Conductivity model for sputtered ZnO-thin film gas sensors

Thin Solid Films

Volumn 300, Issue 1-2, 1997, Pages 30-41

  Weissenrieder K S ^a,b   Muller J ^a  

^a HAMBURG UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

^b Möller Wedel Optical GmbH   (Germany)

Author keywords

Chemical sensors; Electrical properties; Hall measurements

Indexed keywords

CARRIER CONCENTRATION; COMPUTER SIMULATION; CRYSTALLINE MATERIALS; ELECTRIC CONDUCTIVITY OF SOLIDS; ELECTRIC RESISTANCE; GRAIN BOUNDARIES; MATHEMATICAL MODELS; SPUTTERING; THERMOOXIDATION; THIN FILMS; ZINC OXIDE;

HALL MEASUREMENTS; THERMIONIC EMISSION;

CHEMICAL SENSORS;

EID: 0031145305     PISSN: 00406090     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0040-6090(96)09471-0     Document Type: Article

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