In-situ characterization of aqueous-based hafnium oxide hydroxide sulfate thin films

Surface and Interface Analysis

Volumn 46, Issue 4, 2014, Pages 210-215

  Flynn, Brendan ^a   Kim, Daeho ^b   Clark, Benjamin L ^c   Telecky, Alan ^a   Arnadottir, Liney ^a   Szanyi, Janos ^b   Keszler, Douglas A ^a   Herman, Gregory S ^a  

^a OREGON STATE UNIVERSITY   (United States)

^b PACIFIC NORTHWEST NATIONAL LABORATORY   (United States)

^c Inpria Corporation   (United States)

Author keywords

amorphous metal oxide; aqueous based; HafSOx; TPD; XPS

Indexed keywords

CARBON DIOXIDE; CARBON FILMS; HAFNIUM OXIDES; METALS; OXIDE FILMS; OXIDES; SULFUR COMPOUNDS; THIN FILMS; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

AMORPHOUS METALS; ANNEALED SAMPLES; AQUEOUS BASED; DESORPTION RATE; HAFSOX; IN-SITU CHARACTERIZATION; PRECURSOR SOLUTIONS; TPD MEASUREMENTS;

TEMPERATURE PROGRAMMED DESORPTION;

EID: 84899465639     PISSN: 01422421     EISSN: 10969918     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/sia.5205     Document Type: Article

References (48)

1. J. T. Anderson, C. L. Munsee, C. M. Hung, T. M. Phung, G. S. Herman, D. C. Johnson, J. F. Wager, D. A. Keszler, Adv. Funct. Mater. 2007, 17, 2117.
2. D. A. Keszler, J. T. Anderson, S. T. Meyers, in Solution Processing of Inorganic Materials (Ed:, D. B. Mitzi,), Hoboken, New Jersey, 2009, pp. 109-129.
3. M. Alemayehu, J. E. Davis, M. Jackson, B. Lessig, L. Smith, J. D. Sumega, C. Knutson, M. Beekman, D. C. Johnson, D. A. Keszler, Solid State Sci. 2011, 13, 2037.
4. J. Stowers, D. A. Keszler, Microelectron Eng. 2009; 86, 730.
5. A. Telecky, P. Xie, J. Stowers, A. Grenville, B. Smith, D. A. Keszler, J. Vac. Sci. Technol. B 2010, 28 (6), C6S19.
6. M. Hino, S. Kobayashi, K. Arata, J. Amer. Chem. Soc. 1979, 1010, 6439.
7. M. Hino, K. Arata, J. C. S. Chem. Comm. 1980, 18, 851.
8. M. Hino, M. Kurashige, H. Matsuhashi, K. Arata, Thermochimica Acta 2006, 441, 35.
9. Y. Wang, K.-Y. Lee, S. Choi, J. Liu, L.-Q. Wang, C. H. F. Peden, Green Chem. 2007, 9, 540.
10. D. H. Kim, J. Szanyi, J. H. Kwak, X. Q. Wang, J. C. Hansen, M. Engelhard, C. H. F. Peden, J. Phys. Chem. C 2009, 113, 7336.
11. E. J. Eterigho, J. G. M. Lee, A. P. Harvey, Bioresource Tech. 2011, 102, 6313.
12. C. Breitkopf, ChemCatChem 2009, 1, 259.
13. L. K. Noda, N. S. Gonçalves, S. M. de Borba, J. A. Silveira, Vibration. Spec. 2007, 44, 101.
14. B. Azambre, L. Zenboury, J. V. Weber, P. Burg, Appl. Surf. Sci. 2010, 256, 4570
15. C. Breitkopf, H. Papp, X. Li, R. Olindo, J. A. Lercher, R. Lloyd, S. Wrabez, F. C. Jentoft, K. Meinel, S. Förster, K.-M. Schindler, H. Neddermeyer, W. Widdra, A. Hofmann, J. Sauer, Phys. Chem. Chem. Phys. 2007, 9, 3600.
16. R. Lloyd, T. W. Hansen, W. Ranke, F. C. Jentoft, R. Schlögl, Appl. Cat. A: Gen. 2011, 391, 215.
17. G. S. Herman, Y. J. Kim, S. A. Chambers, C. H. F. Peden, Langmuir 1999, 15 (11), 3993.
18. M. Engelhard, J. Herman, R. Wallace, D. Baer, Surf. Sci. Spectra 2012, 18, 46.
19. S. Suzer, S. Sayan, M. M. Banaszak Holl, E. Garfunkel, Z. Hussain, N. M. Hamdan, J. Vac. Sci. Technol. A 2003, 21, 106.
20. C. Morant, L. Galán, J. M. Sanz, Surf. Inter. Anal. 1990, 16, 304.
21. R. L. Miller, S. H. McKinney, A. R. Chourasia, Surf. Sci. Spectra 2008, 15, 59.
22. J. P. Lehan, Y. Mao, B. G. Bovard, H. A. Macleod, Thin Solid Films 1991, 250, 227.
23. Freeware available at http://www.phy.cuhk.edu.hk/~surface
24. H. Shimizu, T. Sato, S. Konagali, M. Ikeda, T. Takahashi, T. Nishide, Jpn. J. Appl. Phys. 2007, 46, 4209.
25. T. Gougousi, D. Niu, R. W. Ashcraft, G. N. Parsons, Appl. Phys. Lett. 2003, 83, 3543.
26. J. D. Baniecki, M. Ishii, K. Kurihara, K. Yamanaka, T. Yano, K. Shinozaki, T. Imada, Y. Kobayashi, J. App. Phys. 2009, 106, 054109.
27. S. Aukkaravittayapun, C. Thanachayanont, T. Theapsiri, W. Veerasai, Y. Sawada, T. Kondo, S. Tokiwa, T. Nishide, J. Therm. Anal. and Calor. 2006, 85, 811.
28. D. G. Castner, K. Hinds, D. W. Grainger, Langmuir 1996, 12, 5083.
29. T. M. Willey, A. L. Vance, T. van Buuren, C. Bostedt, L. J. Terminello, C. S. Fadley, Surf. Sci. 2005, 576, 188.
30. A. F. Lee, K. Wilson, A. Goldoni, R. Larciprete, S. Lizzit, Surf. Sci. 2002, 513, 140.
31. K. Ebitani, H. Konno, T. Tanka, H. Hattori, J. Catal. 1992, 135, 60.
32. D. Barreca, A. Milanov, R. A. Fischer, A. Devi, E. Tondello, Surf. Sci. Spectra 2007, 14, 34.
33. M. F. Al-Kuhaili, S. M. A. Durrani, E. E. Khawaja, J. Phys. D: Appl. Phys. 2004, 37, 1254.
34. J. C. C. Fan, J. B. Goodenough, J. Appl. Phys. 1977, 48, 3524.
35. S. Yamamoto, T. Kendelewicz, J. T. Newberg, G. Ketteler, D. E. Starr, E. R. Mysak, K. J. Andersson, H. Ogasawara, H. Bluhm, M. Salmeron, G. E. Brown, A. Nilsson, J. Phys. Chem. C 2010, 114, 2256.
36. L. E. Walle, A. Borg, E. M. J. Johansson, S. Plogmaker, H. Rensmo, P. Uvdal, A. Sandell, J. Phys. Chem. C 2011, 115, 9545.
37. S. Ardizzone, C. L. Bianchi, M. Signoretto, Appl. Surf. Sci. 1998, 136, 213.
38. Y. Liang, P. M. A. Sherwood, D. K. Paul, J. Chem. Soc. Faraday Trans. 1994, 90, 1271.
39. R. Nyholm, A. Berndtsson, N. Mårtensson, J. Phys. C. Solid St. Phys. 1980, 13, L1091.
40. C. L. Perkins, R. Singh, M. Trenary, T. Tanaka, Y. Paderno, Surf. Sci. 2001, 470, 215.
41. Z. J. Yan, R. Xu, Y. Y. Wang, S. Chen, Y. L. Fan, Z. M. Jiang, Appl. Phys. Lett. 2004, 85, 85.
42. D. Spielbauer, G. A. H. Mekhemer, M. I. Zaki, K. Knözinger, Catal. Lett. 1996, 40, 71.
43. M. A. Henderson, Langmuir 1996, 12, 5093.
44. M. A. Henderson, Surf. Sci. Rep. 2002, 46, 1.
45. G. S. Herman, Z. Dohnálek, N. Ruzycki, U. Diebold, J. Phys. Chem. B 2003, 107, 2788.
46. A. Hofmann, J. Sauer, J. Phys. Chem. B 2004, 108, 14652.
47. A. Gorski, V. Yurkiv, D. Starukhin, H.-R. Volpp, J. Power. Sources 2011, 196, 7188.
48. C.-W. Yi, J. Szanyi, J. Phys. Chem. C 2007, 111, 17597.