatalo, M. J. Puska, and R. M. Nieminen, Phys. Rev. B 46, 12806 (1992).
15. M. F. Beaufort, E. Oliviero, H. Garem, S. Godey, E. Ntsoenzok, C. Blanchard, and J. F. Barbot, Philos. Mag. B 80, 1975 (2000).
16. E. Oliviero, M. F. Beaufort, and J. F. Barbot, J. Appl. Phys. 89, 1 (2001).
17. E. Oliviero, M. F. Beaufort, and J. F. Barbot, J. Appl. Phys. 90, 1718 (2001).
18. D. L. Da Silva, P. F. P. Fichtner, M. Behar, A. Peeva, R. Koegler, and W. Skorupa, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 190, 756 (2002).
19. V. Raineri, M. Saggio, and E. Rimini, J. Mater. Res. 15, 1449 (2000).
20. F. Roqueta, D. Alquier, L. Venture, Ch. Dubois, and R. Jerisian, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 183, 318 (2001).
21. J. Terry, L. I. Haworth, A. M. Gundlach, J. T. M. Stevenson, V. M. Vishnyakov, and S. E. Donnellv, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 306 (2002).
22. R. G. Elliman, S. T. Johnson, K. Short, and J. S. Williams, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 27, 229 (1983).
23. C. C. Griffioen, J. H. Evans, P. C. deJong, and A. van Veen, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 27, 417 (1987).
24. H. J. Stein, S. M. Myers, and D. M. Follstaedt, J. Appl. Phys. 73, 2755 (1993).
25. V. Raineri, Solid State Phenom. 57-58, 43 (1997).
26. P. F. P. Fichtner, A. Peeva, M. Behar, G. de M. Azevedo, R. M. Maltez, R. Koegler, and W. Skorupa, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 161-163, 1038 (2000).
27. F. Corni, G. Calzolari, S. Frabboni, C. Nobili, G. Ottaviani, R. Tonini, G. F. Cerefolini, D. Leone, M. Servidori, R. S. Brusa, G. P. Karwasz, N. Tiengo, and A. Zecca, J. Appl. Phys. 85, 1401 (1999).
28. R. S. Brusa, G. P. Karwasz, N. Tiengo, A. Zecca, F. Conri, G. Calzolari, and C. Nobili, J. Appl. Phys. 85, 2390 (1999).
29. R. Siegle, G. C. Weatherly, H. K. Haugen, D. J. Lockwood, and L. M. Howe, Appl. Phys. Lett. 66, 1319 (1995).
30. A. E. Volkov and A. I. Ryazanov, J. Nucl. Mater. 273, 155 (1999).
31. A. van Veen, in Fundamental Aspects of Inert Gases in Solids, edited by S. E. Donnelly and J. H. Evans (Plenum, New York, 1991).
32. F. Corni, C. Nobili, G. Ottaviani, R. Tonini, and G. Calzolari, Phys. Rev. B 56, 7331 (1997).
33. A. van Veen (private communication).
34. H. Yamagishi, I. Fusegawa, N. Fujimaki, and M. Katayama, Semicond. Sci. Technol. 135, 1 (1992).
35. J. L. Hastings, S. K. Estreiher, and F. A. Fedders, Mater. Sci. Forum 258-263, 509 (1997).
36. A. Buongiorno and L. Colombo, Phys. Rev. B 57, 8767 (1997).
37. A. La Magna, S. Coffa, and L. Colombo, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 148, 262 (1999).
38. M. Strobel, K.-H. Heinig, and W. Moller, Comput. Mater. Sci. 494, 1 (1997).
39. M. Alatalo, M. J. Pushka, and R. M. Nieminen, Phys. Rev. B 46, 12806 (1992).
40. C. DeW. van Siclen, R. N. Wright, and S. G. Usmar, Phys. Rev. Lett. 68, 3892 (1992).
41. J. H. Evans, A. van Veen, and C. C. Griffioen, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 28, 360 (1987).
42. F. A. Nichols, J. Nucl. Mater. 30, 143 (1969).
43. D. M. Follstaedt, S. M. Myers, G. A. Petersen, and J. W. Medernach, J. Electron. Mater. 25, 151 (1996).
44. F. Schiettekatte, C. Wintgens, and S. Roorda, Appl. Phys. Lett. 74, 1857 (1999).
45. J. S. Williams, M. J. Conway, J. Wong-Leung, P. N. K. Deenapanray, P. Petravic, R. A. Brown, D. J. Eaglesham, and D. C. Jacobson, Appl. Phys. Lett. 75, 2424 (1999).
46. J. P. McCaffrey, Microsc. Res. Tech. 36, 372 (1997).
47. S. Suder, C. A. Faunce, and S. E. Donnelly, Thin Solid Films 304, 157 (1997).
48. J. C. Russ, The Image Processing (CRC Press, Boca Raton, 1999).
49. O. W. Holland, S. J. Pennycook, and G. L. Albert, Appl. Phys. Lett. 55, 2503 (1989).
50. D. A. Thompson, A. Golanski, K. H. Haugen, D. V. Stevanovic, G. Carter, and C. E. Christodoulides, Radiat. Eff. 52, 69 (1980).
51. J. F. Ziegler, J. P. Biersack, and U. Littmark, The Stopping and Ranges of Ions in Solids (Pergamon, New York, 1985).
52. V. Raineri, S. Coffa, M. Saggio, F. Frisina, and E. Rimini, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 149, 292 (1999).
53. J. S. Williams, M. C. Ridgway, M. J. Conway, J. Woung-Leung, X. F. Zhu, M. Petravic, F. Fortuna, M.-O. Ruault, H. Bernas, A. Kinomura, Y. Nakano, and Y. Hayashi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 178, 33 (2001).
54. A. Simionescu and G. Hobler, MRS Proc. 389, 221 (1995).
55. M. Burel, B. Aspar, and A.-J. Auberton-Herve, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 1636 (1977).
56. U. Bangert, P. J. Goodhew, C. Jeynes, and I. H. Wilson, J. Phys. D 19, 589 (1986).
57. Senkader, P. R. Wilshaw, D. Gambaro, and R. J. Falster, Solid State Phenom. 69-70, 321 (1999).
58. A. G. Cullis, T. E. Seidel, and R. L. Meek, J. Appl. Phys. 49, 5188 (1978).
59. W. B. Beere, Philos. Mag. 25, 189 (1972).
60. V. M. Vishnykov, S. E. Donnelly, G. Carter, R. C. Birtcher, and L. Howarth (unpublished).