Nanotransfer printing with sub-10 nm resolution realized using directed self-assembly

Advanced Materials

Volumn 24, Issue 26, 2012, Pages 3526-3531

  Jeong, Jae Won ^a   Park, Woon Ik ^a   Do, Lee Mi ^b   Park, Jong Hyun ^c   Kim, Tae Heon ^c   Chae, Geesung ^c   Jung, Yeon Sik ^a  

^a Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST)   (South Korea)

^b Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI)   (South Korea)

^c LG Display Co Ltd   (South Korea)

Author keywords

block copolymers; nanotransfer printing; polydimethylsiloxane; self assembly; soft lithography

Indexed keywords

BLOCK COPOLYMER THIN FILMS; DIRECTED SELF-ASSEMBLY; FABRICATION METHOD; FUNCTIONAL NANOSTRUCTURES; NANOTRANSFER PRINTING; NM RESOLUTION; NON-PLANAR SUBSTRATES; PDMS MOLDS; POLYDIMETHYLSILOXANE PDMS; PRE-TREATMENTS; PRINTING METHOD; SOFT LITHOGRAPHY; WELL-ALIGNED;

BLOCK COPOLYMERS; LITHOGRAPHY; MICROCHANNELS; POLYDIMETHYLSILOXANE; POLYMERS; PRINTING; SELF ASSEMBLY;

SILICONES;

NANOMATERIAL; POLYMER;

ARTICLE; CHEMISTRY; METHODOLOGY; NANOTECHNOLOGY; OXIDATION REDUCTION REACTION; PRINTING;

NANOSTRUCTURES; NANOTECHNOLOGY; OXIDATION-REDUCTION; POLYMERS; PRINTING;

EID: 84863712046     PISSN: 09359648     EISSN: 15214095     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.201200356     Document Type: Article

References (44)

1. Y. N. Xia, G. M. Whitesides, Ann. Rev. Mater. Sci. 1998, 28, 153.
2. Y. N. Xia, G. M. Whitesides, Angew. Chem. Int. Ed. 1998, 37, 551.
3. G. M. Whitesides, E. Ostuni, S. Takayama, X. Y. Jiang, D. E. Ingber, Ann. Rev. Biomed. Eng. 2001, 3, 335.
4. A. Kumar, G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 2002.
5. E. Kim, Y. N. Xia, G. M. Whitesides, Nature 1995, 376, 581.
6. Y. N. Xia, E. Kim, X. M. Zhao, J. A. Rogers, M. Prentiss, G. M. Whitesides, Science 1996, 273, 347.
7. E. Kim, Y. N. Xia, X. M. Zhao, G. M. Whitesides, Adv. Mater. 1997, 9, 651.
8. W. R. Childs, R. G. Nuzzo, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 13583.
9. Y. L. Loo, D. V. Lang, J. A. Rogers, J. W. P. Hsu, Nano Lett. 2003, 3, 913.
10. B. D. Gates, Q. B. Xu, M. Stewart, D. Ryan, C. G. Willson, G. M. Whitesides, Chem. Rev. 2005, 105, 1171.
11. J. Zaumseil, M. A. Meitl, J. W. P. Hsu, B. R. Acharya, K. W. Baldwin, Y. L. Loo, J. A. Rogers, Nano Lett. 2003, 3, 1223.
12. M. J. Hampton, S. S. Williams, Z. Zhou, J. Nunes, D.-H. Ko, J. L. Templeton, E. T. Samulski, J. M. DeSimone, Adv. Mater. 2008, 20, 2667.
13. J. D. Bass, C. D. Schaper, C. T. Rettner, N. Arellano, F. H. Alharbi, R. D. Miller, H.-C. Kim, ACS Nano 2011, 5, 4065.
14. J. K. Hwang, S. Cho, J. M. Dang, E. B. Kwak, K. Song, J. Moon, M. M. Sung, Nat. Nanotechnol. 2010, 5, 742.
15. S. S. Williams, S. Retterer, R. Lopez, R. Ruiz, E. T. Samulski, J. M. DeSimone, Nano Lett. 2010, 10, 1421.
16. X. Liang, Y.-S. Jung, S. Wu, A. Ismach, D. L. Olynick, S. Cabrini, J. Bokor, Nano Lett. 2010, 10, 2454.
17. S. M. Park, X. G. Liang, B. D. Harteneck, T. E. Pick, N. Hiroshiba, Y. Wu, B. A. Helms, D. L. Olynick, Acs Nano 2011, 5, 8523.
18. C. T. Black, O. Bezencenet, IEEE Trans. Nanotechnol. 2004, 3, 412.
19. J. Y. Cheng, A. M. Mayes, C. A. Ross, Nat. Mater. 2004, 3, 823.
20. M. P. Stoykovich, M. Muller, S. O. Kim, H. H. Solak, E. W. Edwards, J. J. de Pablo, P. F. Nealey, Science 2005, 308, 1442.
21. J. Y. Cheng, C. A. Ross, H. I. Smith, E. L. Thomas, Adv. Mater. 2006, 18, 2505.
22. S. B. Darling, Progr. Polym. Sci. 2007, 32, 1152.
23. I. Bita, J. K. W. Yang, Y. S. Jung, C. A. Ross, E. L. Thomas, K. K. Berggren, Science 2008, 321, 939.
24. L. Leibler, Macromolecules 1980, 13, 1602.
25. F. S. Bates, G. H. Fredrickson, Ann. Rev. Phys. Chem. 1990, 41, 525.
26. J. Y. Cheng, C. T. Rettner, D. P. Sanders, H. C. Kim, W. D. Hinsberg, Adv. Mater. 2008, 20, 3155.
27. R. Ruiz, H. M. Kang, F. A. Detcheverry, E. Dobisz, D. S. Kercher, T. R. Albrecht, J. J. de Pablo, P. F. Nealey, Science 2008, 321, 936.
28. S. J. Jeong, J. E. Kim, H. S. Moon, B. H. Kim, S. M. Kim, J. B. Kim, S. O. Kim, Nano Lett. 2009, 9, 2300.
29. Y. S. Jung, J. B. Chang, E. Verploegen, K. K. Berggren, C. A. Ross, Nano Lett. 2010, 10, 1000.
30. J. Y. Cheng, C. A. Ross, V. Z. H. Chan, E. L. Thomas, R. G. H. Lammertink, G. J. Vancso, Adv. Mater. 2001, 13, 1174.
31. C. T. Black, Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 163116.
32. C. T. Black, R. Ruiz, G. Breyta, J. Y. Cheng, M. E. Colburn, K. W. Guarini, H. C. Kim, Y. Zhang, IBM J. Res. Development 2007, 51, 605.
33. Y. S. Jung, W. Jung, C. A. Ross, Nano Lett. 2008, 8, 2975.
34. Y. S. Jung, W. Jung, H. L. Tuller, C. A. Ross, Nano Lett. 2008, 8, 3776.
35. S. Park, D. H. Lee, J. Xu, B. Kim, S. W. Hong, U. Jeong, T. Xu, T. P. Russell, Science 2009, 323, 1030.
36. J. W. Jeong, W. I. Park, M.-J. Kim, C. A. Ross, Y. S. Jung, Nano Lett. 2011, 11, 4095.
37. M. Takenaka, S. Aburaya, S. Akasaka, H. Hasegawa, N. Hadjichristidis, G. Sakellariou, Y. Tada, H. Yoshida, J. Polym. Sci. Pt. B-Polym. Phys. 2010, 48, 2297.
38. Y. S. Jung, C. A. Ross, Small 2009, 5, 1654.
39. C. A. Ross, Y. S. Jung, V. P. Chuang, F. Ilievski, J. K. W. Yang, I. Bita, E. L. Thomas, H. I. Smith, K. K. Berggren, G. J. Vancso, J. Y. Cheng, J.Vacuum Sci. Technol. B 2008, 26, 2489.
40. Physical Properties of Polymers Handbook (Ed:, J. E. Mark,), AIP Press, New York 1996.
41. H. H. Lee, E. Menard, N. G. Tassi, J. A. Rogers, G. B. Blanchet, Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part N: J. Nanoengin. Nanosyst. 2004, 218, 1.
42. Y. S. Jung, J. H. Lee, J. Y. Lee, C. A. Ross, Nano Lett. 2010, 10, 3722.
43. D. Chanda, K. Shigeta, S. Gupta, T. Cain, A. Carlson, A. Mihi, A. J. Baca, G. R. Bogart, P. Braun, J. A. Rogers, Nat. Nanotechnol. 2011, 6, 402.
44. K. Hur, Y. Francescato, V. Giannini, S. A. Maier, R. G. Hennig, U. Wiesner, Angew. Chem. Int. Ed. 2011, 50, 11985.