Facile fabrication of single-crystal-diamond nanostructures with ultrahigh aspect ratio

Advanced Materials

Volumn 25, Issue 29, 2013, Pages 3962-3967

  Tao, Ye ^a,b   Degen, Christian ^a  

^a ETH ZURICH   (Switzerland)

^b MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BATCH FABRICATION; DIAMOND MATERIALS; FACILE FABRICATION; NEMS DEVICES; ULTRAHIGH ASPECT RATIO;

MATERIALS SCIENCE; MECHANICAL PROPERTIES;

ASPECT RATIO;

DIAMOND; NANOMATERIAL;

ARTICLE; CHEMISTRY; CRYSTALLIZATION; EQUIPMENT; EQUIPMENT DESIGN; EQUIPMENT FAILURE; MATERIALS TESTING; METHODOLOGY; MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM; NANOTECHNOLOGY; PARTICLE SIZE; ULTRASTRUCTURE;

CRYSTALLIZATION; DIAMOND; EQUIPMENT DESIGN; EQUIPMENT FAILURE ANALYSIS; MATERIALS TESTING; MICRO-ELECTRICAL-MECHANICAL SYSTEMS; NANOSTRUCTURES; NANOTECHNOLOGY; PARTICLE SIZE;

EID: 84881148757     PISSN: 09359648     EISSN: 15214095     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.201301343     Document Type: Article

References (33)

1. V. Sazonova, Y. Yaish, H. Üstünel, D. Roundy, T. A. Arias, P. L. McEuen, Nature 2004, 431, 284.
2. X. Li, X. Wang, L. Zhang, S. Lee, H. Dai, Science 2008, 319, 1229.
3. L. C. Campos, V. R. Manfrinato, J. D. Sanchez-Yamagishi, J. K. P. Jarillo-Herrero, Nano Lett. 2009, 9, 2600.
4. S. M. Tanner, J. M. Gray, C. T. Rogers, K. A. Bertness, N. A. Sanford, Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 203117.
5. S. Perisanu, P. Vincent, A. Ayari, M. Choueib, S. T. Purcell, M. Bechelany, D. Cornu, Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 043113.
6. P. Olivero, S. Rubanov, P. Reichart, B. Gibson, S. Huntington, J. Rabeau, A. D. Green-tree, J. Salzman, D. Moore, D. Jamieson, S. Prawer, Diam. Relat. Mater. 2006, 15, 1614.
7. B. A. Fairchild, P. Olivero, S. Rubanov, A. D. Greentree, F. Waldermann, R. A. Taylor, I. Walmsley, J. M. Smith, S. Huntington, B. C. Gibson, D. N. Jamieson, S. Prawer, Adv. Mater. 2008, 20, 4793.
8. B. Z. Kupfer, R. K. Ahmad, A. Zainal, R. B. Jackman, Diam. Relat. Mater. 2010, 19, 742.
9. I. Aharonovich, J. C. Lee, A. P. Magyar, B. B. Buckley, C. G. Yale, D. D. Awschalom, E. L. Hu, Adv. Mater. 2012, 24, OP54.
10. D. Rugar, R. Budakian, J. H. Mamin, B. W. Chui, Nature 2004, 430, 329.
11. C. L. Degen, M. Poggio, H. J. Mamin, C. T. Rettner, D. Rugar, Proc. Nat. Acad. Sci. USA 2009, 106, 1313.
12. J. C. Sankey, C. Yang, B. M. Zwickl, A. M. Jayich, J. G. E. Harris, Nat. Phys. 2010, 6, 707.
13. I. Aharonovich, A. D. Greentree, S. Prawer, Nat. Photonics 2011, 5, 397.
14. C. L. Degen, Appl. Phys. Lett. 2008, 92, 3243111.
15. P. Maletinsky, S. Hong, M. S. Grinolds, B. Hausmann, M. D. Lukin, R. L. Walsworth, M. Loncar, A. Yacoby, Nat. Nanotechnol. 2012, 7, 320.
16. H. J. Mamin, M. Kim, M. H. Sherwood, C. T. Rettner, K. Ohno, D. D. Awschalom, D. Rugar, Science 2013, 92, 557.
17. T. Staudacher, F. Shi, S. Pezzagna, J. Meijer, J. Du, C. A. Meriles, F. Reinhard, J. Wrachtrup, Science 2013, 339, 561.
18. M. Liao, C. Li, S. Hishita, Y. J. Koide, Micromech. Microeng. 2010, 20, 085002.
19. M. K. Zalalutdinov, M. P. Ray, D. M. Photiadis, J. T. Robinson, J. W. Baldwin, J. E. But-ler, T. I. Feygelson, B. B. Pate, B. H. Houston, Nano Lett. 2011, 11, 4304.
20. M. J. Burek, N. P. de Leon, B. J. Shields, B. J. M. Hausmann, Y. Chu, Q. Quan, A. S. Zi-brov, H. Park, M. D. Lukin, M. Loncar, Nano Lett. 2012, 12, 6084.
21. K. D. Jahnke, B. Naydenov, T. Teraji, S. Koizumi, T. Umeda, J. Isoya, F. Jelezko, Appl. Phys. Lett. 2012, 101, 012405.
22. J. Riedrich-Möller, L. Kipfstuhl, C. Hepp, E. Neu, C. Pauly, F. Mücklich, A. Baur, M. Wandt, S. Wolff, M. Fischer, S. Gsell, M. Schreck, C. Becher, Nat. Nanotechnol. 2012, 7, 69.
23. A. Faraon, P. E. Barclay, C. Santori, K.-M. C. Fu, R. G. Beausoleil, Nat. Photonics 2011, 5, 301.
24. B. J. M. Hausmann, B. Shields, Q. Quan, P. Maletinsky, M. McCutcheon, J. T. Choy, T. M. Babinec, A. Kubanek, A. Yacoby, M. D. Lukin, M. Loncar, Nano Lett. 2012, 12, 1578.
25. Y. Tao, J. M. Boss, B. A. Moores, C. L. Degen, arXiv:1212.1347 2012.
26. N. Dubrovinskaia, S. Dub, L. Dubrovinsky, Nano Lett. 2006, 6, 824.
27. th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems 2003, 1120.
28. P. Ovartchaiyapong, L. M. A. Pascal, B. A. Myers, P. Lauria, A. C. B. Jayich, Appl. Phys. Lett. 2012, 101, 163505.
29. C. L. Lee, E. Gu, M. D. Dawson, I. Friel, G. A. Scarsbrook, Diam. Relat. Mat. 2008, 17, 1292-1296.
30. B. J. Hausmann, M. Khan, Y. Zhang, T. M. Babinec, K. Martinick, M. McCutcheon, P. R. Hemmer, M. Loncar, Diam. Relat. Mat. 2010, 19, 621-629.
31. A. Malavé, E. Oesterschulze, Rev. Sci. Instrum. 2006, 77, 043708.
32. C. Lee, E. Gu, M. Dawson, I. Friel, G. Scarsbrook, Diam. Relat. Mater. 2008, 17, 1292.
33. C. F. Wang, E. L. Hu, J. Yang, J. E. J. Butler, Vac. Sci. Technol. B 2007, 25, 730.