Interfacial properties of silicon nitride grown on epitaxial graphene on 6H-SiC substrate

Journal of Physical Chemistry C

Volumn 116, Issue 42, 2012, Pages 22315-22318

  Yang, M ^a   Chai, J W ^b   Wang, Y Z ^a   Wang, S J ^b   Feng, Y P ^a  

^a NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE   (Singapore)

^b INSTITUTE OF MATERIALS RESEARCH AND ENGINEERING   (Singapore)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BARRIER HEIGHTS; ELECTRONIC DEVICE; EPITAXIAL GRAPHENE; FIRST-PRINCIPLES CALCULATION; IN-SITU; INTERFACIAL PROPERTY; SIC SUBSTRATES; THERMALLY STABLE; UNIFORM COVERAGE; X RAY PHOTOEMISSION SPECTROSCOPY;

CALCULATIONS; EPITAXIAL GROWTH; GRAPHENE; HETEROJUNCTIONS; PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY; SILICON CARBIDE; SILICON NITRIDE; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

SILICON;

EID: 84867885682     PISSN: 19327447     EISSN: 19327455     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp304054u     Document Type: Article

References (33)

1. Novoselov, K.; Geim, A.; Morozov, S.; Jiang, D.; Zhang, Y.; Dubonos, S.; Grigorieva, I.; Firsov, A. Science 2004, 306, 666-669
2. Castro Neto, A. H.; Guinea, F.; Peres, N. M. R.; Novoselov, K. S.; Geim, A. K. Rev. Mod. Phys. 2009, 81, 109-162
3. Novoselov, K.; Geim, A.; Morozov, S.; Jiang, D.; Katsnelson, M.; Grigorieva, I.; Dubonos, S.; Firsov, A. Nature 2005, 438, 197-200
4. Geim, A. K.; Novoselov, K. S. Nat. Mater. 2007, 6, 183-191
5. Nomura, K.; MacDonald, A. Phys. Rev. Lett. 2006, 96, 256602-256605
6. Chen, J. H.; Jang, C.; Adam, S.; Fuhrer, M. S.; Williams, E. D.; Ishigami, M. Nat. Phys. 2008, 4, 377-381
7. Zhou, S. Y.; Gweon, G.-H.; Fedorov, A. V.; First, P. N.; De Heer, W. A.; Lee, D.-H.; Guinea, F.; Neto, A. H. C.; Lanzara, A. Nat. Mater. 2007, 6, 770-775
8. Liao, L.; Bai, J.; Cheng, R.; Lin, Y.-C.; Jiang, S.; Huang, Y.; Duan, X. Nano Lett. 2010, 10, 1917-1921
9. Chen, Q.; Huang, H.; Chen, W.; Wee, A. T. S.; Feng, Y. P.; Chai, J. W.; Zhang, Z.; Pan, J. S.; Wang, S. J. Appl. Phys. Lett. 2010, 96, 072111-072113
10. Liao, L.; Bai, J.; Lin, Y.-C.; Qu, Y.; Huang, Y.; Duan, X. Adv. Mater. 2010, 22, 1941-1945
11. Liao, L.; Bai, J.; Qu, Y.; Lin, Y.-C.; Li, Y.; Huang, Y.; Duan, X. Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 2010, 107, 6711-6715
12. Wang, Z.; Xu, H.; Zhang, Z.; Wang, S.; Ding, L.; Zeng, Q.; Yang, L.; Pei, T.; Liang, X.; Gao, M.; Peng, L.-M. Nano Lett. 2010, 10, 2024-2027
13. Ma, T. IEEE Trans. Electron. Dev. 1998, 45, 680-690
14. Wang, X.; Zhai, G.; Yang, J.; Cue, N. Phys. Rev. B 1999, 60, R2146-R2149
15. Yang, M.; Wang, S. J.; Feng, Y. P.; Peng, G. W.; Sun, Y. Y. J. Appl. Phys. 2007, 102, 013507-013512
16. Yang, M.; Wu, R. Q.; Deng, W. S.; Shen, L.; Sha, Z. D.; Cai, Y. Q.; Feng, Y. P.; Wang, S. J. J. Appl. Phys. 2009, 105, 024108-024112
17. Yang, M.; Zhang, C.; Wang, S. J.; Feng, Y. P.; Ariando AIP Adv. 2011, 1, 032111-032114
18. Min, S. K.; Kim, W. Y.; Cho, Y.; Kim, K. S. Nat. Nanotechnol. 2011, 6, 162-165
19. Zhu, W.; Neumayer, D.; Perebeinos, V.; Avouris, P. Nano Lett. 2010, 10, 3572-3576
20. Kresse, G.; Hafner, J. Phys. Rev. B 1993, 47, 558-561
21. Kresse, G.; Hafner, J. Phys. Rev. B 1994, 49, 14251-14269
22. Blochl, P. Phys. Rev. B 1994, 50, 17953-17979
23. Grimme, S. J. Comput. Chem. 2006, 27, 1787-1799
24. Henkelman, G.; Arnaldsson, A.; Jonsson, H. Comput. Mater. Sci. 2006, 36, 354-360
25. Seyller, T.; Emtsev, K.; Speck, F.; Gao, K.; Ley, L. Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 242103-242105
26. Ferrari, A. C.; Meyer, J. C.; Scardaci, V.; Casiraghi, C.; Lazzeri, M.; Mauri, F.; Piscanec, S.; Jiang, D.; Novoselov, K. S.; Roth, S.; Geim, A. K. Phys. Rev. Lett. 2006, 97, 187401-187404
27. Ni, Z. H.; Wang, H. M.; Kasim, J.; Fan, H. M.; Yu, T.; Wu, Y. H.; Feng, Y. P.; Shen, Z. X. Nano Lett. 2007, 7, 2758-2763
28. Chai, J. W.; Pan, J. S.; Zhang, Z.; Wang, S. J.; Chen, Q.; Huan, C. H. A. Appl. Phys. Lett. 2008, 92, 092119-092121
29. Chambers, S.; Droubay, T.; Kaspar, T.; Gutowski, M. J. Vac. Sci. Technol., B 2004, 22, 2205-2215
30. Yang, M.; Peng, G. W.; Wu, R. Q.; Deng, W. S.; Shen, L.; Chen, Q.; Feng, Y. P.; Chai, J. W.; Pan, J. S.; Wang, S. J. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 222907-222909
31. Kraut, E. A.; Grant, R. W.; Waldrop, J. R.; Kowalczyk, S. P. Phys. Rev. Lett. 1980, 44, 1620-1623
32. Jung, R.; Lee, J.; Orosz, G.; Sulyok, A.; Zsolt, G.; Menyhard, M. Surf. Sci. 2003, 543, 153-161
33. Robertson, J.; Falabretti, B. Mater. Sci. Eng., B 2006, 135, 267-271