Non-aqueous sol-gel routes applied to atomic layer deposition of oxides

Journal of Materials Chemistry

Volumn 19, Issue 4, 2009, Pages 454-462

  Clavel, Guylhaine ^a   Rauwel, Erwan ^a   Willinger, Marc Georg ^a   Pinna, Nicola ^a  

^a UNIVERSITY OF AVEIRO   (Portugal)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC PHYSICS; ATOMS; COLLOIDS; GELATION; GELS; GROWTH (MATERIALS); METALLIC COMPOUNDS; MOLECULAR BEAM EPITAXY; PHYSICAL VAPOR DEPOSITION; SOL-GEL PROCESS; SOL-GELS; SOLIDS; SOLS; SURFACE REACTIONS; THIN FILM DEVICES; THIN FILMS;

ANALYTICAL TECHNIQUES; AQUEOUS SOLS; ASSISTED DEPOSITIONS; ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD; ATOMIC LAYERS; ATOMIC SCALES; FILM FORMATIONS; GROWTH STEPS; IN-SITU; METAL OXIDES; RECENT DEVELOPMENTS;

FILM GROWTH;

EID: 58149520253     PISSN: 09599428     EISSN: 13645501     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/b806215c     Document Type: Article

References (83)

1. T. Suntola Appl. Surf. Sci. 1996 100-101 391 398
2. L. Niinisto M. Ritala M. Leskela Mater. Sci. Eng., B 1996 41 23 29
3. S. M. George A. W. Ott J. W. Klaus J. Phys. Chem. 1996 100 13121 13131
4. K. Kukli J. Aarik A. Aidla H. Siimon M. Ritala M. Leskela Appl. Surf. Sci. 1997 112 236 242
5. J. Livage M. Henry C. Sanchez Prog. Solid State Chem. 1988 18 259 341
6. L. L. Hench J. K. West Chem. Rev. 1990 90 33 72
7. H. Kominami M. Kohno Y. Takada M. Inoue T. Inui Y. Kera Ind. Eng. Chem. Res. 1999 38 3925 3931
8. M. Monge M. L. Kahn A. Maisonnat B. Chaudret Angew. Chem., Int. Ed. 2003 42 5321 5324
9. M. Ivanda S. Music S. Popovic M. Gotic J. Mol. Struct. 1999 480-481 645 649
10. C. Sanchez J. Livage M. Henry F. Babonneau J. Non-Cryst. Solids 1988 100 65 76
11. A. Vioux Chem. Mater. 1997 9 2292 2299
12. V. Lafond P. H. Mutin A. Vioux J. Mol. Catal. A: Chem. 2002 182-183 81 88
13. M. Niederberger Acc. Chem. Res. 2007 40 793 800
14. N. Pinna M. Niederberger Angew. Chem., Int. Ed. 2008 47 5292 5304
15. M. Niederberger G. Garnweitner N. Pinna G. Neri Prog. Solid State Chem. 2005 33 59 70
16. M. Niederberger G. Garnweitner Chem.-Eur. J. 2006 12 7282 7302
17. M. Ritala K. Kukli A. Rahtu P. I. Raisanen M. Leskela T. Sajavaara J. Keinonen Science 2000 288 319 321
18. K. Kukli M. Ritala M. Leskela Chem. Mater. 2000 12 1914 1920
19. P. I. Räisänen M. Ritala M. Leskela J. Mater. Chem. 2002 12 1415 1418
20. A. Rahtu M. Ritala M. Leskela Chem. Mater. 2001 13 1528 1532
21. A. C. Jones H. C. Aspinall P. R. Chalker R. J. Potter T. D. Manning Y. F. Loo R. O'Kane J. M. Gaskell L. M. Smith Chem. Vap. Deposition 2006 12 83 98
22. M. Leskela M. Ritala Thin Solid Films 2002 409 138 146
23. R. J. P. Corriu D. Leclercq Comments Inorg. Chem. 1997 19 245 262
24. W.-S. Jeon S. Yang C.-s. Lee S.-W. Kang J. Electrochem. Soc. 2002 149 C306 C310
25. K. E. Prince P. J. Evans G. Triani Z. Zhang J. Bartlett Surf. Interface Anal. 2006 38 1692 1695
26. L. Hiltunen H. Kattelus M. Leskela M. Makela L. Niinisto E. Nykanen P. Soininen M. Tiitta Mater. Chem. Phys. 1991 28 379 388
27. M. Tiitta E. Nykanen P. Soininen L. Niinisto M. Leskela R. Lappalainen Mater. Res. Bull. 1998 33 1315 1323
28. E. Rauwel G. Clavel M.-G. Willinger P. Rauwel N. Pinna Angew. Chem., Int. Ed. 2008 47 3592 3595
29. P. J. Evans P. H. Mutin G. Triani K. E. Prince J. R. Bartlett Surf. Interface Anal. 2006 38 740 743
30. A. Rahtu M. Ritala Langmuir 2002 18 10046 10048
31. W. He R. Solanki J. F. Conley Jr. Y. Ono J. Appl. Phys. 2003 94 3657 3659
32. D. Hausmann J. Becker S. L. Wang R. G. Gordon Science 2002 298 402 406
33. W.-K. Kim S.-W. Rhee N.-I. Lee J.-H. Lee H.-K. Kang J. Vac. Sci. Technol., A 2004 22 1285 1289
34. M.-S. Kim S. A. Rogers Y.-S. Kim J.-H. Lee H.-K. Kang J. Korean Phys. Soc. 2004 45 1317 1321
35. K. Kukli M. Ritala M. Leskela T. Sajavaara J. Keinonen R. I. Hegde D. C. Gilmer P. J. Tobin J. Electrochem. Soc. 2004 151 F98 F104
36. V. V. Brei V. A. Kaspersky N. U. Gulyanitskaya React. Kinet. Catal. Lett. 1993 50 415 421
37. W.-K. Kim S.-W. Kang S.-W. Rhee N.-I. Lee J.-H. Lee H.-K. Kang J. Vac. Sci. Technol., A 2002 20 2096 2100
38. W.-K. Kim S.-W. Kang S.-W. Rhee J. Vac. Sci. Technol., A 2003 21 L16 L18
39. Y. Wang M. T. Ho L. V. Goncharova L. S. Wielunski S. Rivillon-Amy Y. J. Chabal T. Gustafsson N. Moumen M. Boleslawski Chem. Mater. 2007 19 3127 3138
40. E. Langereis J. Keijmel M. C. H van de Sanden W. M. M. Kessels Appl. Phys. Lett. 2008 92 231904
41. A. Rahtu M. Ritala Chem. Vap. Deposition 2002 8 21 28
42. R. L. Puurunen J. Appl. Phys. 2005 97 121301 121352
43. A. Maccoll Chem. Rev. 1969 69 33 60
44. C. Pistarino E. Finocchio G. Romezzano F. Brichese R. Di Felice G. Busca M. Baldi Ind. Eng. Chem. Res. 2000 39 2752 2760
45. E. Finocchio C. Pistarino S. Dellepiane B. Serra S. Braggio M. Baldi G. Busca Catal. Today 2002 75 263 267
46. J. Joo T. Yu Y. W. Kim H. M. Park F. Wu J. Z. Zhang T. Hyeon J. Am. Chem. Soc. 2003 125 6553 6557
47. P. Arnal R. J. P. Corriu D. Leclercq P. H. Mutin A. Vioux J. Mater. Chem. 1996 6 1925 1932
48. E. Rauwel M.-G. Willinger F. Ducroquet P. Rauwel I. Matko D. Kiselev N. Pinna J. Phys. Chem. C 2008 112 12754 12759
49. R. J. P. Corriu D. Leclercq P. Lefèvre P. H. Mutin A. Vioux J. Mater. Chem. 1992 2 673 674
50. M. Andrianainarivelo R. Corriu D. Leclercq P. H. Mutin A. Vioux J. Mater. Chem. 1996 6 1665 1671
51. T. J. Trentler T. E. Denler J. F. Bertone A. Agrawal V. L. Colvin J. Am. Chem. Soc. 1999 121 1613 1614
52. B. Tian H. Yang X. Liu S. Xie C. Yu J. Fan B. Tu D. Zhao Chem. Commun. 2002 1824 1825
53. J. Tang J. Fabbri R. D. Robinson Y. Zhu I. P. Herman M. L. Steigerwald L. E. Brus Chem. Mater. 2004 16 1336 1342
54. P. Arnal R. J. P. Corriu D. Leclercq P. H. Mutin A. Vioux Chem. Mater. 1997 9 694 698
55. L. Bourget R. J. P. Corriu D. Leclercq P. H. Mutin A. Vioux J. Non-Cryst. Solids 1998 242 81 91
56. D. C. Bradley, R. C. Mehrota, I. P. Rothwell and A. Singh, Alkoxo and aryloxo derivatives of metals, Academic Press, London, 2001
57. V. G. Kessler Chem. Commun. 2003 1213 1222
58. N. Pinna G. Garnweitner M. Antonietti M. Niederberger Adv. Mater. 2004 16 2196 2200
59. G. Garnweitner L. M. Goldenberg O. V. Sakhno M. Antonietti M. Niederberger J. Stumpe Small 2007 3 1626 1632
60. M. Knez and N. Pinna, unpublished work
61. M. Iwasaki A. Yasumori S. Shibata M. Yamane J. Sol-Gel Sci. Technol. 1994 2 387 391
62. M. Jansen E. Guenther Chem. Mater. 1995 7 2110 2114
63. J. Caruso M. J. Hampden-Smith A. L. Rheingold G. Yap J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1995 157 158
64. J. Caruso C. Roger F. Schwertfeger M. J. Hampden-Smith A. L. Rheingold G. Yap Inorg. Chem. 1995 34 449 453
65. J. Caruso M. J. Hampden-Smith E. N. Duesler J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1995 1041 1042
66. J. Caruso M. J. Hampden-Smith J. Sol-Gel Sci. Technol. 1997 8 35 39
67. C. D. Chandler C. Roger M. J. Hampden-Smith Chem. Rev. 1993 93 1205 1241
68. N. J. Hinde C. D. Hall J. Chem. Soc., Perkin Trans. 2 1998 1249 1256
69. K. Ishihara S. Ohara H. Yamamoto Science 2000 290 1140 1142
70. G. B. Deacon R. J. Phillips Coord. Chem. Rev. 1980 33 227 250
71. S. Doeuff M. Henry C. Sanchez Mater. Res. Bull. 1990 25 1519 1529
72. N. Steunou F. Robert K. Boubekeur F. Ribot C. Sanchez Inorg. Chim. Acta 1998 279 144 151
73. D. Jiang Y. Xu B. Hou D. Wu Y. Sun Eur. J. Inorg. Chem. 2008 1236 1240
74. The alcohol results from ligand exchange of the carboxylic acid with the metal alkoxide
75. P. D. Cozzoli A. Kornowski H. Weller J. Am. Chem. Soc. 2003 125 14539 14548
76. J. Joo S. G. Kwon J. H. Yu T. Hyeon Adv. Mater. 2005 17 1873 1877
77. I. Bilecka I. Djerdj M. Niederberger Chem. Commun. 2008 886 888
78. G. Clavel M. G. Willinger D. Zitoun N. Pinna Adv. Funct. Mater. 2007 17 3159 3169
79. A. Narayanaswamy H. Xu N. Pradhan M. Kim X. Peng J. Am. Chem. Soc. 2006 128 10310 10319
80. K. Kukli M. Ritala M. Leskelä T. Sajavaara J. Keinonen A. C. Jones J. L. Roberts Chem. Vap. Deposition 2003 9 315 320
81. K. Kukli M. Ritala M. Leskela T. Sajavaara J. Keinonen A. C. Jones J. L. Roberts Chem. Mater. 2003 15 1722 1727
82. G. Garnweitner M. Antonietti M. Niederberger Chem. Commun. 2005 397 399
83. M. M. Frank Y. J. Chabal G. D. Wilk Appl. Phys. Lett. 2003 82 4758 4760