Nanoscale two-bit/cell NAND silicon-oxide-nitride-oxide-silicon flash memories with an advanced saddle structure

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 55, Issue 1, 2009, Pages 236-240

  Park, Sang Su ^a   Oh, Se Woong ^a   Kwack, Kae Dal ^a   Kim, Tae Whan ^a   Kim, Hyun Joo ^a  

^a Hanyang University   (South Korea)

Author keywords

Charge density; NAND SONOS flash memory; Saddle structure; Scaling down; Two bit cell

Indexed keywords

EID: 69249191749     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.55.236     Document Type: Article

References (16)

1. M. K. Kim, S. D. Chae, H. S. Chae, J. H. Kim, Y. S. Jeong, J. W. Lee, H. Siva, S. Tiwari and C. W. Kim, IEEE Trans. Nanotechnology 3, 417 (2004).
2. S. Sung, T. Kim, E. S. Cho, H. J. Cho, H. Y. Choi, C. W. Oh, B. Cho, C. Lee and D. Park, IEEE Trans. Nanotechnology 5, 174 (2006).
3. R. Ranica, A. Villaret, P. Mazoyer, S. Monfray, D. Chanemougame, P. Masson, A. Regnier, C. N. Dray, R. Bez and T. Skotnicki, IEEE Trans. Nanotechnol. 4, 581 (2005).
4. K. H. Yuen, T. Y. Man, A. C. K. Chan and M. Chan, IEEE Electron Device Lett. 24, 518 (2003).
5. J. Wu, M. Lee, T. Hsu, H. Lung, R. Liu and C. Lu, IEEE Electron Device Lett. 27, 127 (2006).
6. J.-G. Yun, I. H. Park, S. Cho, J. H. Lee, D.-H. Kim, G. S. Lee, Y. Kim, J.-D. Lee and B.-G. Park, J. Korean Phys. Soc. 51, S229 (2007).
7. S. H. Seo, S. W. Kim, J.-U. Lee, G.-C. Kang, K. S. Roh, K. Y. Kim, S. Lee, C. M. Choi, K.-J. Song, S. R. Park, J.H. Park, K. Jeon, D. M. Kim and D. H. Kim, J. Korean Phys. Soc. 52, 481 (2008).
8. B. Eitan, P. Pavan, I. Bloom, E. Aloni, A. Frommer and D. Finzi, IEEE Electron Device Lett. 21, 543 (2000).
9. Y. K. Lee, K. W. Song, J. W. Hyun, J. D. Lee, B. Park, S. T. Kang, J. D. Choe, S. Y. Han, J. N. Han, S. W. Lee, O. I. Kwon, C. Chung, D. Park and K. Kim, IEEE Electron Device Lett. 25, 317 (2004).
10. Y. Chang, T. Lu, S. Pan and C. Lu, IEEE Electron Device Lett. 25, 95 (2004).
11. Y. J. Seo, K. C. Kim, H. D. Kim and T. G. Kim, J. Korean Phys. Soc. 53, 3302 (2008).
12. K. Jeon, S. Lee, J.-H. Park, C. Choi, K.-J. Song, S. R. Park, T. W. Kim, J. E. Lee, S. Park, S. Lee, J. Jang, D. H. Kim and D. M. Kim, J. Korean Phys. Soc. 54, 1862 (2009).
13. S. Minami and Y. Kamigaki, IEEE Trans. Electron Devices 40, 2011 (1993).
14. Y. Yang and M. H. White, Solid-State Electron. 44, 949 (2000).
15. S. Sung, I. Park, C. Ju. Lee, Y. K. Lee, J. D. Lee, B. Park, S. D. Chae and C. W. Kim, IEEE Trans. Nanotechnol. 2, 258 (2003).
16. S. R. Park, K. Y. Kim, C. Choi, K.-J. Song, J.-H. Park, K. Jeon, S. Lee, T. Y. Kim, J. E. Lee, S. Lee, S. Park, J. Jang, D. Y. Kim and D. H. Kim, J. Korean Phys. Soc. 54, 1854 (2009).