Chemical stability and electrical performance of dual-active-layered zinc-tin-oxide/indium-gallium-zinc-oxide thin-film transistors using a solution process

ACS Applied Materials and Interfaces

Volumn 5, Issue 13, 2013, Pages 6108-6112

  Kim, Chul Ho ^a   Rim, You Seung ^a   Kim, Hyun Jae ^a  

^a Yonsei University   (South Korea)

Author keywords

dual active layered zinc tin oxide indium gallium zinc oxide; etch stopper layer; self protection layer; thin film transistors; wet etch

Indexed keywords

ETCH-STOPPER-LAYER; SELF-PROTECTION LAYER; THIN-FILM TRANSISTOR (TFTS); WET-ETCH; ZINC-TIN-OXIDE (ZTO);

CHEMICAL STABILITY; ELECTRIC PROPERTIES; GALLIUM; SEMICONDUCTING ORGANIC COMPOUNDS; SEMICONDUCTOR DOPING; THIN FILM TRANSISTORS; TIN; ZINC;

TIN OXIDES;

EID: 84880061451     PISSN: 19448244     EISSN: 19448252     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/am400943z     Document Type: Article

References (33)

1. Nomura, K.; Ohta, H.; Takagi, A.; Kamiya, T.; Hirano, M.; Hosono, H. Nature 2004, 432, 488-491
2. Fortunato, E.; Barquinha, P.; Martins, R. Adv. Mater. 2012, 24, 2945-2986
3. Park, J. S.; Maeng, W. J.; Kim, H. S.; Park, J. S. Thin Solid Films 2012, 520, 1679-1693
4. Lim, W.; Jang, J. H.; Kim, S. H.; Norton, D. P.; Craciun, V.; Pearton, S. J.; Ren, F.; Shen, H. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 082102
5. Kamiya, T.; Nomura, K.; Hosono, H. Sci. Technol. Adv. Mater. 2010, 11, 044305
6. Kwon, J. Y.; Lee, D. J.; Kim, K. B. Electron Mater. Lett. 2011, 7, 1-11
7. Xu, H.; Lan, L.; Xu, M.; Zou, J.; Wang, L.; Wang, D.; Peng J. Appl. Phys. Lett. 2011, 99, 253501
8. Lee, S. H.; Seo, B. H.; Seo, J. H. J. Korean Phys. Soc. 2008, 53, 2603-2606
9. Ryu, S. H.; Park, Y. C.; Mativenga, M.; Kang, D. H.; Jang, J. Electrochem. Solid State Lett. 2012, 1, 17-19
10. Mativenga, M.; Choi, J. W.; Hur, J. H.; Kim, H. J.; Jang, J. J. Inf. Display 2011, 12, 47-50
11. Kim, M.; Jeong, J. H.; Lee, H. J.; Ahn, T. K.; Shin, H. S.; Park, J. S.; Jeong, J. K.; Mo, Y. G.; Kim, H. D. Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 212114
12. Jayaraj, M. K.; Saji, K. J.; Nomura, K.; Kamiya, T.; Hosono, H. J. Vac. Sci. Technol. B 2008, 26, 495-501
13. Tamai, T.; Ichinose, N.; Kawanishi, S.; Nishii, M.; Sasuga, T.; Hashida, I.; Mizuno, K. Chem. Mater. 1997, 9, 2674-2675
14. Bradshaw, G.; Hughes, A. J. Thin Solid Films 1976, 33, L5-L7
15. Kim, D. J.; Kim, D. L.; Rim, Y. S.; Kim, C. H.; Jeong, W. H.; Lim, H. S.; Kim, H. J. ACS Appl. Mater. Interfaces 2012, 4, 4001-4005
16. Lee, D. H.; Chang, Y. J.; Stickle, W.; Changa, C. H. Electrochem. Solid State Lett. 2007, 10, K51-K54
17. Cho, E. N.; Kang, J. H.; Yun, I. Microelectron. Reliab. 2011, 51, 1792-1795
18. Lee, S. Y.; Kim, D. H.; Chong, E.; Jeon, Y. W.; Kim, D. H. Appl. Phys. Lett. 2011, 98, 122105
19. Kim, S. J.; Lee, S. Y.; Lee, Y. W.; Lee, W. G.; Yoon, K. S.; Kwon, J. Y.; Han, M. K. Jpn. J. Appl. Phys. 2011, 50, 024104
20. Kwon, D. W.; Kim, J. H.; Chang, J. S.; Kim, S. W.; Kim, W. J. Appl. Phys. Lett. 2011, 98, 063502
21. Oh, H.; Park, S. H. K.; Hwang, C. S.; Yang, S.; Ryu, M. K. Appl. Phys. Lett. 2011, 99, 022105
22. Jeong, J. K.; Yang, H. W.; Jeong, J. H.; Mo, Y. G.; Kim, H. D. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 123508
23. Jeon, S.; Ahn, S.-E.; Song, I.; Kim, C. J.; Chung, U.-I.; Lee, E.; Yoo, I.; Nathan, A.; Lee, S.; Robertson, J.; Kim, K. Nat. Mater. 2012, 11, 301
24. Lopes, M. E; Gomes, H. L.; Medeiros, M. C. R.; Barquinha, P.; Pereira, L.; Fortunato, E.; Martins, R.; Ferreira, I. Appl. Phys. Lett. 2009, 95, 063502
25. Ghaffarzadeh, K.; Nathan, A.; Robertson, J.; Kim, S.; Jeon, S.; Kim, C.; Chung, U.-I.; Lee, J.-H. Appl. Phys. Lett. 2010, 97, 11350411-044305
26. Shigesato, Y.; Paine, D. C. Appl. Phys. Lett. 1993, 62, 1268-1270
27. Kim, H.; Gilmore, C. M. J. Appl. Phys. 1999, 86, 6451-6461
28. Tahar, R. B. H.; Ban, T.; Ohya, Y.; Takahashi, Y. J. Appl. Phys. 1998, 83, 2631-2645
29. Alam, M. J.; Cameron, D. C. Thin Solid Films 2002, 420, 76-82
30. Ilican, S.; Caglar, M.; Caglar, Y. Appl. Surf. Sci. 2010, 256, 7204-7210
31. Kim, J. K.; Kim, J. Y.; Han, S. C.; Kwak, J. S.; Kim, H. K.; Lee, J. M. J. Electrochem. Soc. 2010, 8, D462-D465
32. Murali, S. M.; Rajachidambaram, J. S.; Han, S. Y.; Chang, C. H.; Herman, G. S.; Conley, J. F., Jr. Solid-State Electron. 2013, 79, 248-252
33. Kim, J. I.; Ji, K. H.; Jung, H. Y.; Park, S. Y.; Choi, R.; Jang, M.; Yang, H.; Kim, D. H.; Bae, J. U.; Kim, C. D.; Jeong, J. K. Appl. Phys. Lett. 2011, 99, 122102