Ion-beam induced surface roughening of poly-(methyl methacrylate) (PMMA) tuned by a mixture of Ar and O 2 Ions

Plasma Processes and Polymers

Volumn 9, Issue 10, 2012, Pages 975-983

  Dai, Wei ^a   Ko, Tae Jun ^a,b   Oh, Kyu Hwan ^b   Lee, Kwang Ryeol ^a   Moon, Myoung Woon ^a  

^a Korea Institute of Science and Technology   (South Korea)

^b Seoul National University   (South Korea)

Author keywords

amorphous carbon; nanopatterns; PMMA; polymer treatments; surface roughness

Indexed keywords

AMORPHOUS CARBON LAYER; ESTER GROUPS; ETCH RESISTANCE; ION BEAM SOURCE; METHYL METHACRYLATES; NANO PATTERN; PMMA; POLYMER MOBILITY; POLYMER TREATMENT; SURFACE-ROUGHENING;

AMORPHOUS CARBON; CROSSLINKING; ESTERS; ION BEAMS; SURFACE ROUGHNESS;

AGGLOMERATION;

EID: 84867568753     PISSN: 16128850     EISSN: 16128869     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/ppap.201200037     Document Type: Article

References (34)

1. C. Ozcan, N. Hasirci, J. Biomater. Sci., Polym. Ed. 2007, 18, 759.
2. J. B. Lhoest, J. L. Dewez, P. Bertrand, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 1995, 105, 322.
3. U. Schulz, P. Munzert, N. J. Kaiser, Surf. Coat. Technol. 2001, 142/144, 507.
4. M. Yoshinari, T. Kato, K. Matsuzaka, T. Hayakawa, T. Inoue, Y. Oda, M. Shimono, J. Biomed. Mater. Res., B Appl. Biomater. 2006, 77, 47.
5. U. Schulz, P. Munzert, N. Kaiser, J. Adhes. Sci. Technol. 2010, 24, 1283.
6. A. Kaless, U. Schulz, P. Munzert, N. Kaiser, Surf. Coat. Technol. 2005, 200, 58.
7. K. Tsougeni, A. Tserepi, V. Constantoudis, E. Gogolides, Langmuir 2010, 26, 13883.
8. M. W. Moon, S. H. Lee, J. Y. Sun, K. H. Oh, A. Vaziri, J. W. Hutchinson, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 2007, 104, 1130.
9. E. K. Her, H. S. Chung, M. W. Moon, K. H. Oh, Nanotechnology 2009, 20, 285301.
10. S. F. Ahmed, K. R. Lee, J. Yoon, M. W. Moon, Appl. Surf. Sci. 2012, 258, 3841.
11. B. Shin, K. R. Lee, M. W. Moon, H. Y. Kim, Soft Matter 2012, 8, 1817.
12. T. Y. Chung, D. Nest, D. B. Graves, F. Weilnboeck, R. L. Bruce, G. S. Oehrlein, D. Wang, M. Li, E. A. Hudson, J. Phys. D: Appl. Phys. 2010, 43, 272001.
13. M. C. Coen, R. Lehmann, P. Groening, L. Schlapbach, Appl. Surf. Sci. 2003, 207, 276.
14. Y. Ting, C. Liu, S. Park, H. Jiang, P. F. Nealey, A. E. Wendt, Polymer 2010, 2, 649.
15. T. Yoshimura, H. Shiraishi, J. Yamamoto, T. Terasawa, Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 1799.
16. J. Chai, F. Lu, B. Li, D. Kwok, Langmuir 2004, 20, 10919.
17. P. Gröning, O. M. Küttel, M. Collaud-Coen, G. Dietler, L. Schlapbach, Appl. Surf. Sci. 1995, 89, 83.
18. P. Gröning, M. Collaud, G. Dietler, L. Schlapbach, J. Appl. Phys. 1994, 76, 887.
19. A. Anders, Surf. Coat. Technol. 2005, 200, 1893.
20. R. K. Roy, S. K. F. Ahmed, J. W. Yi, M. W. Moon, K. R. Lee, Y. Jun, Vacuum 2009, 83, 1179.
21. S. F. Ahmed, J. W. Yi, M. W. Moon, Y. J. Jang, B. H. Park, S. H. Lee, K. R. Lee, Plasma Process. Polym. 2009, 6, 860.
22. H.-S. Zhang, J. L. Endrino, A. Anders, Appl. Surf. Sci. 2008, 255, 2551.
23. S. W. Rosencrance, W. K. Way, N. Winograd, D. A. Shirley, Surf. Sci. Spectra 1993, 2, 71.
24. S. Massey, D. Roy, A. Adnot, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2003, 208, 236.
25. S. Ben Amor, G. Baud, M. Jacquet, G. Nansé, P. Fioux, M. Nardin, Appl. Surf. Sci. 2000, 153, 172.
26. R. Nathawat, A. Kumar, N. K. Acharya, Y. K. Vijay, Surf. Coat. Technol. 2009, 203, 2600.
27. J. Robertson, Mater. Sci. Eng., R 2002, 37, 129.
28. C. Casiraghi, A. C. Ferrari, J. Robertson, Phys. Rev. B 2005, 72, 085401.
29. W. Dai, G. Wu, A. Wang, Diamond Relat. Mater. 2010, 19, 1307.
30. J. J. Végh, D. Nest, D. B. Graves, R. Bruce, S. Engelmann, T. Kwon, R. J. Phaneuf, G. S. Oehrlein, B. K. Long, C. G. Willson, J. Appl. Phys. 2008, 104, 034308.
31. B. K. Gan, M. M. M. Bilek, A. Kondyurin, K. Mizuno, D. R. McKenzie, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2006, 247, 254.
32. E. Pargon, K. Menguelti, M. Martin, A. Bazin, O. Chaix-Pluchery, C. Sourd, S. Derrough, T. Lill, O. Joubert, J. Appl. Phys. 2009, 105, 094902.
33. S. F. Tead, W. E. Vanderlinde, G. Marra, A. L. Ruoff, E. J. Kramer, F. D. Egitto, J. Appl. Phys. 1990, 68, 2972.
34. A. Kondyurin, M. Bilek, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2011, 269, 1361.