Fabrication and functionalization of nanochannels by electron-beam-induced silicon oxide deposition

Langmuir

Volumn 22, Issue 25, 2006, Pages 10711-10715

  Danelon, Christophe ^a   Santschi, Christian ^a,b   Brugger, Jürgen ^b   Vogel, Horst ^a  

^a EPFL   (Switzerland)

^b CSEM   (Switzerland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DEPOSITION; ELECTRIC PROPERTIES; ELECTRON BEAMS; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; SILICA; SILICON NITRIDE;

ION CONDUCTION; SOLID STATE NANOPORES; TETRAETHYL ORTHOSILICATES;

NANOSTRUCTURED MATERIALS;

NANOTUBE; SILICON DIOXIDE;

ARTICLE; CHEMISTRY; ELECTRON; POROSITY; SURFACE PROPERTY;

ELECTRONS; NANOTUBES; POROSITY; SILICON DIOXIDE; SURFACE PROPERTIES;

EID: 33845985288     PISSN: 07437463     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/la061321c     Document Type: Article

References (35)

1. Kasianowicz, J. J.; Brandin, E.; Branton, D.; Deamer, D. W. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 1996, 93, 13770-13779.
2. Deamer, D. W.; Akeson, M. Trends Biotechnol. 2000, 18, 147-151.
3. Sun, L.; Crooks, R. M. J. Am. Chem. Soc. 2000, 122, 12340-12345.
4. Li, J.; Stein, D.; McMullan, C.; Branton, D.; Aziz, M. J.; Golovchenko, J. A. Nature 2001, 412, 166-169.
5. Siwy, Z.; Fulinski, A. Phys. Rev. Lett. 2002, 89, 198103.
6. Storm, A. J.; Chen, J. H.; Ling, X. S.; Zandbergen, H. W.; Dekker, C. Nat. Mater. 2003, 2, 537-540.
7. Saleh, O. A.; Sohn, L. L. Nano Lett. 2003, 3, 37-38.
8. Karhanek, M.; Kemp, J. T.; Pourmand, N.; Davis, R. W.; Webb, C. D. Nano Lett. 2005, 5, 403-407.
9. Krapf, D.; Wu, M.-Y.; Smeets, R. M. M.; Zandbergen, H. W.; Dekker, C.; Lemay, S. G. Nano Lett. 2006, 6, 105-109.
10. Chen, P.; Mitsui, T.; Farmer, D. B.; Golovchenko, J.; Gordon, R. G.; Branton, D. Nano Lett. 2004, 4, 1333-1337.
11. Chang, H.; Kosari, F.; Andreadakis, G.; Alam, M. A.; Vasmatzis, G.; Bashir, R. Nano Lett. 2004, 4, 1551-1556.
12. Li, J.; Gershow, M.; Stein, D.; Brandin, E.; Golovchenko, J. A. Nat. Mater. 2003, 2, 611-615.
13. Chen, P.; Gu, J.; Brandin, E.; Kim, Y.-R.; Wang, Q.; Branton, D. Nano Lett. 2004, 4, 2293-2298.
14. Wang, H.; Dunning, J. E.; Huang, A. P.-H.; Nyamwanda, J. A.; Branton, D. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2004, 101, 13472-13477.
15. Heng, J. B.; Ho, C.; Kim, T.; Timp, R.; Aksimentiev, A.; Grinkova, Y. V.; Sligar, S.; Schulten, K.; Timp, G. Biophys. J. 2004, 87, 2905-2911.
16. Storm, A. J.; Chen, J. H.; Zandbergen, H. W.; Dekker, C. Phys. Rev. E 2005, 71, 051903.
17. Storm, A. J.; Storm, C.; Chen, J.; Zandbergen, H.; Joanny, J.-F.; Dekker: C. Nano Lett. 2005, 5, 1193-1197.
18. Fologea, D.; Uplinger, J.; Thomas, B.; McNabb, D. S.; Li, J. Nano Lett. 2005, 5, 1734-1737.
19. Howorka, S.; Cheley, S.; Bayley, H. Nat. Biotechnol. 2001, 19, 636-639.
20. Astier, Y.; Braha, O.; Bayley, H. J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 1705-1710.
21. Harrell, C. C.; Kohli, P.; Siwy, Z.; Martin, C. R. J. Am. Chem. Soc. 2004, 126, 15646-15647.
22. Nilsson, J.; Lee, J. R. I.; Ratto, T. V.; Létant, S. E. Adv. Mater. 2006, 18, 427-431.
23. Giannuzzi, L. A.; Stevie, F. A. Introduction to Focused Ion Beams: Instrumentation. Theory, Techniques, and Practice; Springer: New York, 2005.
24. Dobisz, E. A.; Marrian, C. R. K.; Salvino R. E.; Ancona, M. A.; Perkins, F. K. J. Vac. Sci. Technol., B 1993, 11, 2733-2740.
25. Edinger, K.; Kraus, T. J. Vac. Sci. Technol., B 2000, 18, 3190-3193.
26. Lipp, S.; Frey, L.; Lehrer, C.; Frank, B.; Demm, E.; Pauthner, S.; Ryssel, H. J. Vac. Sci. Technol., B 1996, 14, 3920-3923.
27. Hille, B. Ionic Channels of Excitable Membranes, 3rd ed.; Sinauer: Sunderland, MA, 2001.
28. Danelon, C.; Suenaga, A.; Winterhalter, M.; Yamato, I. Biophys. Chem. 2003, 104, 591-603.
29. Ho, C.; Qiao, R.; Heng, J. B.; Chatterjee, A.; Timp, R. J.; Aluru, N. R.; Timp, G. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2005, 102, 10445-10450.
30. Wohnsland, F.; Benz, R. J. Membr. Biol. 1997, 158, 77-85.
31. Bezrukov, S. M.; Winterhalter, M. Phys. Rev. Lett. 2000, 85, 202-205.
32. Siwy, Z.; Fulinski, A. Phys. Rev. Lett. 2002, 89, 158101.
33. Siwy, Z. S.; Powell, M. R.; Kalman, E.; Astumian, R. D.; Eisenberg, R. S. Nano Lett. 2006, 6, 473-477.
34. Saleh, O. A.; Sohn, L. L. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2003, 100, 820-824.
35. Uram, J. D.; Ke, K.; Hunt, A. J.; Mayer, M. Angew. Chem., Int. Ed. 2006, 45, 2281-2285.