Analysis of order formation in block copolymer thin films using resonant soft X-ray scattering

Macromolecules

Volumn 40, Issue 6, 2007, Pages 2092-2099

  Virgili, Justin M ^a,c   Tao, Yuefei ^b,c   Kortright, Jeffrey B ^c   Balsara, Nitash P ^a,c   Segalman, Rachel A ^a,c  

^a University of California   (United States)

^b UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

^c LAWRENCE BERKELEY NATIONAL LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BLOCK COPOLYMER THIN FILMS; RESONANT SOFT X-RAY SCATTERING; SMALL-ANGLE X-RAY SCATTERING;

AROMATIC COMPOUNDS; BLOCK COPOLYMERS; RESONANCE; SCATTERING; X RAY ANALYSIS;

THIN FILMS;

EID: 33947623575     PISSN: 00249297     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ma061734k     Document Type: Article

References (41)

1. Bates, F. S.; Fredrickson, G. H. Phys. Today 1999, 52, 32-38.
2. Park, M.; Harrison, C.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H. Science 1997, 276, 1401-1404.
3. Cheng, J. Y.; Jung, W.; Ross, C. A. Phys. Rev. B 2004, 70, 064417.
4. Cheng, J. Y.; Ross, C. A.; Thomas, E. L.; Smith, H. I.; Vancso, G. J. Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 3657-3659.
5. Black, C. T.; Guarini, K. W.; Milkove, K. R.; Baker, S. M.; Russell, T. P.; Tuominen, M. T. Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 409-411.
6. Segalman, R. A. Mater. Sci. Eng., R 2005, 48, 191-226.
7. Yokoyama, H.; Kramer, E. J.; Rafailovich, M. H.; Sokolov, J.; Schwarz, S. A. Macromolecules 1998, 31, 8826-8830.
8. Foster, M.; Stamm, M.; Reiter, G.; Huttenbach, S. Vacuum 1990, 41, 1441-1444.
9. Karim, A.; Slawecki, T. M.; Kumar, S. K.; Douglas, J. F.; Satija, S. K.; Han, C. C.; Russell, T. P.; Liu, Y.; Overney, R.; Sokolov, O.; Rafailovich, M. H. Macromolecules 1998, 31, 857-862.
10. Reiter, G. Macromolecules 1994, 27, 3046-3052.
11. Krausch, G. Mater. Sci. Eng., R 1995, 14, 1-94.
12. Fasolka, M. J.; Mayes, A. M. Annu. Rev. Mater. Res. 2001, 31, 323-355.
13. Segalman, R. A.; Yokoyama, H.; Kramer, E. J. Adv. Mater. 2001, 13, 1152-1155.
14. Angelescu, D. E.; Harrison, C. K.; Trawick, M. L.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H. Appl. Phys. A 2004, 78, 387-392.
15. Hexemer, A.; Stein, G. E.; Kramer, E. J.; Magonov, S. Macromolecules 2005, 38, 7083-7089.
16. Lee, B.; Park, I.; Yoon, J.; Park, S.; Kim, J.; Kim, K. W.: Chang, T.; Ree, M. Macromolecules 2005, 38, 4311-4323.
17. Muller-Buschbaum, P. Anal. Bioanal. Chem. 2003, 376, 3-10.
18. Garetz, B. A.; Newstein, M. C.; Wilbur, J. D.; Patel, A. J.; Durkee, D. A.; Segalman, R. A.; Liddle, J. A.; Balsara, N. P. Macromolecules 2005, 38, 4282-4288.
19. Roe, R.-J. Methods of X-Ray and Neutron Scattering in Polymer Science; Oxford University Press: New York, 2000.
20. Fuoss, P. H.; Warburton, W. K.; Bienenstock, A. J. Non-Cryst. Solids 1980, 35-6, 1233-1238.
21. Kortright, J. B.; Bienenstock, A. Phys. Rev. B 1988, 37, 2979-2996.
22. Fishburn, J. R.; Barton, S. W. Macromolecules 1995, 28, 1903-1911.
23. Ding, Y. S.; Hubbard, S. R.; Hodgson, K. O.; Register, R. A.; Cooper, S. L. Macromolecules 1988, 21, 1698-1703.
24. Register, R. A.; Cooper, S. L. Macromolecules 1990, 23, 310-317.
25. Guilleaume, B.; Blaul, J.; Ballauff, M.; Wittemann, M.; Rehahn, M.; Goerigk, G. Eur. Phys. J. E 2002, 8, 299-309.
26. Hirst, L. S.; Watson, S. J.; Gleeson, H. F.; Cluzeau, P.; Barois, P.; Pindak, R.; Pitney, J.; Cady, A.; Johnson, P. M.; Huang, C. C.; Levelut, A. M.; Srajer, G.; Pollmann, J.; Caliebe, W.; Seed, A.; Herbert, M. R.; Goodby, J. W.; Hird, M. Phys. Rev. E 2002, 65, 041705.
27. Stöhr, J. NEXAFS Spectroscopy, 2nd ed.; Springer: Santa Clara, 2003.
28. Wang, C.; Araki, T.; Ade, H. Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 214109.
29. Mitchell, G. E.; Landes, B. G.; Lyons, J.; Kern, B. J.; Devon, M. J.; Koprinarov, I.; Gullikson, E. M.; Kortright, J. B. Appl. Phys. Lett. 2006, 89, 044101.
30. Araki, T.; Ade, H.; Stubbs, J. M.; Sundberg, D. C.; Mitchell, G. E.; Kortright, J. B.; Kilcoyne, A. L. D. Appl. Phys. Lett. 2006, 89, 124106.
31. Welch, C. F.; Hjelm, R. P.; Mang, J. T.; Wrobleski, D. A.; Orler, E. B.; Hawley, M. E.; Kortright, J. B. Abstr. Pap. Am. Chem. Soc. 2005, 230, U3592-U3593.
32. Lin, C. C.; Jonnalagadda, S. V.; Kesani, P. K.; Dai, H. J.; Balsara, N. P. Macromolecules 1994, 27, 7769-7780.
33. Harrison, C.; Angelescu, D. E.; Trawick, M.; Cheng, Z. D.; Huse, D. A.; Chaikin, P. M.; Vega, D. A.; Sebastian, J. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H. Europhys. Lett. 2004, 67, 800-806.
34. Dhez, O.; Ade, H.; Urquhart, S. G. J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 2003, 128, 85-96.
35. Henke, B. L.; Gullikson, E. M.; Davis, J. C. At. Data Nucl. Data Tables 1993, 54, 181-342.
36. Gullikson, E. M. http://www-exro.lbl.gov/optical_constants, 2004.
37. Thomas, E. L.; Kinning, D. J.; Alward, D. B.; Henkee, C. S. Macromolecules 1987, 20, 2934-2939.
38. Henkee, C. S.; Thomas, E. L.; Fetters, L. J. J. Mater. Sci. 1988, 23, 1685-1694.
39. Trawick, M. L.; Megens, M.; Harrison, C.; Angelescu, D. E.; Vega, D. A.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H. Scanning 2003, 25, 25-33.
40. Harrison, C.; Park, M.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H.; Yao, N. Macromolecules 1998, 31, 2185-2189.
41. Stein, G. E.; Kramer, E. J.; Li, X. F.; Wang, J. Macromolecules In press.