Nanoscale distortions of Si quantum wells in Si/SiGe quantum-electronic heterostructures

Advanced Materials

Volumn 24, Issue 38, 2012, Pages 5217-5221

  Evans, P G ^a   Savage, D E ^a   Prance, J R ^a   Simmons, C B ^a   Lagally, M G ^a   Coppersmith, S N ^a   Eriksson, M A ^a   Schulli T U ^b  

^a UNIVERSITY OF WISCONSIN MADISON   (United States)

^b EUROPEAN SYNCHROTRON RADIATION FACILITY   (France)

Author keywords

Si SiGe strained quantum wells; structural distortions; synchrotron X ray nanodiffraction; thickness and strain variations

Indexed keywords

CRYSTALLOGRAPHIC PARAMETERS; NANO SCALE; RELAXED SIGE; SI/SIGE; STRAIN VARIATION; STRAINED QUANTUM WELLS; STRUCTURAL DISTORTIONS; SYNCHROTRON X RAYS;

SILICON;

SEMICONDUCTOR QUANTUM WELLS;

GERMANIUM; QUANTUM DOT; SILICON;

ARTICLE; CHEMISTRY; ELECTRONICS; QUANTUM THEORY; X RAY DIFFRACTION;

ELECTRONICS; GERMANIUM; QUANTUM DOTS; QUANTUM THEORY; SILICON; X-RAY DIFFRACTION;

EID: 84867037588     PISSN: 09359648     EISSN: 15214095     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.201201833     Document Type: Article

References (29)

1. F. Schaffler, Semicond. Sci. Technol. 1997, 12, 1515.
2. M. Friesen, P. Rugheimer, D. E. Savage, M. G. Lagally, D. W. van der Weide, R. Joynt, M. A. Eriksson, Phys. Rev. B: Condens. Matter 2003, 67, 121301.
3. A. Morello, J. J. Pla, F. A. Zwanenburg, K. W. Chan, K. Y. Tan, H. Huebl, M. Mottonen, C. D. Nugroho, C. Y. Yang, J. A. van Donkelaar, A. D. C. Alves, D. N. Jamieson, C. C. Escott, L. C. L. Hollenberg, R. G. Clark, A. S. Dzurak, Nature 2010, 467, 687.
4. J. J. L. Morton, D. R. McCamey, M. A. Eriksson, S. A. Lyon, Nature 2011, 479, 345.
5. B. M. Maune, M. G. Borselli, B. Huang, T. D. Ladd, P. W. Deelman, K. S. Holabird, A. A. Kiselev, I. Alvarado-Rodriguez, R. S. Ross, A. E. Schmitz, M. Sokolich, C. A. Watson, M. F. Gyure, A. T. Hunter, Nature 2012, 481, 344.
6. P. M. Mooney, J. O. Chu, Annu. Rev. Mater. Sci. 2000, 30, 335.
7. S. Goswami, K. A. Slinker, M. Friesen, L. M. McGuire, J. L. Truitt, C. Tahan, L. J. Klein, J. O. Chu, P. M. Mooney, D. W. van der Weide, R. Joynt, S. N. Coppersmith, M. A. Eriksson, Nature Phys. 2007, 3, 41.
8. M. Friesen, M. A. Eriksson, S. N. Coppersmith, Appl. Phys. Lett. 2006, 89, 202106.
9. M. Friesen, S. N. Coppersmith, Phys. Rev. B: Condens. Matter 2010, 81, 115324.
10. M. G. Borselli, R. S. Ross, A. A. Kiselev, E. T. Croke, K. S. Holabird, P. W. Deelman, L. D. Warren, I. Alvarado-Rodriguez, I. Milosavljevic, F. C. Ku, W. S. Wong, A. E. Schmitz, M. Sokolich, M. F. Gyure, A. T. Hunter, Appl. Phys. Lett. 2011, 98, 123118.
11. R. L. Willett, J. W. P. Hsu, D. Natelson, K. W. West, L. N. Pfeiffer, Phys. Rev. Lett. 2001, 87, 126803.
12. R. M. Feenstra, M. A. Lutz, F. Stern, K. Ismail, P. M. Mooney, F. K. Legoues, C. Stanis, J. O. Chu, B. S. Meyerson, J. Vac. Sci. Technol. B 1995, 13, 1608.
13. I. H. Chan, R. M. Clarke, C. M. Marcus, K. Campman, A. C. Gossard, Phys. Rev. Lett. 1995, 74, 3876.
14. J. A. Folk, S. R. Patel, S. F. Godijn, A. G. Huibers, S. M. Cronenwett, C. M. Marcus, K. Campman, A. C. Gossard, Phys. Rev. Lett. 1996, 76, 1699.
15. S. Amasha, K. MacLean, I. P. Radu, D. M. Zumbuehl, M. A. Kastner, M. P. Hanson, A. C. Gossard, Phys. Rev. Lett. 2008, 100, 046803.
16. Z. Shi, C. B. Simmons, J. R. Prance, J. K. Gamble, M. Friesen, D. E. Savage, M. G. Lagally, S. N. Coppersmith, M. A. Eriksson, Appl. Phys. Lett. 2011, 99, 233108.
17. J. M. Hartmann, A. Abbadie, D. Rouchon, M. Mermoux, T. Billon, Semicond. Sci. Technol. 2007, 22, 362.
18. D. Kamburov, H. Shapourian, M. Shayegan, L. N. Pfeiffer, K. W. West, K. W. Baldwin, R. Winkler, Phys. Rev. B: Condens. Matter 2012, 85, 121305.
19. D. E. Eastman, C. B. Stagarescu, G. Xu, P. M. Mooney, J. L. Jordan-Sweet, B. Lai, Z. Cai, Phys. Rev. Lett. 2002, 88, 156101.
20. S. Mochizuki, A. Sakai, N. Taoka, O. Nakatsuka, S. Takeda, S. Kimura, M. Ogawa, S. Zaima, Thin Solid Films 2006, 508, 128.
21. K. Sawano, S. Koh, Y. Shiraki, Y. Hirose, T. Hattori, K. Nakagawa, Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 412.
22. P. G. Evans, P. P. Rugheimer, M. G. Lagally, C. H. Lee, A. Lal, Y. Xiao, B. Lai, Z. Cai, J. Appl. Phys. 2005, 97, 103501.
23. C. B. Simmons, J. R. Prance, B. J. Van Bael, T. S. Koh, Z. Shi, D. E. Savage, M. G. Lagally, R. Joynt, M. Friesen, S. N. Coppersmith, M. A. Eriksson, Phys. Rev. Lett. 2011, 106, 156804.
24. C. Teichert, Phys. Rep. 2002, 365, 335.
25. J. Tersoff, Y. H. Phang, Z. Y. Zhang, M. G. Lagally, Phys. Rev. Lett. 1995, 75, 2730.
26. M. Friesen, S. Chutia, C. Tahan, S. N. Coppersmith, Phys. Rev. B: Condens. Matter 2007, 75, 115318.
27. L. M. McGuire, M. Friesen, K. A. Slinker, S. N. Coppersmith, M. A. Eriksson, New J. Phys. 2010, 12, 033039.
28. C. E. Murray, K. L. Saenger, O. Kalenci, S. M. Polvino, I. C. Noyan, B. Lai, Z. Cai, J. Appl. Phys. 2008, 104, 013530.
29. Y. Hu, F. Kuemmeth, C. M. Lieber, C. M. Marcus, Nature Nanotechnol. 2012, 7, 47.