A supersonic molecular beam study of the reaction of tetrakis(dimethylamido)titanium with self-assembled alkyltrichlorosilane monolayers

Journal of Chemical Physics

Volumn 125, Issue 3, 2006, Pages

  Ma, P F ^a   Dube, A ^a   Killampalli, A S ^a   Engstrom, J R ^a  

^a Cornell University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ALKYLTRICHLOROSILANE MONOLAYERS; REACTIVITY; SUPERSONIC MOLECULAR BEAM TECHNIQUES; TRANSITION METAL COORDINATION COMPLEX;

KINETIC ENERGY; MOLECULAR BEAMS; PHASE EQUILIBRIA; REACTION KINETICS; SELF ASSEMBLY; SUBSTRATES; SURFACE ACTIVE AGENTS; TITANIUM COMPOUNDS; TRANSITION METALS;

MONOLAYERS;

EID: 33746313942     PISSN: 00219606     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2220562     Document Type: Article

References (85)

1. Y. Hsu, T. E. F. M. Standaert, G. S. Oehrlein, T. S. Kuan, E. Sayre, K. Rose, K. Y. Lee, and S. M. Rossnagel, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3344 (1998).
2. S. M. Rossnagel, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 2328 (2002).
3. J. W. Elam, C. A. Wilson, M. Schuisky, Z. A. Sechrist, and S. M. George, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 1099 (2003).
4. Conjugated Polymer Surfaces and Interfaces; Electronic and Chemical Structure of Interfaces for Polymer Light Emitting Devices, edited by W. R. Salaneck, S. Stafstrom, and J.-L. Bredas (Cambridge University Press, Cambridge, 1996).
5. Molecular Electronics: Science and Technology, edited by A. Aviram and M. Ratner (New York Academy of Sciences, New York, 1998).
6. H. Ishii, K. Sugiyama, E. Ito, and K. Seki, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 11, 605 (1999).
7. B. C. Haynie, A. V. Walker, T. B. Tighe, D. L. Allara, and N. Winograd, Appl. Surf. Sci. 203-204, 433 (2003).
8. See, e.g., C. A. Wilson, R. K. Grubbs, and S. M. George, Chem. Mater. 17, 5625 (2005).
9. A. Ulman, An Introduction to Ultrathin Organic Films; From Langmuir-Blodgett to Self-Assembly (Academic, Boston, 1991).
10. L. H. Dubois and R. G. Nuzzo, Annu. Rev. Phys. Chem. 43, 437 (1992).
11. A. Ullman, Chem. Rev. (Washington, D.C.) 96, 1533 (1996).
12. D. R. Jung and A. W. Czanderna, Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 19, 1 (1994).
13. G. C. Herdt, D. R. Jung, and A. W. Czanderna, Prog. Suif. Sci. 50, 103 (1995).
14. D. R. Jung, A. W. Czanderna, and G. C. Herdt, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1779 (1996).
15. H. Shin, R. J. Collins, M. R. De Guire, A. H. Heuer, and C. N. Sukenik, J. Mater. Res. 10, 692 (1995);
16. H. Shin, R. J. Collins, M. R. De Guire, A. H. Heuer, and C. N. Sukenik, J. Mater. Res. 10, 699 (1995).
17. Z. Xiao, M. Xu, J. Gu, D. Huang, and Z. Lu, Mater. Chem. Phys. 52, 170 (1998).
18. C. Winter, J. Käshammer, S. Mittler-Neher, and R. A. Fischer, Opt. Mater. (Amsterdam, Neth.) 9, 352 (1998).
19. T. P. Niesen, J. Bill, and F. Aldinger, Chem. Mater. 13, 1552 (2001).
20. T. P. Niesen, M. Puchinger, P. Gerstel, D. Rodewald, J. Wolff, T. Wagner, J. Bill, and F. Aldinger, Mater. Chem. Phys. 73, 301 (2002).
21. C. Dicke, M. Morstein, and G. Hähner, Langmuir 18, 336 (2002).
22. P. Wohlfart, J. Weiß, J. Käshammer, C. Winter, V. Scheumann, R. A. Fischer, and S. Mittler-Neher, Thin Solid Films 340, 274 (1999);
23. C. Winter, U. Weckenmann, R. A. Fischer, J. Käshammer, V. Scheumann, and S. Mittler, Chem. Vap. Deposition 6, 199 (2000).
24. J. Weiß, H.-J. Himmel, R. A. Fischer, and C. Wöll, Chem. Vap. Deposition 4, 17 (1998);
25. P. Wohlfart, J. Weiß, J. Käshammer, M. Kreiter, C. Winter, R. A. Fischer, and S. Mittler-Neher, Chem. Vap. Deposition ibid 5, 165 (1999).
26. U. Weckenmann, S. Mittler, S. Krämer, A. K. A. Aliganga, and R. A. Fischer, Chem. Mater. 16, 621 (2004).
27. K. Konstadinidis, P. Zhang, R. L. Opila, and D. L. Allara, Surf. Sci. 338, 300 (1995).
28. R. Chen, H. Kim, P. C. McIntyre, and S. F. Bent, Appl. Phys. Lett. 84, 4017 (2004);
29. R. Chen, H. Kim, P. C. McIntyre, D. W. Porter, and S. F. Bent, Appl. Phys. Lett. ibid. 86, 191910 (2005).
30. For reviews see, for example, C. T. Rettner, D. J. Auerbach, J. C. Tully, and A. W. Kleyn, J. Phys. Chem. 100, 13021 (1996);
31. M. L. Yu and L. A. Delouise, Surf. Sci. Rep. 19, 285 (1994);
32. C. R. Arumainayagam and R. J. Madix, Prog. Surf. Sci. 38, 1 (1991);
33. A. C. Luntz, M. D. Williams, and D. S. Bethune, J. Chem. Phys. 89, 4381 (1988);
34. S. T. Ceyer, Annu. Rev. Phys. Chem. 39, 479 (1988).
35. See, e.g., C. Yan, J. A. Jensen, and A. C. Kummel, J. Chem. Phys. 102, 3381 (1995);
36. C. Yan, J. A. Jensen, and A. C. Kummel, J. Chem. Phys. 105, 773 (1996).
37. See, e.g., H. C. Flaum, D. J. Sullivan, and A. C. Kummel, J. Chem. Phys. 100, 1634 (1994);
38. Y. Liu, A. J. Komrowski, and A. C. Kummel, J. Chem. Phys. ibid. 110, 4608 (1999).
39. J. R. Engstrom, D. A. Hansen, M. J. Furjanic, and L.-Q. Xia, J. Chem. Phys. 99, 4051 (1993);
40. L.-Q. Xia and J. R. Engstrom, J. Chem. Phys. ibid. 101, 5329 (1994);
41. L.-Q. Xia, M. E. Jones, N. Maity, and J. R. Engstrom, J. Chem. Phys. ibid. 103, 1691 (1995).
42. L.-Q. Xia, M. E. Jones, N. Maity, and J. R. Engstrom, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2651 (1995).
43. N. Maity, L.-Q. Xia, S. E. Roadman, and J. R. Engstrom, Surf. Sci. 344, 203 (1995).
44. M. E. Jones, S. E. Roadman, A. Lam, G. Eres, and J. R. Engstrom, J. Chem. Phys. 105, 7140 (1996).
45. S. E. Roadman, N. Maity, J. E. Carter, and J. R. Engstrom, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 3423 (1998).
46. P. F. Ma, T. W. Schroeder, and J. R. Engstrom, Appl. Phys. Lett. 80, 2604 (2002).
47. S. R. Cohen, R. Naaman, and J. Sagiv, Phys. Rev. Lett. 58, 1208 (1987).
48. S. F. Shuler, G. W. Davis, and J. R. Morris, J. Chem. Phys. 116, 9147 (2002);
49. B. S. Day, S. F. Shuler, A. Ducre, and J. R. Morris, J. Chem. Phys. ibid. 119, 8084 (2003);
50. M. K. Ferguson, J. R. Lohr, B. S. Day, and J. R. Morris, Phys. Rev. Lett. 92, 073201 (2004);
51. B. S. Day and J. R. Morris, J. Chem. Phys. 122, 234714 (2005).
52. T. Yan, N. Isa, K. D. Gibson, S. J. Sibener, and W. L. Hase, J. Phys. Chem. A 107, 10600 (2003);
53. K. D. Gibson, N. Isa, and S. J. Sibener, J. Chem. Phys. 119, 13083 (2003);
54. N. Isa, K. D. Gibson, T. Yan, W. L. Hase, and S. J. Sibener, J. Chem. Phys. ibid. 120, 2417 (2003).
55. S. B. Wainhaus, H. Lim, D. G. Schultz, and L. Hanley, J. Chem. Phys. 106, 10329 (1997);
56. D. G. Schultz, S. B. Wainhaus, L. Hanley, P. de Sainte Claire, and W. L. Hase, J. Chem. Phys. ibid. 106, 10337 (1997).
57. V. J. Angelico, S. A. Mitchell, and V. H. Wysocki, Anal. Chem. 72, 2603 (2000).
58. N. Wade, C. Evans, F. Pepi, and R. G. Cooks, J. Phys. Chem. B 104, 11230 (2000).
59. K. V. Wolf, D. A. Cole, and S. L. Bernasek, Langmuir 17, 8254 (2001).
60. D. Troya and G. C. Schatz, Int. Rev. Phys. Chem. 23, 341 (2004).
61. L. R. Fiegland, M. M. Saint Fleur, and J. R. Morris, Langmuir 21, 2660 (2005).
62. G. M. Nathanson, Annu. Rev. Phys. Chem. 55, 231 (2004).
63. K. Bolton and J. B. C. Pettersson, Chem. Phys. Lett. 312, 71 (1999);
64. K. Bolton, M. Svanberg, and J. B. C. Pettersson, J. Chem. Phys. 110, 5380 (1999);
65. P. U. Andersson, M. B. Någård, K. Bolton, M. Svanberg, and J. B. C. Pettersson, J. Phys. Chem. A 104, 2681 (2000).
66. A. S. Killampalli, P. F. Ma, and J. R. Engstrom, J. Am. Chem. Soc. 127, 6300 (2005).
67. J. S. Corneille, P. J. Chen, C. M. Truong, W. S. Oh, and D. W. Goodman, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 1116 (1995).
68. G. Ruhl, R. Rehmet, M. Knizova, R. Merica, and S. Veprek, Chem. Mater. 8, 2712 (1996).
69. L. A. Okada and S. M. George, Appl. Surf. Sci. 137, 113 (1999).
70. K. Ishihara, K. Yamakazi, H. Hamada, K. Kamisako, and Y. Tarui, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 29, 2103 (1990).
71. R. M. Fix, R. G. Gordon, and D. M. Hoffman, Chem. Mater. 2, 235 (1990).
72. L. H. Dubois, B. R. Zegarski, and G. S. Girolami, J. Electrochem. Soc. 139, 3603 (1992).
73. J.-S. Min, Y.-W. Son, W.-G. Kang, S.-S. Chun, and S.-W. Kang, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 37, 4999 (1998);
74. J.-W. Lim, H.-S. Park, and S.-W. Kang, J. Electrochem. Soc. 148, C403 (2001).
75. S. R. Wasserman, Y.-T. Tao, and G. M. Whitesides, Langmuir 5, 1074 (1989).
76. M. M. Sung, G. J. Kluth, and R. Maboudian, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 540 (1999).
77. T. W. Schroeder, Ph.D. thesis, Cornell University, 2004.
78. D. A. King and M. G. Wells, Surf. Sci. 29, 454 (1972).
79. B. Berenbak, D. A. Butler, B. Riedmiller, D. C. Papageorgopoulos, S. Stolte, and A. W. Kleyn, Surf. Sci. 414, 271 (1998).
80. W. H. Weinberg, in Dynamics of Gas-Surface Interactions, edited by C. T. Rettner and M. N. R. Ashfold (Royal Society of Chemistry, London, 1991), p. 171.
81. C. T. Rettner, L. A. DeLouise, and D. J. Auerbach, J. Chem. Phys. 85, 1131 (1986).
82. J. P. A. M. Driessen, J. Schoonman, and K. F. Jensen, J. Electrochem. Soc. 148, G178 (2001).
83. C. Amato-Wierda and E. T. Norton, Chem. Mater. 13, 4655 (2001).
84. C. T. Reeves, B. A. Ferguson, C. B. Mullins, G. O. Sitz, B. A. Helmer, and D. B. Graves, J. Chem. Phys. 111, 7567 (1999).
85. M. Haran, J. R. Engstrom, and P. Clancy, J. Am. Chem. Soc. 128, 836 (2006).