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Volumn 47, Issue 4-5 SPEC. ISS., 2007, Pages 645-648

Electrical and structural properties of hafnium silicate thin films

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ENERGY GAP; METALLORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; OPTICAL CONSTANTS; PERMITTIVITY; SILICON COMPOUNDS; SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY;

EID: 34247155755     PISSN: 00262714     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/j.microrel.2007.01.065     Document Type: Article
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.