SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Volumn 22, Issue 4, 2012, Pages 1347-1351

Large-area, scalable fabrication of conical TiN/GST/TiN nanoarray for low-power phase change memory

(12) Yoon, Jong Moon a Jeong, Hu Young b Hong, Sung Hoon c Yin, You d Moon, Hyoung Seok a Jeong, Seong Jun e Han, Jun Hee a Kim, Yong In a Kim, Yong Tae f Lee, Heon c Kim, Sang Ouk a Lee, Jeong Yong a

a Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST) (South Korea)

b Ulsan National Institute of Science and Technology (South Korea)

c Korea University (South Korea)

d GUNMA UNIVERSITY (Japan)

e University of California Berkeley (United States)

f Korea Institute of Science and Technology (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AERIAL ARRAYS; BLOCK COPOLYMER LITHOGRAPHY; CELL DIMENSIONS; DEVICE OPERATIONS; LOW POWER; LOW RESET CURRENTS; LOW-POWER CONSUMPTION; NANO SCALE; NANOARRAYS; PHASE CHANGE MEMORY CELLS; RESET CURRENTS; RESET PULSE; SET OPERATION; THRESHOLD SWITCHING; ULTRAHIGH DENSITY;

BLOCK COPOLYMERS; CELLS; SEMICONDUCTOR STORAGE; TITANIUM NITRIDE;

PHASE CHANGE MEMORY;

EID: 84855398683 PISSN: 09599428 EISSN: 13645501 Source Type: Journal
DOI: 10.1039/c1jm14190b Document Type: Article

Times cited : (11)

References (35)

1
- 35748985544
- M. Wuttig N. Yamada Nat. Mater. 2007 6 824
- (2007) Nat. Mater. , vol.6 , pp. 824
- Wuttig, M.¹ Yamada, N.²

2
- 75649111548
- S. Raoux W. Welnic D. Ielmini Chem. Rev. 2010 110 240
- (2010) Chem. Rev. , vol.110 , pp. 240
- Raoux, S.¹ Welnic, W.² Ielmini, D.³

3
- 5444235653
- A. V. Kolobov P. Fons A. I. Frenkel A. L. Ankudinov J. Tominaga T. Uruga Nat. Mater. 2004 3 703
- (2004) Nat. Mater. , vol.3 , pp. 703
- Kolobov, A.V.¹ Fons, P.² Frenkel, A.I.³ Ankudinov, A.L.⁴ Tominaga, J.⁵ Uruga, T.⁶

4
- 76749102019
- J.-K. Ahn K.-W. Park H.-J. Jung S.-G. Yoon Nano Lett. 2010 10 472
- (2010) Nano Lett. , vol.10 , pp. 472
- Ahn, J.-K.¹ Park, K.-W.² Jung, H.-J.³ Yoon, S.-G.⁴

5
- 42549141873
- J. Hegedus S. R. Elliott Nat. Mater. 2008 7 399
- (2008) Nat. Mater. , vol.7 , pp. 399
- Hegedus, J.¹ Elliott, S.R.²

6
- 11144230051
- A. Pirovano A. Redaelli F. Pellizzer F. Ottogalli M. Tosi D. Ielmini A. L. Lacaita R. Bez IEEE Trans. Device Mater. Reliab. 2004 4 422
- (2004) IEEE Trans. Device Mater. Reliab. , vol.4 , pp. 422
- Pirovano, A.¹ Redaelli, A.² Pellizzer, F.³ Ottogalli, F.⁴ Tosi, M.⁵ Ielmini, D.⁶ Lacaita, A.L.⁷ Bez, R.⁸

7
- 76749089021
- R. E. Simpson M. Krbal P. Fons A. V. Kolobov J. Tominaga T. Uruga H. Tanida Nano Lett. 2010 10 414
- (2010) Nano Lett. , vol.10 , pp. 414
- Simpson, R.E.¹ Krbal, M.² Fons, P.³ Kolobov, A.V.⁴ Tominaga, J.⁵ Uruga, T.⁶ Tanida, H.⁷

8
- 0842331309
- A. Pirovano A. L. Lacaita A. Benvenuti F. Pellizzer S. Hudgens R. Bez Tech. Dig.-Int. Electron Devices Meet. 2003 3 699
- (2003) Tech. Dig. - Int. Electron Devices Meet. , vol.3 , pp. 699
- Pirovano, A.¹ Lacaita, A.L.² Benvenuti, A.³ Pellizzer, F.⁴ Hudgens, S.⁵ Bez, R.⁶

9
- 34948875674
- Y. C. Chen C. T. Rettner S. Raoux G. W. Burr S. H. Chen R. M. Shelby M. Salinga W. P. Risk T. D. Happ G. M. McClelland M. Breitwisch A. Schrott J. B. Philipp M. H. Lee R. Cheek T. Nirschl M. Lamorey C. F. Chen E. Joseph S. Zaidi B. Yee H. L. Lung R. Bergmann C. Lam IEDM Tech. Dig. 2006 S30P3
- (2006) IEDM Tech. Dig.
- Chen, Y.C.¹ Rettner, C.T.² Raoux, S.³ Burr, G.W.⁴ Chen, S.H.⁵ Shelby, R.M.⁶ Salinga, M.⁷ Risk, W.P.⁸ Happ, T.D.⁹ McClelland, G.M.¹⁰ Breitwisch, M.¹¹ Schrott, A.¹² Philipp, J.B.¹³ Lee, M.H.¹⁴ Cheek, R.¹⁵ Nirschl, T.¹⁶ Lamorey, M.¹⁷ Chen, C.F.¹⁸ Joseph, E.¹⁹ Zaidi, S.²⁰ more..

10
- 80052664968
- J. Liang, R. G. D. Jeyasingh, H.-Y. Chen and H. S. P. Wong, Symposium on VLSI Technology, 2011, 100
- (2011) Symposium on VLSI Technology , pp. 100
- Liang, J.¹ Jeyasingh, R.G.D.² Chen, H.-Y.³ Wong, H.S.P.⁴

11
- 79955538512
- F. Xiong A. D. Liao D. Estrada E. Pop Science 2011 332 568
- (2011) Science , vol.332 , pp. 568
- Xiong, F.¹ Liao, A.D.² Estrada, D.³ Pop, E.⁴

12
- 1842289819
- M. Park C. Harrison P. M. Chaikin R. A. Register D. H. Adamson Science 1997 276 1401
- (1997) Science , vol.276 , pp. 1401
- Park, M.¹ Harrison, C.² Chaikin, P.M.³ Register, R.A.⁴ Adamson, D.H.⁵

13
- 0034672050
- T. Thurn-Albrecht J. Schotter G. A. Kastle N. Emley T. Shibauchi L. Krusin-Elbaum K. Guarini C. T. Black M. T. Tuominen T. P. Russell Science 2000 290 2126
- (2000) Science , vol.290 , pp. 2126
- Thurn-Albrecht, T.¹ Schotter, J.² Kastle, G.A.³ Emley, N.⁴ Shibauchi, T.⁵ Krusin-Elbaum, L.⁶ Guarini, K.⁷ Black, C.T.⁸ Tuominen, M.T.⁹ Russell, T.P.¹⁰

14
- 0042532330
- S. O. Kim H. H. Solak M. P. Stoykovich N. J. Ferrier J. J. de Pablo P. F. Nealey Nature 2003 424 411
- (2003) Nature , vol.424 , pp. 411
- Kim, S.O.¹ Solak, H.H.² Stoykovich, M.P.³ Ferrier, N.J.⁴ De Pablo, J.J.⁵ Nealey, P.F.⁶

15
- 49649099742
- R. Ruiz H. Kang F. A. Detcheverry E. Dobisz D. S. Kercher T. R. Albrecht J. J. de Pablo P. F. Nealey Science 2008 321 936
- (2008) Science , vol.321 , pp. 936
- Ruiz, R.¹ Kang, H.² Detcheverry, F.A.³ Dobisz, E.⁴ Kercher, D.S.⁵ Albrecht, T.R.⁶ De Pablo, J.J.⁷ Nealey, P.F.⁸

16
- 49649127635
- I. Bita J. K. W. Yang Y. S. Jung C. A. Ross E. L. Thomas K. K. Berggren Science 2008 321 939
- (2008) Science , vol.321 , pp. 939
- Bita, I.¹ Yang, J.K.W.² Jung, Y.S.³ Ross, C.A.⁴ Thomas, E.L.⁵ Berggren, K.K.⁶

17
- 60749101893
- S. Park D. H. Lee J. Xu B. Kim S. W. Hong U. Jeong T. Xu T. P. Russell Science 2009 323 1030
- (2009) Science , vol.323 , pp. 1030
- Park, S.¹ Lee, D.H.² Xu, J.³ Kim, B.⁴ Hong, S.W.⁵ Jeong, U.⁶ Xu, T.⁷ Russell, T.P.⁸

18
- 77957736715
- H. Arora P. Du K. W. Tan J. K. Hyun J. Grazul H. L. Xin D. A. Muller M. O. Thompson U. Wiesner Science 2010 330 214
- (2010) Science , vol.330 , pp. 214
- Arora, H.¹ Du, P.² Tan, K.W.³ Hyun, J.K.⁴ Grazul, J.⁵ Xin, H.L.⁶ Muller, D.A.⁷ Thompson, M.O.⁸ Wiesner, U.⁹

19
- 77950847801
- J. K. W. Yang Y. S. Jung J. B. Chang R. A. Mickiewicz A. A. Katz C. A. Ross K. K. Berggren Nat. Nanotechnol. 2010 5 256
- (2010) Nat. Nanotechnol. , vol.5 , pp. 256
- Yang, J.K.W.¹ Jung, Y.S.² Chang, J.B.³ Mickiewicz, R.A.⁴ Katz, A.A.⁵ Ross, C.A.⁶ Berggren, K.K.⁷

20
- 72949122991
- S. H. Park D. O. Shin B. H. Kim D. K. Yoon K. Kim S. Y. Lee S.-H. Oh S.-W. Choi S. C. Jeon S. O. Kim Soft Matter 2010 6 120
- (2010) Soft Matter , vol.6 , pp. 120
- Park, S.H.¹ Shin, D.O.² Kim, B.H.³ Yoon, D.K.⁴ Kim, K.⁵ Lee, S.Y.⁶ Oh, S.-H.⁷ Choi, S.-W.⁸ Jeon, S.C.⁹ Kim, S.O.¹⁰

21
- 66749176700
- S.-J. Jeong J. E. Kim H.-S. Moon B. H. Kim S. M. Kim J. B. Kim S. O. Kim Nano Lett. 2009 9 2300
- (2009) Nano Lett. , vol.9 , pp. 2300
- Jeong, S.-J.¹ Kim, J.E.² Moon, H.-S.³ Kim, B.H.⁴ Kim, S.M.⁵ Kim, J.B.⁶ Kim, S.O.⁷

22
- 77956428849
- S.-J. Jeong H.-S. Moon J. Shin B. H. Kim D. O. Shin J. Y. Kim Y.-H. Lee J. U. Kim S. O. Kim Nano Lett. 2010 10 3500
- (2010) Nano Lett. , vol.10 , pp. 3500
- Jeong, S.-J.¹ Moon, H.-S.² Shin, J.³ Kim, B.H.⁴ Shin, D.O.⁵ Kim, J.Y.⁶ Lee, Y.-H.⁷ Kim, J.U.⁸ Kim, S.O.⁹

23
- 77957304079
- S.-J. Jeong H. S. Moon B. H. Kim J. Y. Kim J. Yu S. Lee M. G. Lee H. Y. Choi S. O. Kim ACS Nano 2010 4 5181
- (2010) ACS Nano , vol.4 , pp. 5181
- Jeong, S.-J.¹ Moon, H.S.² Kim, B.H.³ Kim, J.Y.⁴ Yu, J.⁵ Lee, S.⁶ Lee, M.G.⁷ Choi, H.Y.⁸ Kim, S.O.⁹

24
- 78650104650
- J. Y. Cheng D. P. Sanders H. D. Truong S. Harrer A. Friz S. Holmes M. Colburn W. D. Hinsberg ACS Nano 2010 4 4815
- (2010) ACS Nano , vol.4 , pp. 4815
- Cheng, J.Y.¹ Sanders, D.P.² Truong, H.D.³ Harrer, S.⁴ Friz, A.⁵ Holmes, S.⁶ Colburn, M.⁷ Hinsberg, W.D.⁸

25
- 74849119167
- A. J. Hong C. C. Liu Y. Wang J. Kim F. Xiu S. Ji J. Zou P. F. Nealey K. L. Wang Nano Lett. 2010 10 224
- (2010) Nano Lett. , vol.10 , pp. 224
- Hong, A.J.¹ Liu, C.C.² Wang, Y.³ Kim, J.⁴ Xiu, F.⁵ Ji, S.⁶ Zou, J.⁷ Nealey, P.F.⁸ Wang, K.L.⁹

26
- 34247842778
- D. J. Milliron S. Raoux R. M. Shelby J. L. Jordan-sweet Nat. Mater. 2007 6 352
- (2007) Nat. Mater. , vol.6 , pp. 352
- Milliron, D.J.¹ Raoux, S.² Shelby, R.M.³ Jordan-Sweet, J.L.⁴

27
- 36048934019
- Y. Zhang H.-S. Philip Wong S. Raoux J. N. Cha C. T. Rettner L. E. Krupp T. Topuria D. J. Milliron P. M. Rice J. L. Jordan-Sweet Appl. Phys. Lett. 2007 91 013104
- (2007) Appl. Phys. Lett. , vol.91 , pp. 013104
- Zhang, Y.¹ Philip Wong, H.-S.² Raoux, S.³ Cha, J.N.⁴ Rettner, C.T.⁵ Krupp, L.E.⁶ Topuria, T.⁷ Milliron, D.J.⁸ Rice, P.M.⁹ Jordan-Sweet, J.L.¹⁰

28
- 54049115482
- Y. Zhang S. Raoux D. Krebs L. E. Krupp T. Topuria M. A. Caldwell D. J. Milliron A. Kellock P. M. Rice J. L. Jordan-Sweet H.-S. Philip Wong J. Appl. Phys. 2008 104 074312
- (2008) J. Appl. Phys. , vol.104 , pp. 074312
- Zhang, Y.¹ Raoux, S.² Krebs, D.³ Krupp, L.E.⁴ Topuria, T.⁵ Caldwell, M.A.⁶ Milliron, D.J.⁷ Kellock, A.⁸ Rice, P.M.⁹ Jordan-Sweet, J.L.¹⁰ Philip Wong, H.-S.¹¹

29
- 53749087020
- P. L. Fata R. Puglisi S. Lombardo C. Bongiorno Superlattices Microstruct. 2008 44 693
- (2008) Superlattices Microstruct. , vol.44 , pp. 693
- Fata, P.L.¹ Puglisi, R.² Lombardo, S.³ Bongiorno, C.⁴

30
- 84855367703
- M. Goldman, K. Pangal, G. Naso and A. Goda, 3rd IEEE International, 2011, 1
- (2011) 3rd IEEE International , pp. 1
- Goldman, M.¹ Pangal, K.² Naso, G.³ Goda, A.⁴

31
- 77952370692
- G. Servalli IEEE Int. Electron Devices Meet. 2009 113
- (2009) IEEE Int. Electron Devices Meet. , pp. 113
- Servalli, G.¹

32
- 77955828958
- D. O. Shin J.-R. Jeong T. H. Han C. M. Koo H.-J. Park Y. T. Lim S. O. Kim J. Mater. Chem. 2010 20 7241
- (2010) J. Mater. Chem. , vol.20 , pp. 7241
- Shin, D.O.¹ Jeong, J.-R.² Han, T.H.³ Koo, C.M.⁴ Park, H.-J.⁵ Lim, Y.T.⁶ Kim, S.O.⁷

33
- 55049114834
- S.-J. Jeong G. Xia B. H. Kim D. O. Shin S. H. Kwon S. W. Kang S. O. Kim Adv. Mater. 2008 20 1898
- (2008) Adv. Mater. , vol.20 , pp. 1898
- Jeong, S.-J.¹ Xia, G.² Kim, B.H.³ Shin, D.O.⁴ Kwon, S.H.⁵ Kang, S.W.⁶ Kim, S.O.⁷

34
- 34547538011
- S.-M. Yoon K.-J. Choi Y. S. Park S. Y. Lee N.-Y. Lee B. G. Yu Jpn. J. Appl. Phys. 2006 45 L1080
- (2006) Jpn. J. Appl. Phys. , vol.45 , pp. 1080
- Yoon, S.-M.¹ Choi, K.-J.² Park, Y.S.³ Lee, S.Y.⁴ Lee, N.-Y.⁵ Yu, B.G.⁶

35
- 34948907947
- S.-H. Lee Y. Jung R. Agarwal Nat. Nanotechnol. 2007 2 626
- (2007) Nat. Nanotechnol. , vol.2 , pp. 626
- Lee, S.-H.¹ Jung, Y.² Agarwal, R.³

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.