Low resistivity p-ZnO films fabricated by sol-gel spin coating

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 25, 2006, Pages

  Cao, Yongge ^a   Miao, Lei ^a   Tanemura, Sakae ^a   Tanemura, Masaki ^a   Kuno, Yohei ^a   Hayashi, Yasuhiko ^a  

^a NAGOYA INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

GLASS; HALL EFFECT; QUARTZ; SOL-GELS; SPIN COATING; SUBSTRATES; ZINC OXIDE;

CONDUCTIVITIES; HALL MEASUREMENTS; HOMOJUNCTIONS; QUARTZ GLASS;

CONDUCTIVE FILMS;

EID: 33745498472     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2215618     Document Type: Article

References (27)

1. R. F. Service, Science 276, 895 (1997).
2. T. Makino, C. H. Chia, T. T. Nguen, and Y. Segawa, Appl. Phys. Lett. 77, 1632 (2000).
3. D. C. Look, D. C. Reynolds, C. W. Litton, R. L. Jones, D. B. Eason, and G. Cantwell, Appl. Phys. Lett. 81, 1830 (2002).
4. A. B. M. A. Ashrafi, I. Suetnune, H. Kumano, and S. Tanaka, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 41, L1281 (2002).
5. K. Minegishi, Y. Koiwai, Y. Kikuchi, K. Yano, M. Kasuga, and A. Shimizu, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L1453 (1997).
6. Z.-Z. Ye, J.-G. Lu, H.-H. Chen, Y.-Z. Zhang, L. Wang, B.-H. Zhao, and J.-Y. Huang, J. Cryst. Growth 253, 258 (2003).
7. X.-L. Guo, H. Tabata, and T. Kawai, J. Cryst. Growth 237-239, 544 (2002).
8. S. J. Jiao, Z. Z. Zhang, Y. M. Lu, D. Z. Shen, B. Yao, J. Y. Zhang, B. H. Li, D. X. Zhao, X. W. Fan, and Z. K. Tang, Appl. Phys. Lett. 88, 031911 (2006).
9. C.-C. Lin, S.-Y. Chen, S.-Y. Cheng, and H.-Y. Lee. Appl. Phys. Lett. 84, 5040 (2004).
10. A. Tsukazaki, A. Ohtomo, T. Onuma, M. Ohtani, T. Makino, M. Sumiya, K. Ohtani, S. F. Chichibu, S. Fuke, Y. Segawa, H. Ohno, H. Koinuma, and M. Kawasaki, Nat. Mater. 4, 42 (2005).
11. M. Joseph, H. Tabata, and T. Kawai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 38, L1205 (1999).
12. J. M. Bian, X. M. Li, X. D. Gao, W. D. Yu, and L. D. Chen, Appl. Phys. Lett. 84, 541 (2004).
13. F. Zhuge, L. P. Zhu, Z. Z. Ye, D. W. Ma, J. G. Lu, J. Y. Huang, F. Z. Wang, Z. G. Ji, and S. B. Zhang, Appl. Phys. Lett. 87, 092103 (2005).
14. Ü. Özgür, Ya. I. Alivov, C. Liu, A. Teke, M. A. Reshchikov, S. Dogan, V. Avrutin, S.-J. Cho, and H. Morkoç, J. Appl. Phys. 98, 041301 (2005).
15. Y. Ma, G. T. Du, S. R. Yang, Z. T. Li, B. J. Zhao, X. T. Yang, T. P. Yang, Y. T. Zhang, and D. L. Liu, J. Appl. Phys. 95, 6268 (2004).
16. J. G. Lu, L. P. Zhu, Z. Z. Ye, F. Zhuge, B. H. Zhao, J. Y. Huang, L. Wang, and J. Yuan, J. Cryst. Growth 283, 413 (2005).
17. S. K. Kim, S. A. Kim, C. H. Lee, H. J. Lee, S. Y. Jeong, and C. R. Cho, Appl. Phys. Lett. 85, 419 (2004).
18. K. Nakahara, H. Takasu, P. Fons, A. Yamada, K. Iwata, K. Matsubara, R. Hunger, and S. Niki, Appl. Phys. Lett. 79, 4139 (2001).
19. R. Asahi, T. Morikawa, T. Ohwaki, K. Aoki, and Y. Taga, Science 293, 269 (2001).
20. J. Melsheimer and D. Ziegler, Thin Solid Films 129, 35 (1985).
21. W. Walukiewicz, Phys. Rev. B 41, 10218 (1990).
22. J. G. Lu, Z. Z. Ye, F. Zhuge, Y. J. Zeng, B. H. Zhao, and L. P. Zhu, Appl. Phys. Lett. 85, 3134 (2004).
23. O. D. Yuan, Z. Z. Ye, L. P. Zhu, Y. J. Zeng, J. Y. Huang, Q. Qian, and J. G. Lu, Mater. Lett. 58, 3741 (2004).
24. Y. W. Heo, Y. W. Kwon, Y. Li, S. J. Pearton, and D. P. Norton, Appl. Phys. Lett. 84, 3474 (2004).
25. D. K. Hwang, S. H. Kang, J. H. Lim, E. J. Yang, J. Y. Oh, J. H. Yang, and S. J. Parka, Appl. Phys. Lett. 86, 222101 (2005).
26. K. Ip, Y. W. Heo, D. P. Norton, S. J. Pearton, J. R. LaRoche, and F. Ren, Appl. Phys. Lett. 85, 1169 (2004).
27. Y. I. Alivov, E. V. Kalinina, A. E. Chrenkov, D. C. Look, B. M. Ataev, A. K. Omaev, M. V. Chukichev, and D. M. Bagnall, Appl. Phys. Lett. 83, 4719 (2003).