Characterization of scanning tunneling microscopy and atomic force microscopy-based techniques for nanolithography on hydrogen-passivated silicon

Journal of Applied Physics

Volumn 84, Issue 4, 1998, Pages 1776-1781

  Fontaine, P A ^a   Dubois, E ^a   Stievenard D ^a  

^a Institut Superieur de l'Electronique et du Numerique   (France)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000692269     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.368334     Document Type: Article

References (26)

1. K. Matsumoto, S. Takahashi, M. Ishii, M. Hoshi, A. Kurokawa, S. Ichimura, and A. Ando, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 34, 1387 (1995).
2. S. C. Minne, H. T. Soh, Ph. Flueckiger, and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett. 66, 703 (1995).
3. L. A. Files-Sesler, TI Tech. J. 10, 18 (1993).
4. M. Heim, R. Eschrich, A. Hillebrand, H. F. Knapp, R. Guckenberger, and G. Cevc, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 1498 (1996).
5. A. Gordon, R. T. Fayfield, D. D. Liftin, and T. K. Higman, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2805 (1995).
6. D. Stiévenard, P. A. Fontaine, and E. Dubois, Appl. Phys. Lett. 70, 3272 (1997).
7. H. Sugimura, T. Yamamoto, N. Nakagiri, M. Miyashita, and T. Onuki, Appl. Phys. Lett. 65, 1569 (1994).
8. Digital Instruments, Incorporated, Nanoscope Command Reference Manual Version 4.10 (1995).
9. L. Libioulle, Y. Houbion, and J. M. Gilles, J. Vac. Sci. Technol. B 13 , 1325 (1995).
10. H. C. Day and D. R. Allee, Appl. Phys. Lett. 62, 2691 (1993).
11. F. Pérez-Murano, G. Abadal, N. Barniol, and X. Aymerich, J. Appl. Phys. 78, 6797 (1995).
12. G. S. Hsiao, J. A. Virtanen, and R. M. Penner, Appl. Phys. Lett. 63, 1119 (1993).
13. J. A. Dagata, J. Schneir, H. H. Harary, C. J. Evans, M. T. Postek, and J. Bennet, Appl. Phys. Lett. 56, 2001 (1990).
14. E. S. Snow, P. M. Campbell, and P. J. McMarr, Appl. Phys. Lett. 63, 749 (1993).
15. J. W. Lyding, G. C. Abeln, T. C. Shen, C. Wang, and J. R. Tucker, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3735 (1994).
16. H. Sugimura and N. Nakagiri, Nanotechnology 6, 29 (1995).
17. R. Wiesendanger, Scanning Probe Microscopy and Spectroscopy (Cambridge University Press, Cambridge, 1994).
18. T. Hattori, Y. Ejiri, and K. Saito, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 2586 (1994).
19. T. Teuschler, K. Mahr, S. Miyazaki, M. Hundhausen, and L. Ley, Appl. Phys. Lett. 67, 3144 (1995).
20. E. S. Snow and P. M. Campbell, Appl. Phys. Lett. 64, 1932 (1994).
21. P. De Wolf, J. Snauwaert, T. Clarysse, W. Vandervorst, and L. Hellemans, Appl. Phys. Lett. 66, 1530 (1995).
22. D. Wang, L. Tsau, and K. L. Wang, Appl. Phys. Lett. 65, 1415 (1994).
23. J. Servat, P. Gorostiza, F. Sanz, F. Pérez-Murano, N. Barniol, G. Abadal, and X. Aymerich, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1208 (1996).
24. J. A. Dagata, W. Tseng, J. Bennet, E. A. Dosbisz, J. Schneir, and H. H. Harari, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 2105 (1992).
25. Y. Xu, N. C. MacDonald, and S. A. Miller, Appl. Phys. Lett. 67, 2305 (1995).
26. S. C. Minne, S. R. Manalis, A. Atalar, and C. F. Quate, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2456 (1996).