Periodic arrays of epitaxial self-assembled SiGe quantum dot molecules grown on patterned Si substrates

Journal of Applied Physics

Volumn 100, Issue 8, 2006, Pages

  Gray, J L ^a   Hull, R ^a   Floro, J A ^b  

^a University of Pittsburgh   (United States)

^b SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BUFFER THICKNESS; ION BEAM MILLING DEPTH; NANOELECTRONIC ARCHITECTURES; SPACINGS;

ION BEAMS; NANOSTRUCTURED MATERIALS; NUCLEATION; SELF ASSEMBLY; SEMICONDUCTOR GROWTH; SILICON COMPOUNDS;

SEMICONDUCTOR QUANTUM DOTS;

EID: 33750496279     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2358003     Document Type: Article

References (30)

1. R. J. Asaro and W. A. Tiller, Metall. Trans. 3, 1789 (1972).
2. D. J. Srolovitz, Acta Metall. 37, 621 (1989).
3. J. E. Guyer and P. W. Voorhees, Phys. Rev. B 54, 11710 (1996).
4. Y.-W. Mo, D. E. Savage, B. S. Swartzentruber, and M. G. Lagally, Phys. Rev. Lett. 65, 1020 (1990).
5. M. Tomitori, K. Watanabe, M. Kobayashi, and O. Nishikawa, Appl. Surf. Sci. 76-77, 322 (1994).
6. G. Medeiros-Ribeiro, A. M. Bratkovski, T. I. Kamins, D. A. A. Ohlberg, and R. S. Williams, Science 279, 353 (1998).
7. F. M. Ross, R. M. Tromp, and M. C. Reuter, Science 286, 1931 (1999).
8. G. Medeiros-Ribeiro, T. I. Kamins, D. A. A. Ohlberg, and R. S. Williams, Phys. Rev. B 58, 3533 (1998).
9. J. A. Floro, E. Chason, L. B. Freund, R. D. Twesten, R. Q. Hwang, and G. A. Lucadamo, Phys. Rev. B 59, 1990 (1999).
10. J. A. Floro, E. Chason, M. B. Sinclair, L. B. Freund, and G. A. Lucadamo, Appl. Phys. Lett. 73, 951 (1998).
11. J. Tersoff, C. Teichert, and M. G. Lagally, Phys. Rev. Lett. 76, 1675 (1996).
12. C. Teichert, M. G. Lagally, L. J. Peticolas, J. C. Bean, and J. Tersoff, Phys. Rev. B 53, 16334 (1996).
13. M. Borgstrom, J. Johansson, L. Samuelson, and W. Seifert, Appl. Phys. Lett. 78, 1367 (2001).
14. M. Borgstrom, V. Zela, and W. Seifert, Nanotechnology 14, 264 (2003).
15. M. Kammler, R. Hull, M. C. Reuter, and F. M. Ross, Appl. Phys. Lett. 82, 1093 (2003).
16. R. Hull, Mater. Sci. Eng., B 101, 1 (2003).
17. T. E. Vandervelde, S. Atha, T. L. Pernell, R. Hull, and J. C. Bean, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 794, 111 (2004).
18. G. H. Bernstein, Superlattices Microstruct. 20, 447 (1996).
19. J. L. Gray, R. Hull, and J. A. Floro, Appl. Phys. Lett. 81, 2445 (2002).
20. D. E. Jesson, K. M. Chen, S. J. Pennycook, T. Thundat, and R. J. Warmack, Phys. Rev. Lett. 77, 1330 (1996).
21. J. L. Gray, Microscopy of Semiconducting Materials 2003 (IOP, Bristol, 2003), p. 243.
22. J. W. P. Hsu, E. A. Fitzgerald, Y. H. Xie, P. J. Silverman, and M. J. Cardillo, Appl. Phys. Lett. 61, 1293 (1992).
23. X. Deng and M. Krishnamurthy, Phys. Rev. Lett. 81, 1473 (1998).
24. K. M. Chen, D. E. Jesson, S. J. Pennycook, T. Thundat, and R. J. Warmack, Appl. Phys. Lett. 66, 34 (1995).
25. C. Lehrer, L. Frey, S. Petersen, and H. Ryssel, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 2533 (2001).
26. J. B. Wang, A. Datta, and Y. L. Wang, Appl. Surf. Sci. 135, 129 (1998).
27. J. L. Gray, N. Singh, D. M. Elzey, R. Hull, and J. A. Floro, Phys. Rev. Lett. 92, 135504 (2004).
28. J. L. Gray, R. Hull, C.-H. Lam, P. Sutter, J. Means, and J. A. Floro, Phys. Rev. B 72, 155323 (2005).
29. F. M. Ross, J. Tersoff, and R. M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 80, 984 (1998).
30. J. L. Gray, S. Atha, R. Hull, and J. A. Floro, Nano Lett. 4, 2447 (2004).