Effects of ions and atomic hydrogen in plasma-assisted growth of single-walled carbon nanotubes

Journal of Applied Physics

Volumn 102, Issue 7, 2007, Pages

  Denysenko, I ^a,b   Ostrikov, K ^a   Yu, M Y ^c,d   Azarenkov, N A ^b  

^a UNIVERSITY OF SYDNEY   (Australia)

^b V N KARAZIN KHARKIV NATIONAL UNIVERSITY   (Ukraine)

^c ZHEJIANG UNIVERSITY   (China)

^d RUHR UNIVERSITY BOCHUM   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

GROWTH RATE; HYDROGEN; IONS; OPTIMIZATION; PLASMAS; SUBSTRATES; THERMAL EFFECTS;

ATOMIC HYDROGEN; ION FLUXES; LATERAL SURFACES;

SINGLE-WALLED CARBON NANOTUBES (SWCN);

EID: 35348823666     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2786058     Document Type: Article

References (64)

1. A. V. Melechko, V. I. Merkulov, T. E. McKnight, M. A. Guillorn, K. L. Klein, D. H. Lowndes, and M. L. Simpson, J. Appl. Phys. 97, 041301 (2005).
2. M. Meyyappan, L. Delzeit, A. Cassell, and D. Hash, Plasma Sources Sci. Technol. 12, 205 (2003).
3. M. Keidar, Y. Raitses, A. Knapp, and A. M. Waas, Carbon 44, 1022 (2006).
4. E. I. Waldorff, A. M. Waas, P. P. Friedmann, and M. Keidar, J. Appl. Phys. 95, 2749 (2004).
5. M. Mozetic, U. Cvelbar, M. K. Sunkara, and S. Vaddiraju, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 17, 2138 (2005).
6. U. Cvelbar and M. Mozetic, J. Phys. D 40, 2300 (2007).
7. M. Xu, S. Xu, J. W. Chai, J. D. Long, and Y. C. Ee, Appl. Phys. Lett. 89, 251904 (2006).
8. S. Xu, K. Ostrikov, J. D. Long, and S. Y. Huang, Vacuum 80, 621 (2006).
9. A. Okita, Y. Suda, A. Ozeki, H. Sugawara, Y. Sakai, A. Oda, and J. Nakamura, J. Appl. Phys. 99, 014302 (2006).
10. K. Ostrikov, Rev. Mod. Phys. 77, 489 (2005).
11. T. E. McKnight, A. V. Melechko, G. D. Griffin, M. A. Guillorn, V. I. Merkulov, F. Serna, D. K. Hensley, M. J. Doktycz, D. H. Lowndes, and M. L. Simpson, Nanotechnology 14, 551 (2003).
12. D. Cai, J. M. Mataraza, Z.-H. Qin, Z. Huang, J. Huang, T. C. Chiles, D. Carnahan, K. Kempa, and Z. Ren, Nat. Methods 2, 449 (2005).
13. K. Ostrikov and A. B. Murphy, J. Phys. D 40, 2223 (2007).
14. Y. Li, D. Mann, M. Rolandi, W. Kim, A. Ural, S. Hung, A. Javey, J. Cao, D. Wang, E. Yenilmez, Q. Wang, J. F. Gibbons, Y. Nishi, and H. Dai, Nano Lett. 4, 317 (2004).
15. M. R. Maschmann, P. B. Amama, A. Goyal, Z. Iqbal, R. Gat, and T. S. Fisher, Carbon 44, 10 (2006).
16. W. L. Wang, X. D. Bai, Z. Xu, S. Liu, and E. G. Wang, Chem. Phys. Lett. 419, 81 (2005).
17. G. Zhong, T. Iwasaki, K. Honda, Y. Furukawa, I. Ohdomari, and H. Kawarada, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 44, 1558 (2005).
18. A. Gohier, T. M. Minea, M. A. Djouadi, and A. Granier, J. Appl. Phys. 101, 054317 (2007).
19. T. Nozaki, K. Ohnishi, K. Okazaki, and U. Kortshagen, Carbon 45, 364 (2007).
20. M. Keidar, A. M. Waas, Y. Raitses, and E. Waldorff, J. Nanosci. Nanotechnol. 6, 1309 (2006).
21. S. Hofmann, R. Sharma, C. Ducati, G. Du, C. Mattevi, C. Cepek, M. Cantoro, S. Pisana, A. Parvez, F. Cervantes-Sodi, A. C. Ferrari, R. Dunin-Borkowski, S. Lizzit, L. Petaccia, A. Goldoni, and J. Robertson, Nano Lett. 7, 602 (2007).
22. S. Reich, L. Li, and J. Robertson, Chem. Phys. Lett. 421, 469 (2006).
23. Y. Y. Wang, S. Gupta, and R. J. Nemanich, Appl. Phys. Lett. 85, 2601 (2004).
24. G. Zhang, D. Mann, L. Zhang, A. Javey, Y. Li, E. Yenilmez, Q. Wang, J. P. McVittie, Y. Nishi, J. Gibbons, and H. Dai, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 102, 16141 (2005).
25. O. A. Louchev, Y. Sato, and H. Kanda, J. Appl. Phys. 89, 3438 (2001).
26. L. T. Chadderton and Y. Chen, Phys. Lett. A 263, 401 (1999).
27. O. A. Louchev, Y. Sato, and H. Kanda, Appl. Phys. Lett. 80, 2752 (2002).
28. Y. H. Lee, S. G. Kim, and D. Tomanek, Phys. Rev. Lett. 78, 2393 (1997).
29. N. V. Mantzaris, E. Gogolides, A. G. Boudouvis, A. Rhallabi, and G. Turban, J. Appl. Phys. 79, 3718 (1996).
30. O. A. Louchev, T. Laude, Y. Sato, and H. Kanda, J. Chem. Phys. 118, 7622 (2003).
31. O. A. Louchev, C. Dussarrat, and Y. Sato, J. Appl. Phys. 86, 1736 (1999).
32. O. A. Louchev, Y. Sato, and H. Kanda, Phys. Rev. E 66, 011601 (2002).
33. A. V. Krasheninnikov, K. Nordlund, P. O. Lehtinen, A. S. Foster, A. Ayuela, and R. M. Nieminen, Phys. Rev. B 69, 073402 (2004).
34. A. V. Krasheninnikov, K. Nordlund, P. O. Lehtinen, A. S. Foster, A. Ayuela, and R. M. Nieminen, Carbon 42, 1021 (2004).
35. Y.-K. Kwon, Y. H. Lee, S. G. Kim, P. Jund, D. Tomanek, and R. E. Smalley, Phys. Rev. Lett. 79, 2065 (1997).
36. N. Kitamura and A. Oshiyama, J. Phys. Soc. Jpn. 70, 1995 (2001).
37. O. A. Louchev, H. Kanda, A. Rosen, and K. Bolton, J. Chem. Phys. 121, 446 (2004).
38. S. Hofmann, G. Csanyi, A. C. Ferrari, M. C. Payne, and J. Robertson, Phys. Rev. Lett. 95, 036101 (2005).
39. P. Reinke, W. Jakob, and W. Moller, J. Appl. Phys. 74, 1354 (1993).
40. Y. Lifshitz, S. R. Kasi, J. W. Rabalais, and W. Eckstein, Phys. Rev. B 41, 10468 (1990).
41. K. B. K. Teo, D. B. Hash, R. G. Lacerda, N. L. Rupesinghe, M. S. Bell, S. H. Dalal, D. Bose, T. R. Govindan, B. A. Cruden, M. Chhowalla, G. A. J. Amaratunga, M. Meyyappan, and W. I. Milne, Nano Lett. 4, 921 (2004).
42. I. B. Denysenko, S. Xu, P. P. Rutkevych, J. D. Long, N. A. Azarenkov, and K. Ostrikov, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.1642762 95, 2713 (2004); S. V. Vladimirov, K. Ostrikov, M. Y. Yu, and L. Stenflo, Phys. Rev. E 58, 8046 (1998).
43. I. B. Denysenko, S. Xu, P. P. Rutkevych, J. D. Long, N. A. Azarenkov, and K. Ostrikov, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.1642762 95, 2713 (2004); S. V. Vladimirov, K. Ostrikov, M. Y. Yu, and L. Stenflo, Phys. Rev. E 58, 8046 (1998).
44. K. N. Ostrikov and M. Y. Yu, IEEE Trans. Plasma Sci. 0093-3813 10.1109/27.659538 26, 100 (1998); K. N. Ostrikov, M. Y. Yu, and L. Stenflo, Phys. Rev. E 61, 782 (2000).
45. K. N. Ostrikov and M. Y. Yu, IEEE Trans. Plasma Sci. 0093-3813 10.1109/27.659538 26, 100 (1998); K. N. Ostrikov, M. Y. Yu, and L. Stenflo, Phys. Rev. E 61, 782 (2000).
46. K. N. Ostrikov, M. Y. Yu, and N. A. Azarenkov, J. Appl. Phys. 84, 4176 (1998).
47. K. N. Ostrikov, M. Y. Yu, and H. Sugai, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.371071 86, 2425 (1999); K. N. Ostrikov, S. Kumar, and H. Sugai, Phys. Plasmas 8, 3490 (2001).
48. K. N. Ostrikov, M. Y. Yu, and H. Sugai, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.371071 86, 2425 (1999); K. N. Ostrikov, S. Kumar, and H. Sugai, Phys. Plasmas 8, 3490 (2001).
49. K. Ostrikov, H.-J. Yoon, A. E. Rider, and S. V. Vladimirov, Plasma Processes Polym. 1612-8850 10.1002/ppap.200600070 4, 27 (2007); S. V. Vladimirov, K. Ostrikov, M. Y. Yu, and G. E. Morfill, Phys. Rev. E 67, 036406 (2003).
50. K. Ostrikov, H.-J. Yoon, A. E. Rider, and S. V. Vladimirov, Plasma Processes Polym. 1612-8850 10.1002/ppap.200600070 4, 27 (2007); S. V. Vladimirov, K. Ostrikov, M. Y. Yu, and G. E. Morfill, Phys. Rev. E 67, 036406 (2003).
51. I. Levchenko, K. Ostrikov, M. Keidar, and S. Xu, J. Appl. Phys. 98, 064304 (2005).
52. I. Levchenko, K. Ostrikov, M. Keidar, and S. Xu, Appl. Phys. Lett. 89, 033109 (2006).
53. E. Tam, I. Levchenko, and K. Ostrikov, J. Appl. Phys. 100, 036104 (2006).
54. I. Levchenko, K. Ostrikov, and E. Tam, Appl. Phys. Lett. 89, 223108 (2006).
55. I. Levchenko and K. Ostrikov, J. Phys. D 40, 2308 (2007).
56. B. N. Khare, M. Meyyappan, A. M. Casell, C. V. Nguyen, and J. Han, Nano Lett. 2, 73 (2002).
57. K. S. Kim, D. J. Bae, J. R. Kim, K. A. Park, S. C. Lim, J. J. Kim, W. B. Choi, C. Y. Park, and Y. H. A. Lee, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 14, 1818 (2002).
58. P. Ruffieux, O. Groning, M. Bielmann, P. Mauron, L. Schlapbach, and P. Groning, Phys. Rev. B 66, 245416 (2002).
59. A. Nikitin, H. Ogasawara, D. Mann, R. Denecke, Z. Zhang, H. Dai, K. Cho, and A. Nilsson, Phys. Rev. Lett. 95, 225507 (2005).
60. I. Denysenko and K. Ostrikov, Appl. Phys. Lett. 90, 251501 (2007).
61. Z. L. Tsakadze, K. Ostrikov, J. D. Long, and S. Xu, Diamond Relat. Mater. 0925-9635 10.1016/j.diamond.2004.06.010 13, 1923 (2004); K. Ostrikov, J. D. Long, P. P. Rutkevych, and S. Xu, Vacuum 80, 1126 (2007).
62. Z. L. Tsakadze, K. Ostrikov, J. D. Long, and S. Xu, Diamond Relat. Mater. 0925-9635 10.1016/j.diamond.2004.06.010 13, 1923 (2004); K. Ostrikov, J. D. Long, P. P. Rutkevych, and S. Xu, Vacuum 80, 1126 (2007).
63. Z. L. Tsakadze, K. Ostrikov, and S. Xu, Surf. Coat. Technol. 0257-8972 10.1016/j.surfcoat.2004.02.020 191, 49 (2005);
64. Z. L. Tsakadze, I. Levchenko, K. Ostrikov, and S. Xu, Carbon 45, 2022 (2007).