Generation of second harmonic radiation from sub-stoichiometric silicon nitride thin films

Applied Physics Letters

Volumn 102, Issue 14, 2013, Pages

  Francesco Pecora, Emanuele ^a   Capretti, Antonio ^a,b   Miano, Giovanni ^b   Dal Negro, Luca ^a,c  

^a Boston University   (United States)

^b UNIVERSITY OF NAPLES FEDERICO II   (Italy)

^c BOSTON UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

MATERIAL STOICHIOMETRY; NON-LINEAR SIGNAL PROCESSING; NONLINEAR OPTICAL DEVICES; SECOND-HARMONIC RADIATION; SENSING APPLICATIONS; SILICON NITRIDE THIN FILMS; SILICON-RICH SILICON NITRIDES; THERMAL-ANNEALING;

SIGNAL PROCESSING; SILICON NITRIDE; THIN FILMS;

SILICON;

EID: 84876369474     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.4801873     Document Type: Article

References (37)

1. R. L. Sutherland, Handbook of Nonlinear Optics (CRC Press, 2003).
2. J. Leuthold, C. Koos, and W. Freude, Nature Photon. 4, 535 (2010). 10.1038/nphoton.2010.185
3. M. A. Foster, A. C. Turner, J. E. Sharping, B. S. Schmidt, M. Lipson, and A. L. Gaeta, Nature 441, 960 (2006). 10.1038/nature04932
4. V. R. Almeida, C. A. Barrios, R. R. Panepucci, and M. Lipson, Nature 431, 1081 (2004). 10.1038/nature02921
5. A. M. Armani, R. P. Kulkarni, S. E. Fraser, R. C. Flagan, and K. J. Vahala, Science 317, 783 (2007). 10.1126/science.1145002
6. J. T. Robinson, L. Chen, and M. Lipson, Opt. Express 16, 4296 (2008). 10.1364/OE.16.004296
7. C. Koos, P. Vorreau, T. Vallaitis, P. Dumon, W. Bogaerts, R. Baets, B. Esembeson, I. Biaggio, T. Michinobu, and F. Diederich, Nature Photon. 3, 216 (2009). 10.1038/nphoton.2009.25
8. R. Schnabel, N. Mavalvala, D. E. McClelland, and P. K. Lam, Nat. Commun. 1, 121 (2010). 10.1038/ncomms1122
9. D. Guidotti and T. A. Driscoll, Nuovo Cimento 8D, 385 (1986) 10.1007/BF02450574.
10. S. V. Govorkov, V. I. Emelyanov, N. I. Koroteev, G. I. Petrov, I. L. Shumay, V. V. Yakovlev, and R. V. Khokhlov, J. Opt. Soc. Am. B 6, 1117 (1989). 10.1364/JOSAB.6.001117
11. J. Y. Huang, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 3878 (1994). 10.1143/JJAP.33.3878
12. M. Falasconi, L. C. Andreani, A. M. Malvezzi, M. Patrini, V. Mulloni, and L. Pavesi, Surf. Sci. 481, 105 (2001). 10.1016/S0039-6028(01)01004-4
13. J.-H. Zhao, Q. Chen, Z. Chen, G. Jia, W. Su, Y. Jiang, Z. Yan, T. V. Dolgova, O. A. Aktsipetrov, and H. Sun, Opt. Lett. 34, 3340 (2009). 10.1364/OL.34.003340
14. C. Schriever, C. Bohley, and R. B. Wehrspohn, Opt. Lett. 35, 273 (2010). 10.1364/OL.35.000273
15. S. A. Mitchell, M. Mehendale, D. M. Villeneuve, and R. Boukherroub, Surf. Sci. 448, 367 (2001). 10.1016/S0039-6028(01)01161-X
16. M. Cazzanelli, F. Bianco, E. Borga, G. Pucker, M. Ghulinyan, E. Degoli, E. Luppi, V. Veniard, S. Ossicini, D. Modotto, S. Wabnitz, R. Pierobon, and L. Pavesi, Nature Mater. 11, 148 (2012). 10.1038/nmat3200
17. J. S. Levy, M. A. Forster, A. L. Gaeta, and M. Lipson, Opt. Express 19, 11415 (2011). 10.1364/OE.19.011415
18. T. Ning, H. Pietarinen, O. Hyvarinen, J. Simonen, G. Genty, and M. Kauranen, Appl. Phys. Lett. 100, 161902 (2012). 10.1063/1.4704159
19. S. Yerci, R. Li, and L. Dal Negro, Appl. Phys. Lett. 97, 081109 (2010). 10.1063/1.3483771
20. Y. Gong, M. Makarova, S. Yerci, R. Li, M. J. Stevens, B. Baek, S. W. Nam, R. H. Hadfield, S. N. Dorenbos, and V. Zwiller, Opt. Express 18, 13863 (2010). 10.1364/OE.18.013863
21. S. Yerci, R. Li, O. Kucheyev, T. van Buuren, S. N. Basu, and L. Dal Negro, Appl. Phys. Lett. 95, 031107 (2009) 10.1063/1.3184790.
22. F. Iacona, C. Bongiorno, C. Spinella, S. Boninelli, and F. Priolo, J. Appl. Phys. 95, 3723 (2004). 10.1063/1.1664026
23. G. Franzò, S. Boninelli, D. Pacifici, F. Priolo, F. Iacona, and C. Bongiorno, Appl. Phys. Lett. 82, 3871 (2003). 10.1063/1.1579555
24. A. N. MacDonald, A. Hryciw, F. Lenz, and A. Meldrum, Appl. Phys. Lett. 89, 173132 (2006). 10.1063/1.2360897
25. G. Franzò, E. F. Pecora, F. Priolo, and F. Iacona, Appl. Phys. Lett. 90, 183102 (2007). 10.1063/1.2734505
26. R. Li, J. R. Schneck, J. Warga, L. D. Ziegler, and L. Dal Negro, Appl. Phys. Lett. 93, 091119 (2008). 10.1063/1.2978069
27. E. F. Pecora, T. I. Murphy, and L. Dal Negro, Appl. Phys. Lett. 101, 191115 (2012). 10.1063/1.4766947
28. S. Minissale, S. Yerci, and L. Dal Negro, Appl. Phys. Lett. 100, 021109 (2012). 10.1063/1.3675882
29. W. M. M. Kessels, J. J. H. Gielis, I. M. Aarts, C. M. Leewis, and M. C. M. van de Sanden, Appl. Phys. Lett. 85, 4049 (2004) 10.1063/1.1812836.
30. S. Lettieri, F. Merola, P. Maddalena, C. Ricciardi, and F. Giorgis, Appl. Phys. Lett. 90, 021919 (2007). 10.1063/1.2424661
31. S. Habermehl, J. Appl. Phys. 83, 4672 (1998). 10.1063/1.367253
32. J. H. Kim and K. W. Chung, J. Appl. Phys. 83, 5831 (1998). 10.1063/1.367440
33. V. M. Burlakov, G. A. D. Briggs, A. P. Sutton, A. Bongiorno, and A. Pasquarello, Phys. Rev. Lett. 93, 135501 (2004). 10.1103/PhysRevLett.93.135501
34. L. Dal Negro, R. Li, J. Warga, and S. N. Basu, Appl. Phys. Lett. 92, 181105 (2008). 10.1063/1.2920435
35. S. Yerci, R. Li, S. O. Kucheyev, T. van Buuren, S. N. Basu, and L. Dal Negro, IEEE J. Quantum Electron. 16, 114 (2010). 10.1109/JSTQE.2009.2032516
36. G. Franzò, M. Miritello, S. Boninelli, R. Lo Savio, M. G. Grimaldi, F. Priolo, F. Iacona, G. Nicotra, C. Spinella, and S. Coffa, J. Appl. Phys. 104, 094306 (2008). 10.1063/1.3006735
37. N. Bloembergen and P. S. Pershan, Phys. Rev. 128, 606 (1962). 10.1103/PhysRev.128.606