Optoelectronic and structural properties of amorphous silicon-carbon alloys deposited by low-power electron-cyclotron resonance plasma-enhanced chemical-vapor deposition

Journal of Applied Physics

Volumn 85, Issue 6, 1999, Pages 3327-3338

  Conde, J P ^a   Chu, V ^b   Da Silva, M F ^c   Kling, A ^d   Dai, Z ^d   Soares, J C ^d   Arekat, S ^e   Fedorov, A ^a   Berberan Santos, M N ^a   Giorgis, F ^f   Pirri, C F ^f  

^a INSTITUTO SUPERIOR TÉCNICO   (Portugal)

^b INESC   (Portugal)

^c INSTITUTO TECNOLÓGICO E NUCLEAR   (Portugal)

^d UNIVERSITY OF LISBON   (Portugal)

^e UNIVERSITY OF BAHRAIN   (Bahrain)

^f POLITECNICO DI TORINO   (Italy)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000973683     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.369679     Document Type: Article

References (56)

1. J. Bullot and M. P. Schmidt, Phys. Status Solidi B 143, 345 (1987).
2. D. Engemann, R. Fischer, and J. Knecht, Appl. Phys. Lett. 32, 567 (1978).
3. D. Kruangam, T. Endo, G. P. Wei, S. Nonomura, H. Okamoto, and Y. Hamakawa, J. Non-Cryst. Solids 77&78, 1429 (1985).
4. V. Chu, J. P. Conde, J. Jarego, P. Brogueira, J. Rodriguez, N. Barradas, and J. C. Soares, J. Appl. Phys. 78, 3164 (1995).
5. Y. Hamakawa, T. Toyama, and H. Okamoto, J. Non-Cryst. Solids 115, 180 (1989).
6. M. Yoshimi, H. Shimizu, K. Hattori, H. Okamoto, and Y. Hamakawa, Optoelectron.-Devices Technol. 7, 69 (1992).
7. S. F. Yoon, R. Ji, and J. Ahn, Philos. Mag. B 77, 197 (1998).
8. M. Azuma, T. Yokoi, I. Shiiya, and I. Shimizu, J. Non-Cryst. Solids 164-166, 47 (1993).
9. M. Zhang, Y. Nakayama, S. Nonoyama, and K. Wakita, J. Non-Cryst. Solids 164-166, 63 (1993).
10. R. G. Andosca, W. J. Varhue, and E. Adams, J. Appl. Phys. 72, 1126 (1992).
11. R. E. Hollingsworth and P. K. Bhat, Appl. Phys. Lett. 64, 616 (1994).
12. T. Watanabe, M. Tanaka, K. Azuma, M. Nakatani, T. Sonobe, and T. Shimada, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 26, 1215 (1987).
13. J. Perrin, J. Non-Cryst. Solids 137&138, 639 (1991).
14. Y. Nakayama, K. Hitsuishi, M. Zhang, H. Imamura, and T. Kawamura, J. Non-Cryst. Solids 137&138, 669 (1991).
15. J. P. Conde, V. Schotten, S. Arekat, P. Brogueira, R. Sousa, and V. Chu, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 38 (1997).
16. S. Bae, A. K. Kalkan, S. Cheng, and S. J. Fonash, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1912 (1998).
17. W. C. Choi, E. K. Kim, S. K. Min, C. Y. Park, J. H. Kim, and T. Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 70, 3014 (1997).
18. K. Erikson, V. L. Dalal, and G. Chumanov, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 467, 409 (1997).
19. A. von Keudell and W. Jacob, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 402 (1997).
20. C. C. Liu, C. Lee, K. L. Cheng, H. C. Cheng, and T. R. Yew, Appl. Phys. Lett. 66, 168 (1995).
21. T. Futagi, N. Ohtani, M. Katsuno, K. Kawamura, Y. Ohta, H. Mimura, and K. Kitamura, J. Non-Cryst. Solids 137&138, 539 (1991).
22. S. F. Yoon and J. Ahn, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 1832 (1997).
23. D. Kruangam, T. Toyama, Y. Hattori, M. Deguchi, H. Okamoto, and Y. Hamakawa, J. Non-Cryst. Solids 97&98, 293 (1987).
24. Y. Matsumoto, G. Hirata, H. Takakura, H. Okamoto, and Y. Hamakawa, J. Appl. Phys. 67, 6538 (1990).
25. W. B. Jackson and N. M. Amer, Phys. Rev. B 25, 5559 (1982).
26. W. K. Chu, J. W. Mayer, and M. A. Nicolet, Backscattering Spectrometry (Academic, Orlando, FL, 1978).
27. E. Rauhala, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 12, 447 (1985).
28. L. R. Doolittle, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 9, 344 (1985).
29. G. Vizkelethy, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 45, 1 (1990).
30. A. Matsuda, T. Yamaoka, S. Wolff, M. Koyama, Y. Imanishi, H. Kataoka, H. Matsuura, and K. Tanaka, J. Appl. Phys. 60, 4025 (1986).
31. R. Tsu, P. Menna, and A. H. Mahan, Sol. Cells 21, 189 (1987).
32. N. F. Mott and E. A. Davis, Electronic Processes in Non-Crystalline Materials (Clarendon, Oxford, 1970).
33. J. Robertson, Philos. Mag. B 66, 615 (1992).
34. F. Giorgis, F. Giuliani, C. F. Pirri, A. Tagliaferro, and E. Tresso, Appl. Phys. Lett. 72, 2520 (1998).
35. Y. Katayama, K. Usami, and T. Shimada, Philos. Mag. B 43, 283 (1981).
36. S. Liedtke, K. Lips, M. Bort, K. Jahn, and W. Fuhs, J. Non-Cryst. Solids 114, 522 (1989).
37. R. A. C. M. M. van Swaaij, A. J. M. Bernsten, W. G. J. H. M. van Sark, H. Herremans, J. Bezemer, and W. F. van der Weg, J. Appl. Phys. 76, 251 (1994).
38. B. Ranby and J. F. Rabek, Photodegradation, Photo-oxidation and Photostabilization of Polymers (Wiley, Bristol, 1975).
39. A. Helmold, P. Hammer, J. U. Thiele, K. Rohwer, and D. Meissner, Philos. Mag. B 72, 335 (1995).
40. Rusli, J. Robertson, and G. A. J. Amaratunga, Diamond Relat. Mater. 6, 700 (1997).
41. J. Robertson, Philos. Mag. B 76, 335 (1997).
42. W. Lormes, M. Hundhausen, and L. Ley, J. Non-Cryst. Solids 227-230, 570 (1998).
43. R. A. Street, Hydrogenated Amorphous Silicon (Cambridge University Press, Cambridge, 1991).
44. S. V. Chernyskov, E. I. Terukov, V. A. Vassilyev, and A. S. Volkov, J. Non-Cryst. Solids 134, 218 (1991); V. A. Vassilyev, A. S. Volkov, E. Musabekov, E. I. Teruhov, S. V. Chernyskov, and Y. M. Shernyakov, ibid. 114, 507 (1989).
45. S. V. Chernyskov, E. I. Terukov, V. A. Vassilyev, and A. S. Volkov, J. Non-Cryst. Solids 134, 218 (1991); V. A. Vassilyev, A. S. Volkov, E. Musabekov, E. I. Teruhov, S. V. Chernyskov, and Y. M. Shernyakov, ibid. 114, 507 (1989).
46. L. R. Tessler and L. R. Cirino, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 420, 783 (1996).
47. D. Dasgupta, F. Demichelis, C. F. Pirri, and A. Tagliaferro, Phys. Rev. B 43, 2131 (1991).
48. S. Liu, S. Gangopadhyay, G. Sreenivas, S. S. Ang, and H. A. Naseem, Phys. Rev. B 55, 13020 (1997).
49. P. Reinke, W. Jacob, and W. Moeller, J. Appl. Phys. 74, 1354 (1993).
50. J. Cernogora, Phys. Status Solidi B 201, 303 (1997).
51. N. Mutsukura, S. Inoue, and Y. Machi, J. Appl. Phys. 72, 43 (1992).
52. F. Demichelis, F. Giorgis, C. F. Pirri, and E. Tresso, Philos. Mag. B 71, 1015 (1995).
53. F. Demichelis, C. F. Pirri, E. Tresso, and T. Stapinski, J. Appl. Phys. 71, 5641 (1992).
54. H. Herremans, W. Gravendonk, R. A. C. M. M. van Swaaij, W. G. J. H. M. van Sark, A. J. M. Berntsen, W. M. Arnold Bik, and J. Bezemer, Philos. Mag. B 66, 787 (1992).
55. T. Fujii, M. Yoshimoto, T. Fuyuki, and H. Matsunami, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 289 (1997).
56. A. Grill, V. Patel, and B. S. Meyerson, J. Mater. Res. 5, 2531 (1990).