Characterization of ZnO films grown at low temperature

Acta Physica Polonica A

Volumn 114, Issue 5, 2008, Pages 1303-1310

  Przezdziecka E ^a   Krajewski, T ^a   Wachnicki, L ^a,b   Szczepanik, A ^a,b   Wojcik Glodowska A ^a   Yatsunenko, S ^a   Lusakowska E ^a   Paszkowicz, W ^a   Guziewicz, E ^a   Godlewski, M ^a  

^a INSTITUTE OF PHYSICS   (Poland)

^b CARDINAL STEFAN WYSZY SKI UNIVERSITY   (Poland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; ATOMIC LAYER DEPOSITION; DEPOSITION; METALLIC FILMS; OPTICAL CORRELATION; OPTICAL PROPERTIES; SURFACE MORPHOLOGY; ZINC OXIDE;

DIETHYLZINC; DIFFERENT THICKNESS; LOW TEMPERATURES; ZINC PRECURSOR; ZNO FILMS; ZNO THIN FILM;

TEMPERATURE;

EID: 54949098216     PISSN: 05874246     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.12693/APhysPolA.114.1303     Document Type: Conference Paper

References (24)

1. T. Krajewski, E. Guziewicz, M. Godlewski, L. Wachnicki, LA. Kowalik, A. Wojcik-Glodowska, K. Kopalko, V. Osinniy, M. Guziewicz, Microelectronics Journal DOI: 10.1016/j.mejo.2008.07.053 (2008).
2. P.F. Carcia, R.S. McLean, M.H. Reilly, J. Nunes, Appl. Phys. Lett. 82, 1117 (2003).
3. E. Fortunato, P. Barquinha, A. Pimentel, A. Gongalves, A. Marques, L. Pereira, R. Martins, Thin Solid Films 487, 205 (2005).
4. F.M. Hossain, J. Nishii, S. Takagi, A. Ohtomo, T. Fukumura, H. Fujioka, H. Ohno, H. Koinuma, M. Kawasaki, J. Appl Phys. 94, 7768 (2003).
5. N. Huby, S. Ferrari, E. Guziewicz, M. Godlewski, V. Osinniy, Appl. Phys. Lett. 92, 023502 (2008).
6. K.S. Weifienrieder, J. Miiller, Thin Solid Films 300, 30 (1997).
7. M. Bender, E. Gagaoudakis, E. Douloufakis, E. Natsakou, N. Katsarakis, V. Cimalla, G. Kiriakidis, E. Fortunato, P. Nunes, A. Marques, R. Martins, Thin Solid Films 418, 45 (2002).
8. T. Hiramatsu, M. Furuta, H. Furuta, T. Matsuda, T. Hirao, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 46, 3319 (2007).
9. L. Jianguo, Z. Yinzhu, Y. Zhizhen, W. Lei, Z. Binghui, H. Jinhyun, Mater. Lett. 57, 3311 (2003).
10. E. Kaminska, A. Piotrowska, J. Kossut, A. Barcz, R. Butkute, W. Dobrowolski, E. Dynowska, R. Jakiela, E. Przezdziecka, R. Lukasiewicz, M. Aleszkiewicz, P. Wojnar, E. Kowalczyk, Solid State Commun. 135, 11 (2005).
11. E. Kaminska, E. Przezdziecka, A. Piotrowska, J. Kossut, E. Dynowska, W. Dobrowolski, A. Barcz, R. Jakiela, E. Lusakowska, J. Ratajczak, in: Proc. Progress in Semiconductor Materials V-Novel Materials and Electronic and Optoelectronic Applications, Eds. L.J. Olafeen, R.M. Biefeld, M.C. Wanke, A.W. Saxlar, Materials Research Society, Warrendale; Boston 2006, p. 363.
12. E. Przezdziecka, E. Kaminska, I. Pasternak, A. Piotrowska, J. Kossut, Phys. Rev. B 76, 193303 (2007).
13. L. Xiaonan, S.E. Asher, S. Limpijumnong, B.M. Keyes, C.L. Perkins, T.M. Barnes, H.R. Moutinho, J.M. Luther, S.B. Zhang, Wei S HS, T.J. Coutts, J. Cryst. Growth 287,94 (2006).
14. D.C. Look, D.C. Reynolds, C.W. Litton, R.L. Jones, D.B. Eason, G. Cantwell, Appl. Phys. Lett. 81, 1830 (2002).
15. F.X. Xiu, Z. Yang, L.J. Mandalapu, D.T. Zhao, J.L. Liu, W.P. Beyermann, Appl. Phys. Lett. 87, 152101 (2005).
16. A. Wojcik, M. Godlewski, E. Guziewicz, R. Minikayev, W. Paszkowicz, J. Cryst. Growth 310, 284 (2008).
17. A. Wojcik, M. Godlewski, E. Guziewicz, K. Kopalko, R. Jakiela, M. Kiecana, M. Sawicki, M. Guziewicz, M. Putkonen, L. Niinisto, Y. Dumont, N. Keller, Appl. Phys. Lett. 90, 082502 (2007).
18. I.A. Kowalik, E. Guziewicz, K. Kopalko, S. Yatsunenko, A. Wójcik, M. Godlewski, P. Dluzewski, E. Lusakowska, W. Paszkowicz, J. Cryst. Growth, in press.
19. S.J. Peatron, D.P. Norton, K. Ip, Y.W. Heo, T. Steiner, Superlattices Microstruct. 34, 3 (2003).
20. O.F. Schirmer, D. Zwingel, Solid State Commun. 8, 1559 (1970).
21. B.J. Bierce, R.L. Hengehold, J. Appl. Phys. 47, 644 (1976).
22. S.A. Studenikin, N. Golego, M. Cocivera, J. Appl. Phys. 84, 2287 (1998).
23. F.X. Xiu, Z. Yang, L.J. Mandalapu, D.T. Zhao, J.L. Liu, Appl. Phys. Lett. 87, 252102 (2005).
24. M. Godlewski, E. Guziewicz, J. Szade, A. Wójcik-Glodowska, L. Wachnicki, T. Krajewski, K. Kopalko, R. Jakiela, S. Yatsunenko, E. Przezdziecka, P. Kruszewski, N. Huby, G. Tallarida, S. Ferrari, Microelectronic Engineering DOI: 10.1016/j.mee.2008.09.012 (2008).