Study of hole traps in the oxide-nitride-oxide structure of the SONOS flash memory

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 53, Issue 6, 2008, Pages 3302-3306

  Seo, Yu Jeong ^a   Kim, Kyoung Chan ^a   Kim, Hee Dong ^a   Kim, Tae Geun ^a   An, Ho Myoung ^b  

^a Korea University   (South Korea)

^b Kwangwoon University   (South Korea)

Author keywords

Charge trap; Hole trap; ONO; SONOS

Indexed keywords

EID: 58249124351     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.53.3302     Document Type: Article

References (19)

1. Y. N. Tan, W. K. Chim, W. K. Choi, M. S. Joo and B. J. Cho, IEEE Trans. Electron. Dev. 53, 654 (2006).
2. W. Mönch, Appl. Phys. Lett. 86, 122101 (2005).
3. K. H. Wu, H. C. Chien, C. C. Chan, T. S. Chen and C. H. Kao, IEEE Tran. Electron. Dev. 52, 987 (2005).
4. K. A. Nasyrov, V. A. Gritsenko, M. K. Kim, H. S. Chae, S. D. Chae, W. I. Ryu, J. H. Sok, J. W. Lee and B. M. Kim, IEEE Electron Device Lett. 23, 336 (2002).
5. V. J. Kapoor and S. B. Bibyk, Thin Solid Films 78, 193 (1981).
6. E. C. Paloura, J. Lagowski and H. C. Gatos, J. Appl. Phys. 69, 3995 (1991).
7. J. Schmidt, F. M. Schuurmans, W. C. Sinke, S. W. Glunz and A. G. Aberle, Appl. Phys. Lett. 71, 252 (1997).
8. J. Schmidt and A. G. Aberle, J. Appl. Phys. 85, 3626 (1999).
9. Z. Shanfield and M. M. Moriwaki, IEEE Trans. Nucl. Sci. 34, 1158 (1987).
10. D. M. Fleetwood, R. A. Reber, Jr. and P. S. Winokur, Appl. Phys. Lett. 60, 2008 (1992).
11. Y. J. Seo, K. C. Kim, T. G. Kim, Y. M. Sung, H. Y. Cho, M. S. Joo and S. H. Pyi, Appl. Phys. Lett. 92, 132104 (2008).
12. D. V. Lang, J. Appl. Phys. 45, 3023 (1974).
13. H. Y. Cho, C. J. Park, H. T. Oh, D. W. Kwak, Y. H. Lee, W. C. Yang and C. W. Kim, ECS Trans. 1(5), 671 (2006).
14. N. M Johnson, Appl. Phys. Lett. 34, 802 (1979).
15. Y. N. Tan, W. K. Chim and W. K. Choi, IEEE Tran. Electron Dev. 51, 1143 (2004).
16. S. H. Seo, S. W. Kim, J. U. Lee, G. C. Kang, K. S. Roh, K. Y. Kim, S. Y. Lee, C. M. Choi, K. J. Song, S. R. Park, J. H. Park, K. C. Jeon, D. M. Kim and D. H. Kim, J. Korean Phys. Soc. 52, 481 (2008).
17. S. Y. Lee, K. C. Jeon, J. U. Lee, S. W. Kim, S. H. Seo, K. S. Roh, G. C. Kang, K. Y. Kim, C. M. Choi, K. J. Song, S. R. Park, J. H. Park, D. M. Kim and D. H. Kim, J. Korean Phys. Soc. 51, 2063 (2007).
18. S. Lee, K.-C. Jeon, J.-U. Lee, S.-W. Kim, S.-H. Seo, K.-S. Roh, G.-C. Kang, K.-Y. Kim, C.-M. Choi, K.-J. Song, S.-R. Park, J.-H. Park, D. M. Kim, D. H. Kim, H. Shin, J. D. Lee and B.-G. Park, J. Korea Phys. Soc. 51, 2063 (2007).
19. J. K. Kim, H. J. Cheong, K. H. Park, Y. Kim, J.-Y. Yi and H. J. Bark, J. Korea Phys. Soc. 48, 108 (2006).