Selective Area Growth of High-Quality ZnO Nanosheets Assisted by Patternable AlN Seed Layer for Wafer-Level Integration

Crystal Growth and Design

Volumn 16, Issue 9, 2016, Pages 5059-5066

  Murillo, Gonzalo ^a   Rodríguez Ruiz, Isaac ^a,b   Esteve, Jaume ^a  

^a INSTITUTO DE MICROELECTRÓNICA DE BARCELONA   (Spain)

^b DIF   (France)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ASPECT RATIO; ENERGY HARVESTING; NANOSHEETS; NITRIDES; ORGANOMETALLICS; SAPPHIRE; SILICON WAFERS; ZINC; ZINC COMPOUNDS; ZINC OXIDE;

ALUMINUM NITRIDE (ALN); HYDROTHERMAL GROWTH; HYDROTHERMAL METHODS; SELECTIVE AREA GROWTH; SILICON SUBSTRATES; TRANSPARENT DEVICES; WAFER-LEVEL INTEGRATION; ZNO NANOWIRES (NWS);

ALUMINUM NITRIDE;

EID: 84986267455     PISSN: 15287483     EISSN: 15287505     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/acs.cgd.6b00661     Document Type: Article

References (63)

1. Harb, A. Renewable Energy 2011, 36 (10) 2641-2654 10.1016/j.renene.2010.06.014
2. Mateu, L.; Moll, F. Proc. SPIE 2005, 5837, 359-373 10.1117/12.613046
3. Lee, M.; Chen, C.-Y.; Wang, S.; Cha, S. N.; Park, Y. J. Y. J.; Kim, J. M.; Chou, L.-J.; Wang, Z. L. Adv. Mater. 2012, 24 (13) 1759-1764 10.1002/adma.201200150
4. Sodano, H. a.; Inman, D. J.; Park, G. Shock Vib. Dig. 2004, 36 (3) 197-205 10.1177/0583102404043275
5. Murillo, G.; Campanella, H.; Agusti, J.; Esteve, J.; Abadal, G. In Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems; IEEE: New York, 2012; pp 1253-1256.
6. Özgür, U.; Alivov, Y. I.; Liu, C.; Teke, A.; Reshchikov, M. A.; Doǧan, S.; Avrutin, V.; Cho, S.-J.; Morkoç, H. J. Appl. Phys. 2005, 98 (4) 041301 10.1063/1.1992666
7. Wyckoff, R. W. G. In Crystal Structures; Interscience Publishers: New York, 1963; pp 85-237.
8. Xu, S.; Wang, Z. L. Nano Res. 2011, 4 (11) 1013-1098 10.1007/s12274-011-0160-7
9. Baruah, S.; Dutta, J. Sci. Technol. Adv. Mater. 2009, 10, 013001 10.1088/1468-6996/10/1/013001
10. Lu, C. H.; Yeh, C. H. Ceram. Int. 2000, 26, 351-357 10.1016/S0272-8842(99)00063-2
11. Willander, M.; Yang, L. L.; Wadeasa, a.; Ali, S. U.; Asif, M. H.; Zhao, Q. X.; Nur, O. J. Mater. Chem. 2009, 19 (7) 1006 10.1039/B816619F
12. Vayssieres, L. Adv. Mater. 2003, 15 (5) 464-466 10.1002/adma.200390108
13. Dahiya, A.; Opoku, C.; Alquier, D.; Poulin-Vittrant, G.; Cayrel, F.; Graton, O.; Hue, L.-P. T.; Camara, N. Nanoscale Res. Lett. 2014, 9 (1) 379 10.1186/1556-276X-9-379
14. Hsieh, C.-T.; Lin, J.-Y.; Yang, S.-Y. Phys. E 2010, 42 (9) 2319-2323 10.1016/j.physe.2010.05.008
15. Sun, H.; Luo, M.; Weng, W.; Cheng, K.; Du, P.; Shen, G.; Han, G. Nanotechnology 2008, 19 (MARCH) 125603 10.1088/0957-4484/19/12/125603
16. Greene, L. E.; Law, M.; Tan, D. H.; Montano, M.; Goldberger, J.; Somorjai, G.; Yang, P. Nano Lett. 2005, 5 (7) 1231-1236
17. Tsivion, D.; Schvartzman, M.; Popovitz-Biro, R.; Joselevich, E. ACS Nano 2012, 6 (7) 6433-6445 10.1021/nn3020695
18. Qin, Y.; Yang, R.; Wang, Z. L. J. Phys. Chem. C 2008, 112 (48) 18734-18736 10.1021/jp808869j
19. Baruah, S.; Dutta, J. Sci. Technol. Adv. Mater. 2009, 10 (1) 013001 10.1088/1468-6996/10/1/013001
20. Xu, S.; Lao, C.; Weintraub, B.; Wang, Z. L. J. Mater. Res. 2008, 23 (08) 2072-2077 10.1557/JMR.2008.0274
21. Xu, S.; Guo, W.; Du, S.; Loy, M. M. T.; Wang, N. Nano Lett. 2012, 12 (11) 5802-5807 10.1021/nl303132c
22. Elias, J.; Tena-Zaera, R.; Lévy-Clément, C. Thin Solid Films 2007, 515 (24) 8553-8557 10.1016/j.tsf.2007.04.027
23. Wang, Z. L.; Yang, R.; Zhou, J.; Qin, Y.; Xu, C.; Hu, Y.; Xu, S. Mater. Sci. Eng., R Reports 2010, 70 (3-6) 320-329 10.1016/j.mser.2010.06.015
24. Wu, W.; Pan, C.; Zhang, Y.; Wen, X.; Wang, Z. L. Nano Today 2013, 8 (6) 619-642 10.1016/j.nantod.2013.11.002
25. Tsai, F.-S.; Wang, S.-J. Sens. Actuators, B 2014, 193, 280-287 10.1016/j.snb.2013.11.069
26. Kim, K.-H.; Kumar, B.; Lee, K. Y.; Park, H.-K.; Lee, J.-H.; Lee, H. H.; Jun, H.; Lee, D.; Kim, S.-W. Sci. Rep. 2013, 3, 2017 10.1038/srep02017
27. Gupta, M. K.; Lee, J.; Lee, K. Y.; Kim, S. ACS Nano 2013, 7 (10) 8932-8939 10.1021/nn403428m
28. Lin, C.-Y.; Lai, Y.-H.; Chen, H.-W.; Chen, J.-G.; Kung, C.-W.; Vittal, R.; Ho, K.-C. Energy Environ. Sci. 2011, 4 (9) 3448 10.1039/c0ee00587h
29. Torchynska, T. V.; El Filali, B. J. Lumin. 2014, 149, 54-60 10.1016/j.jlumin.2014.01.008
30. Umar, A.; Hahn, Y. B. Nanotechnology 2006, 17 (9) 2174-2180 10.1088/0957-4484/17/9/016
31. Vempati, S.; Mitra, J.; Dawson, P. Nanoscale Res. Lett. 2012, 7 (1) 470 10.1186/1556-276X-7-470
32. Rui, Q.; Komori, K.; Tian, Y.; Liu, H.; Luo, Y.; Sakai, Y. Anal. Chim. Acta 2010, 670 (1-2) 57-62 10.1016/j.aca.2010.04.065
33. Wang, F.; Liu, R.; Pan, A.; Cao, L.; Cheng, K.; Xue, B.; Wang, G.; Meng, Q.; Li, J.; Li, Q.; Wang, Y.; Wang, T.; Zou, B. Mater. Lett. 2007, 61 (10) 2000-2003 10.1016/j.matlet.2006.08.007
34. Jackson, N.; Keeney, L.; Mathewson, A. Smart Mater. Struct. 2013, 22 (11) 115033
35. Mahameed, R.; Sinha, N.; Pisani, M. B.; Piazza, G. J. Micromech. Microeng. 2008, 18 (June) 105011 10.1088/0960-1317/18/10/105011
36. Piazza, G.; Felmetsger, V.; Muralt, P.; Olsson, R. H., III; Ruby, R. MRS Bull. 2012, 37 (11) 1051-1061 10.1557/mrs.2012.268
37. Murillo, G.; Campanella, H.; Esteve, J.; Abadal, G. J. Phys.: Conf. Ser. 2013, 476, 012042 10.1088/1742-6596/476/1/012042
38. Lee, E.; Park, J.; Yim, M.; Kim, Y.; Yoon, G. Appl. Phys. Lett. 2015, 106 (2) 1-6 10.1063/1.4904270
39. Hinchet, R.; Lee, S.; Ardila, G.; Montès, L.; Mouis, M.; Wang, Z. L. Adv. Funct. Mater. 2014, 24 (7) 971-977 10.1002/adfm.201302157
40. Thuy Doan, M.; Ho, X. V.; Nguyen, T.; Nguyen, V. N. Adv. Nat. Sci.: Nanosci. Nanotechnol. 2014, 5 (2) 025011 10.1088/2043-6262/5/2/025011
41. Al-Hardan, N. H.; Jalar, A.; Hamid, M. A. A.; Keng, L. K.; Ahmed, N. M.; Shamsudin, R. Sens. Actuators, A 2014, 207, 61-66 10.1016/j.sna.2013.12.024
42. Rahman, M. Y. a.; Umar, a. a.; Taslim, R.; Salleh, M. M. J. Exp. Nanosci. 2015, 10 (8) 599-609 10.1080/17458080.2013.858374
43. Bamiduro, F.; Ward, M. B.; Brydson, R.; Milne, S. J. J. Am. Ceram. Soc. 2014, 97 (5) 1619-1624 10.1111/jace.12809
44. Phuruangrat, A.; Thongtem, T.; Thongtem, S. Ceram. Int. 2014, 40 (7) 9069-9076 10.1016/j.ceramint.2014.01.120
45. Xu, S.; Lao, C.; Weintraub, B.; Wang, Z. L. J. Mater. Res. 2008, 23 (8) 2072-2077 10.1557/JMR.2008.0274
46. Vayssieres, L. Adv. Mater. 2003, 15 (5) 464-466 10.1002/adma.200390108
47. Zhang, J. X.; Cheng, H.; Chen, Y. Z.; Uddin, a.; Yuan, S.; Geng, S. J.; Zhang, S. Surf. Coat. Technol. 2005, 198, 68-73 10.1016/j.surfcoat.2004.10.075
48. Yao, L.-R.; Lu, F.-H. Int. J. Appl. Ceram. Technol. 2013, 10 (1) 51-59 10.1111/j.1744-7402.2012.02790.x
49. Jin, H.; Zhou, J.; Dong, S. R.; Feng, B.; Luo, J. K.; Wang, D. M.; Milne, W. I.; Yang, C. Y. Thin Solid Films 2012, 520 (15) 4863-4870 10.1016/j.tsf.2012.03.015
50. Campanella, H. Acoustic Wave and Electromechanical Resonators: Concept to Key Applications; Artech House: Norwood, MA, 2010.
51. Oliveira, M.; Olhero, S.; Rocha, J.; Ferreira, J. M. F. J. Colloid Interface Sci. 2003, 261, 456-463 10.1016/S0021-9797(03)00065-1
52. Fukumoto, S.; Hookabe, T.; Tsubakino, H. J. Mater. Sci. 2000, 35, 2743-2748 10.1023/A:1004718329003
53. Bowen, P.; Highfield, J.; Mocellin, A.; Ring, T. A. J. Am. Ceram. Soc. 1990, 73, 724-728 10.1111/j.1151-2916.1990.tb06579.x
54. Li, W. J.; Shi, E. W.; Zhong, W. Z.; Yin, Z. W. J. Cryst. Growth 1999, 203 (1) 186-196 10.1016/S0022-0248(99)00076-7
55. Li, Z.; Huang, X.; Liu, J.; Li, Y.; Ji, X.; Li, G. Mater. Lett. 2007, 61 (22) 4362-4365 10.1016/j.matlet.2007.02.003
56. Wang, P.; Du, H.; Shen, S.; Zhang, M.; Liu, B. Nanoscale Res. Lett. 2012, 7 (1) 176 10.1186/1556-276X-7-176
57. Gardeniers, J. G. E.; Rittersma, Z. M.; Burger, G. J. J. Appl. Phys. 1998, 83 (12) 7844-7854 10.1063/1.367959
58. Zhao, M. H.; Wang, Z. L.; Mao, S. X. Nano Lett. 2004, 4, 587-590 10.1021/nl035198a
59. Christman, J. a.; Woolcott, R. R.; Kingon, a. I.; Nemanich, R. J. Appl. Phys. Lett. 1998, 73 (26) 3851-3853 10.1063/1.122914
60. Asthana, a; Momeni, K.; Prasad, a; Yap, Y. K.; Yassar, R. S. Nanotechnology 2011, 22 (26) 265712 10.1088/0957-4484/22/26/265712
61. Broitman, E.; Soomro, M. Y.; Lu, J.; Willander, M.; Hultman, L. Phys. Chem. Chem. Phys. 2013, 15 (26) 11113-11118 10.1039/c3cp50915j
62. Xu, S.; Qin, Y.; Xu, C.; Wei, Y. G.; Yang, R. S.; Wang, Z. L. Nat. Nanotechnol. 2010, 5 (5) 366-373 10.1038/nnano.2010.46
63. NoBoudias, C.; Monceau, D. CaRIne 3.1; Senlis, France, 1998.