Scalable graphene synthesised by plasma-assisted selective reaction on silicon carbide for device applications

Nanoscale

Volumn 6, Issue 22, 2014, Pages 13861-13869

  Tsai, Hsu Sheng ^a   Lai, Chih Chung ^a   Medina, Henry ^a   Lin, Shih Ming ^a   Shih, Yu Chuan ^a   Chen, Yu Ze ^a   Liang, Jenq Horng ^a   Chueh, Yu Lun ^a  

^a NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CARRIER MOBILITY; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; FIELD EFFECT TRANSISTORS; NITROGEN PLASMA; PLASMA APPLICATIONS; POLYMER FILMS; SILICON; SILICON CARBIDE; SILICON WAFERS; SYNTHESIS (CHEMICAL); TRANSISTORS;

CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION; ELECTRONIC APPLICATION; GRAPHENE FIELD-EFFECT TRANSISTORS; HIGH CARRIER MOBILITY; SEMICONDUCTOR PROCESSING; SILICON CARBIDES (SIC); TWO-DIMENSIONAL MATERIALS; ULTRA-HIGH FREQUENCY;

GRAPHENE;

EID: 84911399930     PISSN: 20403364     EISSN: 20403372     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c4nr04486j     Document Type: Article

References (56)

1. L. Zhang J. Wang J. Zhu X. Zhang K. S. Hui K. N. Hui J. Mater. Chem. A 2013 1 9046
2. H. Bi S. Sun F. Huang X. Xie M. Jiang J. Mater. Chem. 2012 22 411
3. Y. T. Kim H. W. Shin Y. S. Ko T. K. Ahn Y. U. Kwon Nanoscale 2013 5 1483
4. Y. Zhu Z. Sun Z. Yan Z. Jin J. M. Tour ACS Nano 2011 5 6472
5. M. S. Lee K. Lee S. Y. Kim H. Lee J. Park K. H. Choi H. K. Kim D. G. Kim D. Y. Lee S. W. Nam J. U. Park Nano Lett. 2013 13 2814
6. Z. Jiang J. Wang L. Meng Y. Huang L. Liu Chem. Commun. 2011 47 6350
7. L. S. Zhang W. D. Wang X. Q. Liang W. S. Chu W. G. Song W. Wang Z. Y. Wu Nanoscale 2011 3 2458
8. R. K. Paul S. Badhulika N. M. Saucedo A. Mulchandani Anal. Chem. 2012 84 8171
9. W. Li X. Geng Y. Guo J. Rong Y. Gong L. Wu X. Zhang P. Li J. Xu G. Cheng M. Sun L. Liu ACS Nano 2011 5 6955
10. J. L. Xia F. Chen P. Wiktor D. K. Ferry N. J. Tao Nano Lett. 2010 10 5060
11. G. P. Keeley A. O'Neill N. McEvoy N. Peltekis J. N. Colemanac G. S. Duesberg J. Mater. Chem. 2010 20 7864
12. X. Lu H. Qi X. Zhang Z. Xue J. Jin X. Zhou X. Liu Chem. Commun. 2011 47 12494
13. H. J. Chen Z. H. Zhang R. Cai X. Q. Kong X. Chen Y. N. Liu S. Z. Yao Analyst 2013 138 2769
14. X. Mao H. Su D. Tian H. Li R. Yang ACS Appl. Mater. Interfaces 2013 5 592
15. O. Frank G. Tsoukleri I. Riaz K. Papagelis J. Parthenios A. C. Ferrari A. K. Geim K. S. Novoselov C. Galiotis Nat. Commun. 2011 2 255
16. H. Pei J. Li M. Lv J. Wang J. Gao J. Lu Y. Li Q. Huang J. Hu C. Fan J. Am. Chem. Soc. 2012 134 13843
17. L. Lin Y. Liu L. Tang J. Li Analyst 2011 136 4732
18. R. K. Srivastava S. Srivastava T. N. Narayanan B. D. Mahlotra R. Vajtai P. M. Ajayan A. Srivastava ACS Nano 2012 6 168
19. B. G. Choi H. S. Park M. H. Yang Y. M. Jung S. Y. Lee W. H. Hong T. J. Park Nanoscale 2010 2 2692
20. C. X. Guo S. R. Ng S. Y. Khoo X. Zheng P. Chen C. M. Li ACS Nano 2012 6 6944
21. M. Orlita C. Faugeras P. Plochocka P. Neugebauer G. Martinez D. K. Maude A. L. Barra M. Sprinkle C. Berger W. A. de Heer M. Potemski Phys. Rev. Lett. 2008 101 267601
22. K. S. Novoselov A. K. Geim S. V. Morozov D. Jiang Y. Zhang S. V. Dubonos I. V. Grigorieva A. A. Firsov Science 2004 306 666
23. X. Li W. Cai J. An S. Kim J. Nah D. Yang R. Piner A. Velamakanni I. Jung E. Tutuc S. K. Banerjee L. Colombo R. S. Ruoff Science 2009 324 1312
24. K. S. Kim Y. Zhao H. Jang S. Y. Lee J. M. Kim K. S. Kim J. H. Ahn P. Kim J. Y. Choi B. H. Hong Nature 2009 457 406
25. W. C. Yen Y. Z. Chen C. H. Yeh J. H. He P. W. Chiu Y. L. Chueh Sci. Rep. 2014 4 4379
26. C. H. Yeh H. Medina C. C. Lu K. P. Huang Z. Liu K. Suenaga P. W. Chiu ACS Nano 2014 8 275
27. K. V. Emtsev A. Bostwick K. Horn J. Jobst G. L. Kellogg L. Ley J. L. McChesney T. Ohta S. A. Reshanov J. Röhrl E. Rotenberg A. K. Schmid D. Waldmann H. B. Weber T. Seyller Nat. Mater. 2009 8 203
28. J. Ristein Science 2006 313 1057
29. H. Medina Y. C. Lin D. Obergfell P. W. Chiu Adv. Funct. Mater. 2011 21 2687
30. T. Kato R. Hatakeyama ACS Nano 2012 6 8508
31. S. H. Pan H. Medina L. J. Chou Z. Wang K. H. Chen L. C. Chen Y. L. Chueh Nanoscale 2014 6 8635
32. F. Schedin A. K. Geim S. V. Morozov E. W. Hill P. Blake M. I. Katsnelson K. S. Novoselov Nat. Mater. 2007 6 652
33. X. Wang X. Li L. Zhang Y. Yoon P. K. Weber H. Wang J. Guo H. Dai Science 2009 324 768
34. I. V. Lightcap T. H. Kosel P. V. Kamat Nano Lett. 2010 10 577
35. W. H. Lee J. W. Suk J. Lee Y. Hao J. Park J. W. Yang H. W. Ha S. Murali H. Chou D. Akinwande K. S. Kim R. S. Ruoff ACS Nano 2012 6 1284
36. S. Guo M. Ghazinejad X. Qin H. Sun W. Wang F. Zaera M. Ozkan C. S. Ozkan Small 2012 8 1073
37. Z. Yan J. Yao Z. Sun Y. Zhu J. M. Tour Small 2012 8 59
38. B. N. Szafranek D. Schall M. Otto D. Neumaier H. Kurz Nano Lett. 2011 11 2640
39. M. Kim N. S. Safron C. Huang M. S. Arnold P. Gopalan Nano Lett. 2012 12 182
40. U. Bangert W. Pierce D. M. Kepaptsoglou Q. Ramasse R. Zan M. H. Gass J. A. Van den Berg C. B. Boothroyd J. Amani H. Hofsäss Nano Lett. 2013 13 4902
41. H. G. Lee, Chemical thermodynamics for metals and materials, Imperial College Press, 1999, p. 283
42. C. E. Giusca S. J. Spencer A. G. Shard R. Yakimova O. Kazakov Carbon 2014 69 221
43. I. Calizo I. Bejenari M. Rahman G. Liu A. A. Balandin J. Appl. Phys. 2009 106 043509
44. J. Röhrl M. Hundhausen F. Speck Th. Seyller Mater. Sci. Forum 2010 645-648 603
45. A. Das S. Pisana B. Chakraborty S. Piscanec S. K. Saha U. V. Waghmare K. S. Novoselov H. R. Krishnamurthy A. K. Geim A. C. Ferrari A. K. Sood Nat. Nanotechnol. 2008 3 210
46. I. Gierz C. Riedl U. Starke C. R. Ast K. Kern Nano Lett. 2008 8 4603
47. J. Röhrl M. Hundhausen K. V. Emtsev Th. Seyller R. Graupner L. Ley Appl. Phys. Lett. 2008 92 201918
48. J. Tsurumi Y. Saito P. Verma Chem. Phys. Lett. 2013 557 114
49. Y. Hao Y. Wang L. Wang Z. Ni Z. Wang R. Wang C. K. Koo Z. Shen J. T. L. Thong Small 2010 6 195
50. A. H. Castro Neto F. Guinea N. M. R. Peres K. S. Novoselov A. K. Geim Rev. Mod. Phys. 2009 81 109
51. J. Baringhaus M. Ruan F. Edler A. Tejeda M. Sicot A. Taleb-Ibrahimi A. P. Li Z. Jiang E. H. Conrad C. Berger C. Tegenkamp W. A. de Heer Nature 2014 1
52. M. Y. Han J. C. Brant P. Kim Phys. Rev. Lett. 2010 104 056801
53. J. S. Moon D. Curtis M. Hu D. Wong C. McGuire P. M. Campbell G. Jernigan J. L. Tedesco B. VanMil R. Myers-Ward C. Eddy Jr. D. K. Gaskill IEEE Electron Device Lett. 2009 30 650
54. C. Dimitrakopoulos Y. M. Lin A. Grill D. B. Farmer M. Freitag Y. Sun S. J. Han Z. Chen K. A. Jenkins Y. Zhu Z. Liu T. J. McArdle J. A. Ott R. Wisnieff P. Avouris J. Vac. Sci. Technol., B 2010 28 985
55. T. Shen J. J. Gu M. Xu Y. Q. Wu M. L. Bolen M. A. Capano L. W. Engel P. D. Ye Appl. Phys. Lett. 2009 95 172105
56. S. Weingart C. Bock U. Kunze K. V. Emtsev Th. Seyller L. Ley Physica E 2010 42 687